1、 Шүрших бэлтгэл
Вакуум камер, ялангуяа шүрших системийг цэвэр байлгах нь маш чухал юм. Тосолгооны тос, тоос, өмнөх бүрхүүлээс үүссэн аливаа үлдэгдэл нь усны уур болон бусад бохирдуулагчийг хуримтлуулах бөгөөд энэ нь вакуум зэрэгт шууд нөлөөлж, хальс үүсэх магадлалыг нэмэгдүүлдэг. Богино холболт эсвэл зорилтот нуман, барзгар хальсан гадаргуу, хэт их химийн хольцын агууламж нь бохир цацах камер, шүршигч буу, бай зэргээс үүсдэг. Бүрхүүлийн найрлагын шинж чанарыг дагаж мөрдөхийн тулд шүрших хий (аргон эсвэл хүчилтөрөгч) -ийг цэвэрлэж, хатаах шаардлагатай. Субстратыг шүрших камерт суулгасны дараа процесст шаардагдах вакуумд хүрэхийн тулд агаарыг гаргаж авах шаардлагатай. Харанхуй хэсэг, хөндийн хана болон зэргэлдээх гадаргуугийн хамгаалалтын бүрхүүлийг цэвэр байлгах шаардлагатай. Вакуум камерыг цэвэрлэхдээ тоосжилттой хэсгүүдийг цэвэрлэхийн тулд шилэн бөмбөгөөр тэсэлгээ хийх, камерын эргэн тойронд үүссэн эрт цацсан үлдэгдлийг шахсан агаартай хамт цэвэрлэж, дараа нь хөнгөн цагааны исэл шингээсэн зүлгүүрээр гаднах гадаргууг чимээгүй өнгөлөхийг зөвлөж байна. Самбай цаасыг өнгөлсөний дараа спирт, ацетон, ионгүйжүүлсэн усаар цэвэрлэнэ. Энэ нь хамтад нь туслах цэвэрлэгээнд үйлдвэрлэлийн тоос сорогч ашиглахыг дэмждэг. Гаожан металлын үйлдвэрлэсэн байнууд нь вакуум битүүмжилсэн гялгар уутанд савлагдсан,
Баригдсан чийгэнд тэсвэртэй бодис. Байгаа ашиглахдаа гараараа шууд хүрч болохгүй. Тайлбар: Байршлыг ашиглахдаа цэвэрхэн, хөвөнгүй арчилгааны бээлий өмс. Гараараа бай руу хэзээ ч бүү хүр
2、 Зорилтот цэвэрлэгээ
Зорилтот цэвэрлэгээний зорилго нь байны гадаргуу дээр байж болох тоос, шороог зайлуулах явдал юм.
Металл байг дөрвөн алхамаар цэвэрлэж болно.
Эхний алхам бол ацетоноор дэвтээсэн хөвөнгүй зөөлөн даавуугаар цэвэрлэх;
Хоёрдахь алхам нь эхний алхамтай төстэй, согтууруулах ундаагаар цэвэрлэх;
Алхам 3: ионгүйжүүлсэн усаар цэвэрлэнэ. Ионгүйжүүлсэн усаар угаасны дараа зууханд тавиад 100 хэмд 30 минут хатаана.
Исэл ба керамик объектыг "хөөсгүй даавуугаар" цэвэрлэнэ.
Дөрөв дэх алхам бол тоос шороог зайлуулсны дараа өндөр даралттай, бага устай аргоноор угаана, ингэснээр шүрших системд нум үүсгэж болзошгүй бүх хольцыг зайлуулна.
3、 Зорилтот төхөөрөмж
Зорилтот суурилуулалтын явцад Z чухал урьдчилан сэргийлэх арга хэмжээ нь зорилтот болон шүршигч бууны хөргөх хананы хооронд дулаан дамжуулалтыг сайн холбох явдал юм. Хэрэв хөргөх шонгийн эвдрэл хүчтэй эсвэл арын хавтангийн эвдрэл хүчтэй байвал зорилтот төхөөрөмж хагарах эсвэл нугалж, арын зорилтоос зорилтот хүртэлх дулаан дамжилтын чанарт ихээхэн нөлөөлж, улмаар дулаан ялгаруулах чадваргүй болно. шүрших явцад, бай нь хагарах эсвэл алдах болно
Дулаан дамжуулалтыг хангахын тулд катодын хөргөлтийн хана ба зорилтот объектын хооронд графит цаасны давхаргыг нааж болно. О-цагираг нь үргэлж байгаа эсэхийг шалгахын тулд ашигласан шүршигч бууны хөргөх хананы тэгш байдлыг сайтар шалгаж, тодорхой болгоход анхаарна уу.
Ашигласан хөргөлтийн усны цэвэр байдал, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын явцад үүсэх тоос нь катодын хөргөлтийн усны саванд хуримтлагдах тул зорилтот төхөөрөмжийг суурилуулахдаа катодын хөргөлтийн усны савыг шалгаж, цэвэрлэж байх шаардлагатай. хөргөх усны эргэлт, оролт, гаралтыг хааж болохгүй.
