स्पटरिंग लक्ष्याचे देखभाल ज्ञान

लक्ष्याच्या देखभालीबद्दल बरेच मित्र कमी-अधिक प्रश्न आहेत, अलीकडे बरेच ग्राहक लक्ष्याच्या देखभालीबद्दल सल्लामसलत करत आहेत, RSM चे संपादक आमच्यासाठी स्पटरिंग लक्ष्य देखभाल ज्ञान सामायिक करू द्या.

　　थुंकणारे लक्ष्य कसे राखले पाहिजे?

　　1, लक्ष्य देखभाल

थुंकण्याच्या प्रक्रियेत अस्वच्छ पोकळीमुळे होणारे शॉर्ट सर्किट आणि आर्किंग टाळण्यासाठी, स्पटरिंग ट्रॅकच्या मध्यभागी आणि दोन्ही बाजूंनी जमा झालेले स्पटर वेळोवेळी काढून टाकणे आवश्यक आहे, ज्यामुळे वापरकर्त्यांना उच्च पॉवर घनतेवर सतत थुंकण्यास मदत होते.

　　2, लक्ष्य संचयन

आम्ही शिफारस करतो की वापरकर्त्यांनी व्हॅक्यूम पॅकेजिंगमध्ये लक्ष्य (मग ते धातू किंवा सिरॅमिक) संग्रहित केले पाहिजे, विशेषत: फिटिंग टार्गेट व्हॅक्यूममध्ये संग्रहित केले जाणे आवश्यक आहे जेणेकरून फिटिंग लेयरचे ऑक्सिडेशन फिटिंगच्या गुणवत्तेवर परिणाम होऊ नये. मेटल टार्गेट्सच्या पॅकेजिंगसाठी, आम्ही सुचवितो की ते कमीतकमी स्वच्छ प्लास्टिकच्या पिशव्यांमध्ये पॅक करावे.

　　3, लक्ष्य साफ करणे

पहिली पायरी म्हणजे एसीटोनमध्ये भिजलेल्या लिंट फ्री मऊ कापडाने स्वच्छ करणे;

दुसरी पायरी पहिल्या चरणासारखीच आहे, अल्कोहोलसह साफ करणे;

पायरी 3: डीआयोनाइज्ड पाण्याने स्वच्छ करा. डीआयोनाइज्ड पाण्याने साफ केल्यानंतर, लक्ष्य ओव्हनमध्ये ठेवले जाते आणि 30 मिनिटांसाठी 100 ℃ वर वाळवले जाते. ऑक्साईड आणि सिरॅमिक टार्गेट्स साफ करण्यासाठी "लिंट फ्री क्लॉथ" वापरण्याची सूचना केली जाते.

चौथी पायरी म्हणजे उच्च दाब आणि कमी आर्द्रता असलेल्या आर्गॉनने टार्गेट धुणे ज्यामुळे स्पटरिंग सिस्टीममध्ये चाप निर्माण होऊ शकतो असे कोणतेही अशुद्ध कण काढून टाकणे.

　　4, शॉर्ट सर्किट आणि घट्टपणा तपासा

लक्ष्य स्थापित केल्यानंतर, संपूर्ण कॅथोड शॉर्ट सर्किट आणि घट्टपणासाठी तपासणे आवश्यक आहे. रेझिस्टन्स मीटर आणि मेगर वापरून कॅथोडमध्ये शॉर्ट सर्किट आहे की नाही हे ठरवण्याची शिफारस केली जाते. कॅथोडमध्ये शॉर्ट सर्किट नसल्याची पुष्टी केल्यानंतर, पाण्याच्या गळतीची तपासणी केली जाऊ शकते आणि पाण्याची गळती आहे की नाही हे निर्धारित करण्यासाठी कॅथोडमध्ये पाणी दाखल केले जाऊ शकते.

　　5, पॅकेजिंग आणि वाहतूक

सर्व लक्ष्ये मॉइश्चर-प्रूफ एजंटसह व्हॅक्यूम सीलबंद प्लास्टिक पिशव्यांमध्ये पॅक केली जातात. बाह्य पॅकेज सामान्यत: लाकडी पेटी असते ज्यामध्ये टक्करविरोधी थर असतो ज्यामुळे लक्ष्य आणि बॅकप्लेनचे वाहतूक आणि साठवण दरम्यान नुकसान होण्यापासून संरक्षण होते.