എന്താണ് സ്പട്ടർ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ

മാഗ്നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ഒരു പുതിയ ഫിസിക്കൽ നീരാവി കോട്ടിംഗ് രീതിയാണ്, മുമ്പത്തെ ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ് രീതിയുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, പല വശങ്ങളിലും അതിൻ്റെ ഗുണങ്ങൾ വളരെ ശ്രദ്ധേയമാണ്. പ്രായപൂർത്തിയായ ഒരു സാങ്കേതികവിദ്യ എന്ന നിലയിൽ, പല മേഖലകളിലും മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രയോഗിച്ചു.

　　മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് തത്വം:

സ്‌പട്ടർ ചെയ്‌ത ടാർഗെറ്റ് പോൾ (കാഥോഡ്) ആനോഡിനും ഇടയിൽ ഒരു ഓർത്തോഗണൽ കാന്തികക്ഷേത്രവും വൈദ്യുത മണ്ഡലവും ചേർക്കുന്നു, ഉയർന്ന വാക്വം ചേമ്പറിൽ ആവശ്യമായ നിഷ്ക്രിയ വാതകം (സാധാരണയായി ആർ വാതകം) നിറയ്ക്കുന്നു. സ്ഥിരമായ കാന്തം ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ 250-350 ഗാസ് കാന്തികക്ഷേത്രം ഉണ്ടാക്കുന്നു, കൂടാതെ ഓർത്തോഗണൽ വൈദ്യുതകാന്തിക മണ്ഡലം ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തോടുകൂടിയതാണ്. വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിൻ്റെ സ്വാധീനത്തിൽ, പോസിറ്റീവ് അയോണുകളിലേക്കും ഇലക്ട്രോണുകളിലേക്കും ആർ ഗ്യാസ് അയോണൈസേഷൻ, ടാർഗെറ്റ് ചെയ്യുകയും നിശ്ചിത നെഗറ്റീവ് മർദ്ദം ഉണ്ടാകുകയും ചെയ്യുന്നു, കാന്തികക്ഷേത്രത്തിൻ്റെ ഫലവും പ്രവർത്തന വാതക അയോണൈസേഷൻ പ്രോബബിലിറ്റി വർദ്ധനയും മൂലം ധ്രുവത്തിൽ നിന്നുള്ള ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് ടാർഗെറ്റും ചില നെഗറ്റീവ് മർദ്ദവും ഉണ്ടാകുന്നു. കാഥോഡ്, ലോറൻസ് ഫോഴ്‌സിൻ്റെ പ്രവർത്തനത്തിന് കീഴിലുള്ള ആർ അയോൺ, ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിലേക്ക് പറക്കുന്നതിന് വേഗത കൂട്ടുന്നു, ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിൽ ഉയർന്ന വേഗതയിൽ ബോംബെറിയുന്നു, ലക്ഷ്യത്തിലെ സ്‌പട്ടർ ആറ്റങ്ങൾ പിന്തുടരുന്നു മൊമെൻ്റം പരിവർത്തനത്തിൻ്റെ തത്വം, ഉയർന്ന ഗതികോർജ്ജം ഉപയോഗിച്ച് ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഡിപ്പോസിഷൻ ഫിലിമിലേക്ക് പറക്കുക.

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് സാധാരണയായി രണ്ട് തരങ്ങളായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നു: ഡിസി സ്പട്ടറിംഗ്, ആർഎഫ് സ്പട്ടറിംഗ്. ഡിസി സ്‌പട്ടറിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ തത്വം ലളിതമാണ്, മെറ്റൽ സ്‌പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുമ്പോൾ നിരക്ക് വേഗത്തിലാണ്. RF സ്പട്ടറിംഗിൻ്റെ ഉപയോഗം കൂടുതൽ വിപുലമാണ്, കൂടാതെ ചാലക വസ്തുക്കൾ പൊടിക്കുന്നു, മാത്രമല്ല ചാലകമല്ലാത്ത വസ്തുക്കളും, മാത്രമല്ല ഓക്സൈഡുകൾ, നൈട്രൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, മറ്റ് സംയുക്ത പദാർത്ഥങ്ങൾ എന്നിവയുടെ റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് തയ്യാറാക്കലും. RF ൻ്റെ ആവൃത്തി വർദ്ധിക്കുകയാണെങ്കിൽ, അത് മൈക്രോവേവ് പ്ലാസ്മ സ്പട്ടറിംഗ് ആയി മാറുന്നു. നിലവിൽ, ഇലക്ട്രോൺ സൈക്ലോട്രോൺ റെസൊണൻസ് (ECR) ടൈപ്പ് മൈക്രോവേവ് പ്ലാസ്മ സ്പട്ടറിംഗ് ആണ് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്.

　　മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ:

മെറ്റൽ സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ, കോട്ടിംഗ് അലോയ് സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ, സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ, ബോറൈഡ് സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ, കാർബൈഡ് സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ, ഫ്ലൂറൈഡ് സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ, നൈട്രൈഡ് സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾ സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ, സിലിസൈഡ് സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ, സൾഫൈഡ് സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ, ടെല്ലുറൈഡ് സെറാമിക് സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ്, മറ്റ് സെറാമിക് ടാർഗെറ്റ്, ക്രോമിയം-ഡോപ്പ്ഡ് സിലിക്കൺ ഓക്‌സൈഡ് സെറാമിക് ടാർഗെറ്റ് (CR-SiO), ഇൻഡിയം ഫോസ്‌ഫൈഡ് ടാർഗെറ്റ് (ഇൻപിഎ ടാർഗെറ്റ് (ഇൻപിഎ) ), ഇൻഡിയം ആർസെനൈഡ് ലക്ഷ്യം (InAs).