1, സ്പട്ടറിംഗ് തയ്യാറാക്കൽ
വാക്വം ചേമ്പർ, പ്രത്യേകിച്ച് സ്പട്ടറിംഗ് സിസ്റ്റം വൃത്തിയായി സൂക്ഷിക്കേണ്ടത് വളരെ പ്രധാനമാണ്. എണ്ണ, പൊടി, മുൻ കോട്ടിംഗ് എന്നിവ വഴി രൂപപ്പെടുന്ന ഏതെങ്കിലും അവശിഷ്ടം ജല നീരാവിയും മറ്റ് മലിനീകരണങ്ങളും ശേഖരിക്കും, ഇത് വാക്വം ഡിഗ്രിയെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുകയും ഫിലിം രൂപീകരണ പരാജയത്തിൻ്റെ സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും. ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട് അല്ലെങ്കിൽ ടാർഗെറ്റ് ആർസിംഗ്, പരുക്കൻ ഫിലിം ഉപരിതലം, അമിതമായ രാസ മാലിന്യങ്ങൾ എന്നിവ പലപ്പോഴും വൃത്തിഹീനമായ സ്പട്ടറിംഗ് ചേമ്പർ, സ്പട്ടറിംഗ് ഗൺ, ടാർഗെറ്റ് എന്നിവ മൂലമാണ് ഉണ്ടാകുന്നത്. കോട്ടിംഗിൻ്റെ ഘടനാപരമായ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ പാലിക്കുന്നതിന്, സ്പട്ടറിംഗ് ഗ്യാസ് (ആർഗോൺ അല്ലെങ്കിൽ ഓക്സിജൻ) വൃത്തിയാക്കാനും ഉണക്കാനും അത് ആവശ്യമാണ്. സ്പട്ടറിംഗ് ചേമ്പറിൽ അടിവസ്ത്രം ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്ത ശേഷം, പ്രക്രിയയ്ക്ക് ആവശ്യമായ വാക്വം എത്താൻ എയർ എക്സ്ട്രാക്റ്റ് ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്. ഇരുണ്ട ഭാഗത്തെ ഷീൽഡിംഗ് കവർ, അറയുടെ മതിൽ, തൊട്ടടുത്തുള്ള ഉപരിതലം എന്നിവയും വൃത്തിയായി സൂക്ഷിക്കേണ്ടതുണ്ട്. വാക്വം ചേമ്പർ വൃത്തിയാക്കുമ്പോൾ, പൊടിപടലമുള്ള ഭാഗങ്ങൾ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ ഗ്ലാസ് ബോൾ ഷോട്ട് ബ്ലാസ്റ്റിംഗ് ഉപയോഗിക്കാനും കംപ്രസ് ചെയ്ത വായു ഉപയോഗിച്ച് അറയ്ക്ക് ചുറ്റുമുള്ള ആദ്യകാല സ്പട്ടറിംഗ് അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യാനും തുടർന്ന് അലുമിന ഇംപ്രെഗ്നേറ്റഡ് സാൻഡ്പേപ്പർ ഉപയോഗിച്ച് ബാഹ്യ ഉപരിതലം നിശബ്ദമായി മിനുക്കാനും ഞങ്ങൾ ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു. നെയ്തെടുത്ത പേപ്പർ പോളിഷ് ചെയ്ത ശേഷം, അത് മദ്യം, അസെറ്റോൺ, ഡീയോണൈസ്ഡ് വെള്ളം എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് വൃത്തിയാക്കുന്നു. ഒന്നിച്ച്, സഹായ ശുചീകരണത്തിനായി വ്യാവസായിക വാക്വം ക്ലീനർ ഉപയോഗിക്കണമെന്ന് ഇത് വാദിക്കുന്നു. ഗൗസാൻ ലോഹം ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്ന ടാർഗെറ്റുകൾ വാക്വം സീൽ ചെയ്ത പ്ലാസ്റ്റിക് ബാഗുകളിൽ പായ്ക്ക് ചെയ്യുന്നു.
ഈർപ്പം-പ്രൂഫ് ഏജൻ്റിൽ നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, നിങ്ങളുടെ കൈകൊണ്ട് ലക്ഷ്യം നേരിട്ട് തൊടരുത്. ശ്രദ്ധിക്കുക: ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, വൃത്തിയുള്ളതും ലിൻ്റ് ഇല്ലാത്തതുമായ മെയിൻ്റനൻസ് ഗ്ലൗസുകൾ ധരിക്കുക. നിങ്ങളുടെ കൈകൊണ്ട് ഒരിക്കലും ലക്ഷ്യത്തിൽ നേരിട്ട് തൊടരുത്
2, ടാർഗെറ്റ് ക്ലീനിംഗ്
ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിലനിൽക്കുന്ന പൊടി അല്ലെങ്കിൽ അഴുക്ക് നീക്കം ചെയ്യുക എന്നതാണ് ടാർഗെറ്റ് ക്ലീനിംഗിൻ്റെ ലക്ഷ്യം.
