ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രധാന ഗുണങ്ങൾ

നമുക്ക് ഇപ്പോൾ ടാർഗെറ്റിനെക്കുറിച്ച് വളരെ പരിചിതമായിരിക്കണം, ഇപ്പോൾ ടാർഗെറ്റ് മാർക്കറ്റും വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുകയാണ്, ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ് RSM-ൽ നിന്നുള്ള എഡിറ്റർ പങ്കിട്ട ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രധാന പ്രകടനം.

　　പരിശുദ്ധി

ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ പ്യൂരിറ്റി പ്രധാന പ്രകടന സൂചികകളിൽ ഒന്നാണ്, കാരണം ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ പരിശുദ്ധി നേർത്ത ഫിലിമിൻ്റെ പ്രകടനത്തിൽ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, പ്രായോഗിക പ്രയോഗത്തിൽ, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ പരിശുദ്ധി ആവശ്യകതകൾ സമാനമല്ല. ഉദാഹരണത്തിന്, മൈക്രോ ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് വ്യവസായത്തിൻ്റെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വികാസത്തോടെ, സിലിക്കൺ ചിപ്പ് വലുപ്പം 6 ", 8" മുതൽ 12″ വരെ വികസിപ്പിച്ചെടുത്തു, കൂടാതെ വയറിംഗ് വീതി 0.5um ൽ നിന്ന് 0.25um, 0.18um അല്ലെങ്കിൽ 0.13um ആയി കുറഞ്ഞു. മുമ്പ്, 99.995% ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ പരിശുദ്ധി 0.35umIC യുടെ പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റും. 0.18um ലൈനുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ പരിശുദ്ധി 99.999% അല്ലെങ്കിൽ 99.9999% ആണ്.

　　അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം

ടാർഗെറ്റ് സോളിഡിലെ മാലിന്യങ്ങളും സുഷിരങ്ങളിലെ ഓക്സിജനും ജല നീരാവിയുമാണ് ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ്റെ പ്രധാന മലിനീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ. വ്യത്യസ്ത ആവശ്യങ്ങൾക്കായുള്ള ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് വ്യത്യസ്ത അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കത്തിന് വ്യത്യസ്ത ആവശ്യകതകളുണ്ട്. ഉദാഹരണത്തിന്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ശുദ്ധമായ അലുമിനിയം, അലുമിനിയം അലോയ് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് ആൽക്കലി ലോഹങ്ങളുടെയും റേഡിയോ ആക്ടീവ് മൂലകങ്ങളുടെയും ഉള്ളടക്കത്തിന് പ്രത്യേക ആവശ്യകതകളുണ്ട്.

　　സാന്ദ്രത

ടാർഗെറ്റ് സോളിഡിലെ പോറോസിറ്റി കുറയ്ക്കുന്നതിനും സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിമിൻ്റെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത സാധാരണയായി ആവശ്യമാണ്. ടാർഗെറ്റിൻ്റെ സാന്ദ്രത സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ മാത്രമല്ല, ഫിലിമിൻ്റെ ഇലക്ട്രിക്കൽ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണങ്ങളെയും ബാധിക്കുന്നു. ടാർഗെറ്റ് ഡെൻസിറ്റി കൂടുന്തോറും ഫിലിം പെർഫോമൻസ് മെച്ചപ്പെടും. കൂടാതെ, ടാർഗെറ്റിൻ്റെ സാന്ദ്രതയും ശക്തിയും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നത്, സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിലെ താപ സമ്മർദ്ദത്തെ ടാർഗെറ്റിനെ നന്നായി നേരിടാൻ സഹായിക്കുന്നു. ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രധാന പ്രകടന സൂചികകളിൽ ഒന്നാണ് സാന്ദ്രത.

　　ധാന്യത്തിൻ്റെ വലുപ്പവും ധാന്യത്തിൻ്റെ അളവും വിതരണം

ലക്ഷ്യം സാധാരണയായി മൈക്രോമീറ്റർ മുതൽ മില്ലിമീറ്റർ വരെയുള്ള ധാന്യ വലുപ്പമുള്ള പോളിക്രിസ്റ്റലിൻ ആണ്. അതേ ലക്ഷ്യത്തിന്, ചെറിയ ധാന്യങ്ങളുള്ള ടാർഗെറ്റിൻ്റെ സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വലിയ ധാന്യങ്ങളുള്ള ലക്ഷ്യത്തേക്കാൾ വേഗതയുള്ളതാണ്. ചെറിയ ധാന്യ വലുപ്പ വ്യത്യാസം (യൂണിഫോം ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ) ഉപയോഗിച്ച് ടാർഗെറ്റ് സ്‌പട്ടറിംഗ് വഴി നിക്ഷേപിക്കുന്ന ഫിലിമുകളുടെ കനം വിതരണം കൂടുതൽ ഏകീകൃതമാണ്.