വിവിധ തൊഴിലുകളിൽ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ വ്യാപകമായ ഉപയോഗം ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ആവശ്യം ഉയർന്നതും ഉയർന്നതുമാക്കുന്നു. ഇനിപ്പറയുന്നവ ഞങ്ങൾ ചെയ്യും ഹ്രസ്വമായി പരിചയപ്പെടുത്തുന്നു നിങ്ങൾ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രാഥമിക പ്രവർത്തന ആവശ്യകതകൾ, ഹോപ്പ്ing നിങ്ങളെ സഹായിക്കാൻ.
ശുദ്ധി: ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ പ്രാഥമിക പ്രവർത്തന സൂചകങ്ങളിൽ ഒന്നാണ് ശുദ്ധി, കാരണം ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ ശുദ്ധി സിനിമയുടെ പ്രവർത്തനത്തിൽ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. എന്നാൽ പ്രായോഗികമായി, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ പരിശുദ്ധി സമാനമല്ല. ഉദാഹരണത്തിന്, മൈക്രോ ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് പ്രൊഫഷൻ്റെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വളർച്ചയോടെ, സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ വലുപ്പം 6 ", 8" മുതൽ 12″ വരെ വികസിച്ചു, കൂടാതെ വയറിംഗ് വീതി 0.5um മുതൽ 0.25um, 0.18um, 0.13um വരെ കുറഞ്ഞു. ഒരിക്കൽ ടാർഗെറ്റ് പ്യൂരിറ്റിയുടെ 99.995% ന് 0.35UMIC യുടെ സാങ്കേതിക ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. 0.18um ലൈൻ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ 99.999% അല്ലെങ്കിൽ 99.9999% പരിശുദ്ധി ആവശ്യമാണ്.
സാന്ദ്രത: ടാർഗെറ്റ് സോളിഡിലെ പോറോസിറ്റി കുറയ്ക്കുന്നതിനും സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിമിൻ്റെ പ്രവർത്തനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, ലക്ഷ്യത്തിന് സാധാരണയായി ഉയർന്ന സാന്ദ്രത ആവശ്യമാണ്. ടാർഗെറ്റ് ഡെൻസിറ്റി സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ മാത്രമല്ല, ഫിലിമുകളുടെ ഇലക്ട്രിക്കൽ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണങ്ങളെയും ബാധിക്കുന്നു. ഉയർന്ന ടാർഗെറ്റ് ഡെൻസിറ്റി, ഫിലിമിൻ്റെ പ്രവർത്തനം മികച്ചതാണ്. കൂടാതെ, സ്പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് താപ സമ്മർദ്ദത്തെ നന്നായി നേരിടാൻ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സാന്ദ്രതയും ശക്തിയും വർദ്ധിപ്പിച്ചു. ടാർഗെറ്റ് പദാർത്ഥങ്ങളുടെ പ്രധാന പ്രവർത്തന സൂചകങ്ങളിൽ ഒന്നാണ് സാന്ദ്രത.
അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം: ടാർഗെറ്റ് സോളിഡിലെ മാലിന്യങ്ങളും സുഷിരങ്ങളിലെ ഓക്സിജനും ജല നീരാവിയുമാണ് അടിഞ്ഞുകൂടിയ ഫിലിമുകളുടെ പ്രാഥമിക മലിനീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ. വ്യത്യസ്ത ആവശ്യങ്ങൾക്കായുള്ള വ്യത്യസ്ത ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് വ്യത്യസ്ത അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കത്തിന് വ്യത്യസ്ത ആവശ്യകതകളുണ്ട്. ഉദാഹരണത്തിന്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ശുദ്ധമായ അലുമിനിയം, അലുമിനിയം അലോയ് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് ആൽക്കലി ലോഹത്തിൻ്റെ ഉള്ളടക്കത്തിനും റേഡിയോ ആക്ടീവ് മൂലകത്തിൻ്റെ ഉള്ളടക്കത്തിനും പ്രത്യേക ആവശ്യകതകളുണ്ട്.
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂൺ-06-2022