മെറ്റൽ ടാർഗെറ്റ് നാല് ഘട്ടങ്ങളിലൂടെ വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയും,
അസെറ്റോണിൽ നനച്ച ലിൻ്റ് ഫ്രീ മൃദുവായ തുണി ഉപയോഗിച്ച് വൃത്തിയാക്കുക എന്നതാണ് ആദ്യപടി;
രണ്ടാമത്തെ ഘട്ടം ആദ്യ ഘട്ടത്തിന് സമാനമാണ്, മദ്യം ഉപയോഗിച്ച് വൃത്തിയാക്കൽ;
ഘട്ടം 3: ഡീയോണൈസ്ഡ് വെള്ളം ഉപയോഗിച്ച് വൃത്തിയാക്കുക. ഡീയോണൈസ്ഡ് വെള്ളത്തിൽ കഴുകിയ ശേഷം, ലക്ഷ്യം അടുപ്പത്തുവെച്ചു 100 ℃ 30 മിനിറ്റ് ഉണക്കുക.
ഓക്സൈഡിൻ്റെയും സെറാമിക് ലക്ഷ്യങ്ങളുടെയും വൃത്തിയാക്കൽ "ലിൻ്റ് ഫ്രീ തുണി" ഉപയോഗിച്ച് നടത്തണം.
പൊടിപടലങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്തതിന് ശേഷം ഉയർന്ന മർദ്ദവും കുറഞ്ഞ ജല വാതകവും ഉപയോഗിച്ച് ആർഗൺ ഉപയോഗിച്ച് ടാർഗെറ്റ് കഴുകുക എന്നതാണ് നാലാമത്തെ ഘട്ടം, അങ്ങനെ സ്പട്ടറിംഗ് സിസ്റ്റത്തിൽ ആർക്ക് രൂപപ്പെടുന്ന എല്ലാ അശുദ്ധി കണങ്ങളും നീക്കം ചെയ്യും.
3, ടാർഗെറ്റ് ഉപകരണം
ടാർഗെറ്റ് ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ പ്രക്രിയയിൽ, ഇസഡ് പ്രധാന മുൻകരുതലുകൾ ടാർഗെറ്റും സ്പട്ടറിംഗ് തോക്കിൻ്റെ കൂളിംഗ് ഭിത്തിയും തമ്മിൽ നല്ല താപ ചാലക കണക്ഷൻ ഉറപ്പാക്കുക എന്നതാണ്. കൂളിംഗ് സ്റ്റേവിൻ്റെ വാർപേജ് കഠിനമോ ബാക്ക് പ്ലേറ്റിൻ്റെ വാർപേജ് കഠിനമോ ആണെങ്കിൽ, ടാർഗെറ്റ് ഉപകരണം പൊട്ടുകയോ വളയുകയോ ചെയ്യും, കൂടാതെ ബാക്ക് ടാർഗെറ്റിൽ നിന്ന് ലക്ഷ്യത്തിലേക്കുള്ള താപ ചാലകതയെ വളരെയധികം ബാധിക്കും, ഇത് താപ വിസർജ്ജനം പരാജയപ്പെടുന്നതിന് കാരണമാകും. സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, ലക്ഷ്യം തകരുകയോ നഷ്ടപ്പെടുകയോ ചെയ്യും
താപ ചാലകത ഉറപ്പാക്കാൻ, കാഥോഡ് കൂളിംഗ് മതിലിനും ലക്ഷ്യത്തിനുമിടയിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ് പേപ്പറിൻ്റെ ഒരു പാളി പാഡ് ചെയ്യാം. O-റിംഗ് എല്ലായ്പ്പോഴും സ്ഥലത്തുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന സ്പട്ടറിംഗ് തോക്കിൻ്റെ കൂളിംഗ് ഭിത്തിയുടെ പരന്നത ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം പരിശോധിച്ച് വ്യക്തമാക്കാൻ ദയവായി ശ്രദ്ധിക്കുക.
ഉപയോഗിക്കുന്ന കൂളിംഗ് വെള്ളത്തിൻ്റെ വൃത്തിയും ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന സമയത്ത് ഉണ്ടാകുന്ന പൊടിയും കാഥോഡ് കൂളിംഗ് വാട്ടർ ടാങ്കിൽ നിക്ഷേപിക്കുമെന്നതിനാൽ, ടാർഗെറ്റ് ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യുമ്പോൾ കാഥോഡ് കൂളിംഗ് വാട്ടർ ടാങ്ക് പരിശോധിച്ച് വൃത്തിയാക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. തണുപ്പിക്കുന്ന വെള്ളത്തിൻ്റെ രക്തചംക്രമണം, ഇൻലെറ്റും ഔട്ട്ലെറ്റും തടയപ്പെടില്ല.
