വാക്വം ഇലക്ട്രോഡെപോസിഷനിലെ ലക്ഷ്യങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനങ്ങൾ

ടാർഗെറ്റിന് നിരവധി പ്രവർത്തനങ്ങളും നിരവധി മേഖലകളിൽ വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകളും ഉണ്ട്. ടാർഗെറ്റിനു ചുറ്റുമുള്ള ആർഗോണിൻ്റെ അയോണൈസേഷൻ ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഇലക്ട്രോണുകളെ സർപ്പിളാക്കാൻ പുതിയ സ്പട്ടറിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ മിക്കവാറും ശക്തമായ കാന്തങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് ടാർഗെറ്റും ആർഗോൺ അയോണുകളും തമ്മിലുള്ള കൂട്ടിയിടിയുടെ സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.

സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കുക. സാധാരണയായി, ഡിസി സ്പട്ടറിംഗ് മെറ്റൽ കോട്ടിംഗിനായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതേസമയം ചാലകമല്ലാത്ത സെറാമിക് മാഗ്നറ്റിക് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് RF കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻ സ്പട്ടറിംഗ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. വാക്വമിൽ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആർഗോൺ (AR) അയോണുകൾ അടിക്കുന്നതിന് ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ഉപയോഗിക്കുക എന്നതാണ് അടിസ്ഥാന തത്വം, കൂടാതെ പ്ലാസ്മയിലെ കാറ്റേഷനുകൾ തെറിച്ച പദാർത്ഥമായി നെഗറ്റീവ് ഇലക്ട്രോഡ് ഉപരിതലത്തിലേക്ക് കുതിക്കാൻ ത്വരിതപ്പെടുത്തും. ഈ ആഘാതം ടാർഗെറ്റിൻ്റെ മെറ്റീരിയൽ പുറത്തേക്ക് പറന്ന് ഒരു ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കും.

പൊതുവേ, സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയ ഉപയോഗിച്ച് ഫിലിം കോട്ടിംഗിൻ്റെ നിരവധി സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്:

(1) ലോഹം, അലോയ് അല്ലെങ്കിൽ ഇൻസുലേറ്റർ എന്നിവ നേർത്ത ഫിലിം ഡാറ്റയാക്കാം.

(2) ഉചിതമായ ക്രമീകരണ വ്യവസ്ഥകളിൽ, ഒരേ കോമ്പോസിഷനുള്ള ഫിലിം ഒന്നിലധികം, ക്രമരഹിതമായ ലക്ഷ്യങ്ങളിൽ നിന്ന് നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും.

(3) ഡിസ്ചാർജ് അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഓക്സിജനോ മറ്റ് സജീവ വാതകങ്ങളോ ചേർത്ത് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെയും വാതക തന്മാത്രകളുടെയും മിശ്രിതം അല്ലെങ്കിൽ സംയുക്തം ഉണ്ടാക്കാം.

(4) ടാർഗെറ്റ് ഇൻപുട്ട് കറൻ്റും സ്പട്ടറിംഗ് സമയവും നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫിലിം കനം ലഭിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്.

(5) മറ്റ് സിനിമകളുടെ നിർമ്മാണത്തിന് ഇത് പ്രയോജനകരമാണ്.

(6) സ്‌പട്ടർ ചെയ്ത കണങ്ങളെ ഗുരുത്വാകർഷണത്താൽ ബാധിക്കപ്പെടുന്നില്ല, ലക്ഷ്യവും അടിവസ്‌ത്രവും സ്വതന്ത്രമായി ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും.