Гянт болдын цахиурын хэсгүүд
Гянт болдын цахиурын хэсгүүд
Вольфрамын силицид WSi2 нь микроэлектроникийн цахилгаан цочролын материал, полисиликон утсан дээр маневр хийх, исэлдэлтийн эсрэг бүрэх, эсэргүүцэх утас бүрэх зэрэгт ашиглагддаг. Гянт болдын цахиурыг микроэлектроникт контакт материал болгон ашигладаг бөгөөд эсэргүүцэл нь 60-80μΩсм байна. Энэ нь 1000 градусын температурт үүсдэг. Энэ нь ихэвчлэн полисиликон шугамын дамжуулалтыг нэмэгдүүлэх, дохионы хурдыг нэмэгдүүлэх зорилгоор шунт болгон ашигладаг. Гянт болд Цахиурын давхаргыг уурын хуримтлал гэх мэт химийн уурын хуримтлалаар бэлтгэж болно. Моносилан эсвэл дихлоросилан, вольфрамын гексафторидыг түүхий эд болгон ашиглах. Хуримтлагдсан хальс нь стехиометрийн бус бөгөөд илүү дамжуулагч стехиометрийн хэлбэрт хувиргахын тулд ангалалтыг шаарддаг.
Гянт болдын цахиур нь өмнөх вольфрамын хальсыг сольж болно. Гянт болдын цахиурыг мөн цахиур болон бусад металлын хоорондох хаалт болгон ашигладаг.
Гянт болдын цахиур нь микроэлектромеханик системд маш үнэ цэнэтэй бөгөөд тэдгээрийн дотор вольфрамын цахиурыг микро схем үйлдвэрлэхэд нимгэн хальс болгон ашигладаг. Энэ зорилгоор вольфрамын цахиурын хальсыг жишээлбэл, силицид ашиглан плазмаар сийлсэн байж болно.
| ЗҮЙЛ | Химийн найрлага | |||||
| Элемент | W | C | P | Fe | S | Si |
| Агуулга (бүү%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Тэнцвэр |
Rich Special Materials нь шүрших зориулалттай материал үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэн бөгөөд вольфрамын силицид үйлдвэрлэх боломжтойширхэгХэрэглэгчийн тодорхойлолтын дагуу. Дэлгэрэнгүй мэдээлэл авахыг хүсвэл бидэнтэй холбогдоно уу.
