Сүүлийн жилүүдэд нэгдсэн хэлхээний (IC) технологийн дэвшлийн дагуу нэгдсэн хэлхээний холбогдох хэрэглээ хурдацтай хөгжиж байна. Хэт өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны хайлш цацах нь нэгдсэн хэлхээний металл холболтыг үйлдвэрлэхэд туслах материал болох нь сүүлийн үеийн дотоодын судалгааны халуун сэдэв болоод байна. RSM-ийн редактор бидэнд өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны хайлш цацах зорилтот шинж чанарыг харуулах болно.
Магнетрон цацах зорилтот шүрших үр ашгийг цаашид сайжруулах, хуримтлагдсан хальсны чанарыг баталгаажуулахын тулд хэт өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны хайлш цацах зорилтот найрлага, бичил бүтэц, үр тарианы чиг баримжаа зэрэгт тодорхой шаардлага тавьдаг болохыг олон тооны туршилтууд харуулж байна.
Тарианы хэмжээ, тарианы чиг баримжаа нь IC хальсны бэлтгэл, шинж чанарт ихээхэн нөлөөлдөг. Үр дүн нь үр тарианы хэмжээ ихсэх тусам тунадасны хэмжээ буурч байгааг харуулж байна; Ижил найрлагатай шүрших зорилтын хувьд жижиг ширхэгтэй байны шүрших хурд нь том ширхэгтэй зорилтотоос илүү хурдан байдаг; Зорилтот үр тарианы хэмжээ жигд байх тусам хуримтлагдсан хальсны зузаан жигд тархах болно.
Ижил шүрших хэрэгсэл ба процессын параметрүүдийн дагуу Al Cu хайлшны зорилтот шүрших хурд нь атомын нягтрал ихсэх тусам нэмэгддэг боловч энэ нь ерөнхийдөө тодорхой хэмжээнд тогтвортой байдаг. Үр тарианы хэмжээ нь шүрших хурдад үзүүлэх нөлөө нь ширхэгийн хэмжээ өөрчлөгдөхөд атомын нягтын өөрчлөлтөөс шалтгаална; Туналтын хурдад голчлон Al Cu хайлшны зорилтот үр тарианы чиглэл нөлөөлдөг. (200) болор хавтгайн харьцааг хангах үндсэн дээр (111), (220) ба (311) болор хавтгайн эзлэх хувь нэмэгдэх нь тунадасжилтын хурдыг нэмэгдүүлнэ.
Хэт өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан хайлшны зорилтот үр тарианы хэмжээ, үр тарианы чиг баримжаа нь ембүүг нэгэн төрлийн болгох, халуунаар боловсруулах, дахин талстжуулах аргаар голчлон тохируулж, хянадаг. Өргөст цаасны хэмжээ 20.32 см (8 инч) ба 30.48 см (12 инч) болж хөгжихийн хэрээр зорилтот хэмжээ нь мөн нэмэгдэж байгаа нь хэт өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны хайлш цацах зорилтот өндөр шаардлагыг тавьж байна. Киноны чанар, ургацыг хангахын тулд зорилтот бичил бүтцийг жигд болгохын тулд зорилтот боловсруулалтын параметрүүдийг хатуу хянаж, үр тарианы чиглэл нь хүчтэй (200) ба (220) хавтгай бүтэцтэй байх ёстой.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 6-р сарын 30-ны хооронд