Шүршсэн зорилтот материал нь ашиглалтын явцад өндөр шаардлага тавьдаг бөгөөд зөвхөн цэвэршилт, ширхэгийн хэмжээгээр төдийгүй жигд ширхэгийн хэмжээтэй байдаг. Эдгээр өндөр шаардлагууд нь шүрших зорилтот материалыг ашиглахад илүү их анхаарал хандуулдаг.
1. Шүрших бэлтгэл
Вакуум камер, ялангуяа шүрших системийг цэвэр байлгах нь маш чухал юм. Тосолгооны материал, тоос, өмнөх бүрээсийн үлдэгдэл нь ус зэрэг бохирдуулагчийг хуримтлуулж, вакуумд шууд нөлөөлж, хальс үүсэх магадлалыг нэмэгдүүлдэг. Богино холболт, зорилтот нуман, барзгар хальс үүсгэдэг гадаргуу, хэт их химийн хольц нь ихэвчлэн бохир цацах камер, буу, бай зэргээс үүсдэг.
Бүрхүүлийн найрлагын шинж чанарыг хадгалахын тулд цацах хий (аргон эсвэл хүчилтөрөгч) нь цэвэр, хуурай байх ёстой. Субстратыг шүрших камерт суулгасны дараа процесст шаардагдах вакуум түвшинд хүрэхийн тулд агаарыг гаргаж авах шаардлагатай.
2. Зорилтот цэвэрлэгээ
Зорилтот цэвэрлэгээний зорилго нь байны гадаргуу дээр байж болох тоос, шороог арилгах явдал юм.
3. Зорилтот суурилуулалт
Зорилтот материалыг суурилуулах явцад анхаарах хамгийн чухал зүйл бол зорилтот материал болон шүршигч бууны хөргөх хананы хооронд дулааны сайн холболтыг хангах явдал юм. Хэрэв хөргөх хана эсвэл арын хавтан нь маш их хазайсан бол зорилтот материалыг суурилуулах явцад хагарал, гулзайлтын шалтгаан болно. Арын зорилтот материалаас зорилтот материал руу дулаан дамжуулахад ихээхэн нөлөөлж, шүрших үед дулааныг гадагшлуулах боломжгүй болж, улмаар зорилтот материалын хагарал, хазайлтад хүргэдэг.
4. Богино холболт ба битүүмжлэлийг шалгах
Зорилтот материалыг суурилуулсны дараа бүх катодын богино холболт, битүүмжлэлийг шалгах шаардлагатай. Катодын богино холболттой эсэхийг тодорхойлохын тулд омметр ба мегаомметрийг ашиглахыг зөвлөж байна. Катодыг богино холболтгүй гэдгийг баталгаажуулсны дараа катод руу ус шахах замаар гоожиж байгаа эсэхийг тодорхойлох боломжтой.
5. Шүршихийн өмнөх зорилтот материал
Зорилтот материалын гадаргууг цэвэрлэх боломжтой цэвэр аргон хий ашиглахыг зөвлөж байна. Зорилтот материалын хувьд шүршихээс өмнө цацах хүчийг аажмаар нэмэгдүүлэхийг зөвлөж байна. Керамик зорилтот материалын хүч
Шуудангийн цаг: 2023 оны 10-р сарын 19