ചില കാഥോഡുകൾ ആനോഡിനൊപ്പം ഒരു ചെറിയ ഇടം ആസൂത്രണം ചെയ്തിട്ടുണ്ട്, അതിനാൽ ടാർഗെറ്റ് ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യുമ്പോൾ, കാഥോഡിനും ആനോഡിനും ഇടയിൽ ടച്ച് അല്ലെങ്കിൽ കണ്ടക്ടർ ഇല്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കേണ്ടതുണ്ട്, അല്ലാത്തപക്ഷം ഒരു ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട് സംഭവിക്കും.
ടാർഗെറ്റ് എങ്ങനെ ശരിയായി പ്രവർത്തിപ്പിക്കാം എന്നതിനെക്കുറിച്ചുള്ള വിവരങ്ങൾക്ക് ഉപകരണ ഓപ്പറേറ്ററുടെ മാനുവൽ കാണുക. ഉപയോക്തൃ മാനുവലിൽ അത്തരം വിവരങ്ങളൊന്നും ഇല്ലെങ്കിൽ, Gaozhan മെറ്റൽ നൽകുന്ന പ്രസക്തമായ നിർദ്ദേശങ്ങൾ അനുസരിച്ച് ഉപകരണം ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യാൻ ശ്രമിക്കുക. ടാർഗെറ്റ് ഫിക്ചർ മുറുക്കുമ്പോൾ, ആദ്യം ഒരു ബോൾട്ട് കൈകൊണ്ട് മുറുക്കുക, തുടർന്ന് ഡയഗണലിൽ മറ്റൊരു ബോൾട്ട് കൈകൊണ്ട് മുറുക്കുക. ഉപകരണത്തിലെ എല്ലാ ബോൾട്ടുകളും മുറുക്കുന്നതുവരെ ഇത് ആവർത്തിക്കുക, തുടർന്ന് എന്തെങ്കിലും ഉപയോഗിച്ച് മുറുക്കുക.
4, ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടും ഇറുകിയ പരിശോധനയും
ടാർഗെറ്റ് ഉപകരണം പൂർത്തിയാക്കിയ ശേഷം, മുഴുവൻ കാഥോഡിൻ്റെയും ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടും ഇറുകിയതും പരിശോധിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്,
ഒരു പ്രതിരോധ മീറ്റർ ഉപയോഗിച്ച് കാഥോഡിൽ ഒരു ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട് ഉണ്ടോ എന്ന് നിർണ്ണയിക്കാൻ നിർദ്ദേശിക്കപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു
വരി വിവേചനം. കാഥോഡിൽ ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട് ഇല്ലെന്ന് സ്ഥിരീകരിച്ച ശേഷം, ലീക്ക് ഡിറ്റക്ഷൻ നടത്താം, കൂടാതെ വെള്ളം ചോർച്ചയുണ്ടോ എന്ന് സ്ഥിരീകരിക്കാൻ കാഥോഡിലേക്ക് വെള്ളം നൽകാം.
5, ടാർഗെറ്റ് പ്രീ സ്പട്ടറിംഗ്
ടാർഗെറ്റ് പ്രീ സ്പട്ടറിംഗ്, ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഉപരിതലം വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയുന്ന ശുദ്ധമായ ആർഗൺ സ്പട്ടറിംഗിനെ വാദിക്കുന്നു. ലക്ഷ്യം മുൻകൂട്ടി സ്പട്ടർ ചെയ്യുമ്പോൾ, സ്പട്ടറിംഗ് പവർ സാവധാനം വർദ്ധിപ്പിക്കാൻ നിർദ്ദേശിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ സെറാമിക് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പവർ വർദ്ധനവ് നിരക്ക് 1.5WH / cm2 ആണ്. മെറ്റൽ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രീ സ്പട്ടറിംഗ് വേഗത സെറാമിക് ടാർഗെറ്റ് ബ്ലോക്കിനേക്കാൾ കൂടുതലായിരിക്കും, കൂടാതെ ന്യായമായ പവർ വർദ്ധനവ് നിരക്ക് 1.5WH / cm2 ആണ്.
