उच्च शुद्धता तांबे लक्ष्य विकास संभावना

सध्या, IC उद्योगाला आवश्यक असणारे जवळजवळ सर्व हाय-एंड अल्ट्रा-हाय प्युरिटी मेटल कॉपर टार्गेट्सवर अनेक मोठ्या परदेशी बहुराष्ट्रीय कंपन्यांची मक्तेदारी आहे. देशांतर्गत आयसी उद्योगाला आवश्यक असलेले सर्व अल्ट्राप्युअर कॉपर टार्गेट्स आयात करणे आवश्यक आहे, जे केवळ महागच नाही, तर आयात प्रक्रियेतही क्लिष्ट आहे म्हणून, चीनला तातडीने अति-उच्च शुद्धता (6N) कॉपर स्पटरिंग लक्ष्यांचा विकास आणि सत्यापन सुधारण्याची आवश्यकता आहे. . अति-उच्च शुद्धता (6N) कॉपर स्पटरिंग लक्ष्यांच्या विकासातील मुख्य मुद्दे आणि अडचणींवर एक नजर टाकूया.

1,अति उच्च शुद्धता सामग्रीचा विकास

चीनमधील उच्च-शुद्धता असलेल्या Cu, Al आणि Ta धातूंचे शुद्धीकरण तंत्रज्ञान औद्योगिक विकसित देशांपेक्षा खूप दूर आहे. सद्यस्थितीत, प्रदान केले जाऊ शकणारे बहुतेक उच्च-शुद्ध धातू उद्योगातील पारंपारिक सर्व घटक विश्लेषण पद्धतींनुसार स्पटरिंग लक्ष्यांसाठी एकात्मिक सर्किट्सच्या गुणवत्ता आवश्यकता पूर्ण करू शकत नाहीत. लक्ष्यातील समावेशांची संख्या खूप जास्त आहे किंवा असमानपणे वितरित केली आहे. स्पटरिंग दरम्यान वेफरवर अनेकदा कण तयार होतात, परिणामी शॉर्ट सर्किट किंवा इंटरकनेक्टचे ओपन सर्किट होते, ज्यामुळे चित्रपटाच्या कार्यक्षमतेवर गंभीर परिणाम होतो.

2,कॉपर स्पटरिंग लक्ष्य तयारी तंत्रज्ञानाचा विकास

कॉपर स्पटरिंग लक्ष्य तयारी तंत्रज्ञानाचा विकास प्रामुख्याने तीन पैलूंवर लक्ष केंद्रित करतो: धान्य आकार, अभिमुखता नियंत्रण आणि एकरूपता. सेमीकंडक्टर उद्योगाला स्पटरिंग टार्गेट आणि कच्चा माल बाष्पीभवन करण्यासाठी सर्वाधिक आवश्यकता आहेत. पृष्ठभागावरील धान्याचा आकार आणि लक्ष्याच्या क्रिस्टल अभिमुखतेच्या नियंत्रणासाठी त्यास अत्यंत कठोर आवश्यकता आहेत. लक्ष्याचे धान्य आकार 100 वर नियंत्रित करणे आवश्यक आहेμ एम खाली, म्हणून, धातूच्या लक्ष्यांच्या विकासासाठी धान्याच्या आकाराचे नियंत्रण आणि परस्परसंबंध विश्लेषण आणि शोधण्याचे साधन खूप महत्वाचे आहेत.

3,विश्लेषणाचा विकास आणिचाचणी तंत्रज्ञान

लक्ष्याची उच्च शुद्धता म्हणजे अशुद्धता कमी करणे. भूतकाळात, अशुद्धता निर्धारित करण्यासाठी प्रेरकपणे जोडलेले प्लाझ्मा (ICP) आणि अणू अवशोषण स्पेक्ट्रोमेट्री वापरली जात होती, परंतु अलिकडच्या वर्षांत, उच्च संवेदनशीलतेसह ग्लो डिस्चार्ज गुणवत्ता विश्लेषण (GDMS) हळूहळू मानक म्हणून वापरले जात आहे. पद्धत. अवशिष्ट प्रतिरोध गुणोत्तर RRR पद्धत प्रामुख्याने विद्युत शुद्धता निश्चित करण्यासाठी वापरली जाते. अशुद्धतेच्या इलेक्ट्रॉनिक प्रसाराची डिग्री मोजून बेस मेटलच्या शुद्धतेचे मूल्यांकन करणे हे त्याचे निर्धारण तत्त्व आहे. कारण खोलीच्या तपमानावर आणि अगदी कमी तापमानात प्रतिकार मोजण्यासाठी, संख्या घेणे सोपे आहे. अलिकडच्या वर्षांत, धातूंचे सार शोधण्यासाठी, अति-उच्च शुद्धतेवर संशोधन खूप सक्रिय आहे. या प्रकरणात, शुद्धतेचे मूल्यांकन करण्याचा RRR मूल्य हा सर्वोत्तम मार्ग आहे.