ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രകടന ആവശ്യകതകൾ എന്തൊക്കെയാണ്

ലക്ഷ്യത്തിന് വിശാലമായ വിപണിയും ആപ്ലിക്കേഷൻ ഏരിയയും ഭാവിയിൽ വലിയ വികസനവുമുണ്ട്. ടാർഗെറ്റ് ഫംഗ്‌ഷനുകൾ നന്നായി മനസ്സിലാക്കാൻ നിങ്ങളെ സഹായിക്കുന്നതിന്, ഇവിടെ ചുവടെയുള്ള RSM എഞ്ചിനീയർ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രധാന പ്രവർത്തന ആവശ്യകതകൾ ഹ്രസ്വമായി അവതരിപ്പിക്കും.

ശുദ്ധി: ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ പ്രധാന പ്രവർത്തന സൂചകങ്ങളിലൊന്നാണ് വിശുദ്ധി, കാരണം ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ശുദ്ധി സിനിമയുടെ പ്രവർത്തനത്തിൽ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, പ്രായോഗിക പ്രയോഗത്തിൽ, ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ പരിശുദ്ധി ആവശ്യകതകളും വ്യത്യസ്തമാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്, മൈക്രോഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് വ്യവസായത്തിൻ്റെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വികാസത്തോടെ, സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ വലുപ്പം 6 “8″ മുതൽ 12” വരെ വികസിക്കുകയും വയറിംഗ് വീതി 0.5um മുതൽ 0.25um, 0.18um അല്ലെങ്കിൽ 0.13um വരെ കുറയുകയും ചെയ്യുന്നു. മുമ്പ്, ടാർഗെറ്റ് പ്യൂരിറ്റിയുടെ 99.995% 0.35umic എന്ന പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റും, അതേസമയം 0.18um ലൈനുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് 99.999% അല്ലെങ്കിൽ ടാർഗെറ്റ് പ്യൂരിറ്റിയുടെ 99.9999% പോലും ആവശ്യമാണ്.

അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം: ടാർഗെറ്റ് സോളിഡുകളിലെ മാലിന്യങ്ങളും സുഷിരങ്ങളിലെ ഓക്സിജനും ജല നീരാവിയുമാണ് നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ പ്രധാന മലിനീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ. വ്യത്യസ്‌ത ആവശ്യങ്ങൾക്കായുള്ള ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് വ്യത്യസ്‌ത അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കങ്ങൾക്കായി വ്യത്യസ്ത ആവശ്യകതകൾ ഉണ്ട്. ഉദാഹരണത്തിന്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ശുദ്ധമായ അലുമിനിയം, അലുമിനിയം അലോയ് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് ആൽക്കലി ലോഹത്തിൻ്റെ ഉള്ളടക്കത്തിനും റേഡിയോ ആക്ടീവ് മൂലകത്തിൻ്റെ ഉള്ളടക്കത്തിനും പ്രത്യേക ആവശ്യകതകളുണ്ട്.

സാന്ദ്രത: ടാർഗെറ്റ് സോളിഡിലെ സുഷിരങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിമിൻ്റെ പ്രവർത്തനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, ലക്ഷ്യത്തിന് സാധാരണയായി ഉയർന്ന സാന്ദ്രത ആവശ്യമാണ്. ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ സാന്ദ്രത സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ മാത്രമല്ല, ഫിലിമിൻ്റെ വൈദ്യുത, ​​ഒപ്റ്റിക്കൽ പ്രവർത്തനങ്ങളെയും ബാധിക്കുന്നു. ടാർഗെറ്റ് ഡെൻസിറ്റി കൂടുന്തോറും ഫിലിമിൻ്റെ പ്രവർത്തനം മികച്ചതാണ്. കൂടാതെ, ടാർഗെറ്റിൻ്റെ സാന്ദ്രതയും ശക്തിയും മെച്ചപ്പെടുന്നു, അതുവഴി സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിലെ താപ സമ്മർദ്ദം ലക്ഷ്യത്തിന് നന്നായി സ്വീകരിക്കാൻ കഴിയും. ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ പ്രധാന പ്രവർത്തന സൂചകങ്ങളിൽ ഒന്നാണ് സാന്ദ്രത.