Зарим катодууд нь анодтой жижиг зайтай байхаар төлөвлөж байгаа тул зорилтот байгууламжийг суурилуулахдаа катод ба анодын хооронд ямар ч мэдрэгч, дамжуулагч байхгүй байх шаардлагатай, эс тэгвээс богино холболт үүснэ.
Тоног төхөөрөмжийг хэрхэн зөв ажиллуулах тухай мэдээллийг тоног төхөөрөмжийн операторын гарын авлагаас авна уу. Хэрэв хэрэглэгчийн гарын авлагад ийм мэдээлэл байхгүй бол Gaozhan металлаас өгсөн холбогдох зөвлөмжийн дагуу төхөөрөмжийг суулгахыг оролдоно уу. Зорилтот бэхэлгээг чангалахдаа эхлээд нэг боолтыг гараар чангалж, дараа нь диагональ дээр өөр боолтыг гараар чангална. Төхөөрөмж дээрх бүх боолтыг чангалах хүртэл үүнийг давтаж, дараа нь ямар нэгэн зүйлээр чангал.
4、 Богино холболт ба битүүмжлэлийг шалгах
Зорилтот төхөөрөмж дууссаны дараа бүх катодын богино холболт, битүүмжлэлийг шалгах шаардлагатай.
Эсэргүүцэл хэмжигч ашиглан катодын богино холболт байгаа эсэхийг тодорхойлохыг санал болгож байна
Мөрийн ялгаварлан гадуурхалт. Катодын богино холболт байхгүй гэдгийг баталгаажуулсны дараа алдагдлыг илрүүлэх ажлыг хийж, ус гоожиж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд катод руу ус нэвтрүүлж болно.
5、 Урьдчилан цацах зорилтот
Target sputtering нь байны гадаргууг цэвэрлэж чаддаг цэвэр аргон цацалтыг дэмждэг. Зорилтотыг урьдчилан цацах үед цацах хүчийг аажмаар нэмэгдүүлэхийг зөвлөж байна, керамик объектын хүчийг нэмэгдүүлэх хурд нь 1.5WH / cm2 байна. Металл байны шүршихээс өмнөх хурд нь керамик зорилтот блокоос өндөр байж болох бөгөөд боломжийн эрчим хүчний өсөлт нь 1.5WH / cm2 байна.
Урьдчилан шүрших явцад бид байны нумыг шалгах хэрэгтэй. Урьдчилан цацах хугацаа нь ерөнхийдөө 10 минут орчим байдаг. Хэрэв нум үүсгэх үзэгдэл байхгүй бол шүрших хүчийг тасралтгүй нэмэгдүүлнэ
Тогтоосон хүч рүү. Туршлагаас харахад металлын зорилтот зэвсгийн зөвшөөрөгдөх Z өндөр шүрших чадал
Керамик зорилтот хувьд 25 ватт / см2, 10 ватт / см2. Хэрэглэгчийн системийн ашиглалтын гарын авлагаас шүрших үед вакуум камерын даралтыг тохируулах үндэслэл, туршлагыг үзнэ үү. Ерөнхийдөө хөргөлтийн усны гаралтын усны температур 35 ℃-аас бага байх ёстой, гэхдээ Z хөргөлтийн усны эргэлтийн системийг үр дүнтэй ажиллуулах нь чухал юм.
Хэт хөргөлтийн усны хурдацтай эргэлт нь дулааныг зайлуулдаг бөгөөд энэ нь өндөр хүчээр тасралтгүй цацрах чухал баталгаа юм. Металл объектын хувьд хөргөлтийн усны урсгалыг ерөнхийд нь зөвлөдөг
20 lpm усны даралт ойролцоогоор 5gmp байна; Керамик материалын хувьд усны урсгал нь 30 л/мин, усны даралт нь ойролцоогоор 9 гм байна гэж ерөнхийд нь зөвлөдөг.
6、 Зорилтот засвар үйлчилгээ
Цус цацах явцад бохирдсон хөндийн улмаас үүссэн богино холболт, нум үүсэхээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд шүрших замын голд болон хоёр талд хуримтлагдсан шүршигчийг үе шаттайгаар зайлуулах,
Энэ нь хэрэглэгчдэд z өндөр эрчим хүчний нягтралд тасралтгүй цацрахад тусалдаг
7、 Зорилтот хадгалалт
Гаожан металлаас нийлүүлсэн байнууд нь хоёр давхар вакуум гялгар уутанд савлагдсан байдаг. Хэрэглэгчид металл эсвэл керамик гэх мэт байг вакуум савлагаатай байлгахыг бид дэмжиж байна. Ялангуяа холбох давхаргын исэлдэлт нь холболтын чанарт нөлөөлөхөөс сэргийлэхийн тулд холбох объектуудыг вакуум нөхцөлд хадгалах шаардлагатай. Металл объектын савлагааны тухайд бид Z-г цэвэр гялгар уутанд савлахыг зөвлөж байна
Шуудангийн цаг: 2022 оны 5-р сарын 13-ны хооронд