പ്രീ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ ആർക്കിംഗ് ഞങ്ങൾ പരിശോധിക്കേണ്ടതുണ്ട്. സ്പട്ടറിംഗിന് മുമ്പുള്ള സമയം സാധാരണയായി ഏകദേശം 10 മിനിറ്റാണ്. ആർക്കിംഗ് പ്രതിഭാസമില്ലെങ്കിൽ, തുടർച്ചയായി സ്പട്ടറിംഗ് ശക്തി വർദ്ധിപ്പിക്കുക
സെറ്റ് പവറിലേക്ക്. അനുഭവം അനുസരിച്ച്, മെറ്റൽ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ സ്വീകാര്യമായ Z ഉയർന്ന സ്പട്ടറിംഗ് ശക്തിയാണ്
സെറാമിക് ടാർഗെറ്റിനായി 25വാട്ട് / സെ.മീ 2, 10 വാട്ട് / സെ. സ്പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് വാക്വം ചേമ്പർ മർദ്ദത്തിൻ്റെ ക്രമീകരണ അടിസ്ഥാനവും അനുഭവവും ഉപയോക്താവിൻ്റെ സിസ്റ്റം ഓപ്പറേഷൻ മാനുവലിൽ പരിശോധിക്കുക. സാധാരണയായി, കൂളിംഗ് വാട്ടർ ഔട്ട്ലെറ്റിലെ ജലത്തിൻ്റെ താപനില 35 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിനു താഴെയായിരിക്കണമെന്ന് ഉറപ്പാക്കണം, എന്നാൽ Z തണുപ്പിക്കുന്ന ജലത്തിൻ്റെ രക്തചംക്രമണ സംവിധാനം ഫലപ്രദമായി പ്രവർത്തിക്കുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കേണ്ടത് പ്രധാനമാണ്.
സൂപ്പർ കൂളിംഗ് ജലത്തിൻ്റെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള രക്തചംക്രമണം താപം എടുത്തുകളയുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന പവർ ഉപയോഗിച്ച് തുടർച്ചയായ സ്പട്ടറിംഗ് ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന ഗ്യാരണ്ടിയാണ്. ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങൾക്കായി, തണുപ്പിക്കൽ ജലപ്രവാഹമാണ് പൊതുവെ വാദിക്കുന്നത്
20lpm ജല സമ്മർദ്ദം ഏകദേശം 5gmp ആണ്; സെറാമിക് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക്, ജലപ്രവാഹം 30lpm ഉം ജലസമ്മർദ്ദം ഏകദേശം 9gmp ഉം ആണെന്നാണ് പൊതുവെ വാദിക്കുന്നത്.
6, ടാർഗെറ്റ് മെയിൻറനൻസ്
സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ വൃത്തിഹീനമായ അറ മൂലമുണ്ടാകുന്ന ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടും ആർസിംഗും തടയുന്നതിന്, സ്പട്ടറിംഗ് ട്രാക്കിൻ്റെ മധ്യഭാഗത്തും ഇരുവശങ്ങളിലും അടിഞ്ഞുകൂടിയ സ്പട്ടർ ഘട്ടം ഘട്ടമായി നീക്കംചെയ്യേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്.
z ഉയർന്ന പവർ ഡെൻസിറ്റിയിൽ തുടർച്ചയായി സ്പട്ടർ ചെയ്യാനും ഇത് ഉപയോക്താക്കളെ സഹായിക്കുന്നു
7, ടാർഗെറ്റ് സംഭരണം
Gaozhan ലോഹം നൽകുന്ന ടാർഗെറ്റുകൾ ഇരട്ട-പാളി വാക്വം പ്ലാസ്റ്റിക് ബാഗുകളിൽ പാക്കേജുചെയ്തിരിക്കുന്നു. ലോഹമായാലും സെറാമിക് ആയാലും ടാർഗെറ്റുകൾ വാക്വം പാക്കേജിംഗിൽ ഉപയോക്താക്കൾ സൂക്ഷിക്കണമെന്ന് ഞങ്ങൾ വാദിക്കുന്നു. പ്രത്യേകിച്ചും, ബോണ്ടിംഗ് ലെയറിൻ്റെ ഓക്സിഡേഷൻ ബോണ്ടിംഗ് ഗുണനിലവാരത്തെ ബാധിക്കാതിരിക്കാൻ ബോണ്ടിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ വാക്വം അവസ്ഥയിൽ സൂക്ഷിക്കേണ്ടതുണ്ട്. മെറ്റൽ ടാർഗെറ്റുകളുടെ പാക്കേജിംഗുമായി ബന്ധപ്പെട്ട്, Z വൃത്തിയുള്ള പ്ലാസ്റ്റിക് ബാഗുകളിൽ പാക്കേജ് ചെയ്യണമെന്ന് ഞങ്ങൾ വാദിക്കുന്നു
പോസ്റ്റ് സമയം: മെയ്-13-2022