വാക്വം കോട്ടിംഗിൽ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ പ്രവർത്തനങ്ങൾ

ടാർഗെറ്റിന് നിരവധി ഇഫക്റ്റുകൾ ഉണ്ട്, കൂടാതെ മാർക്കറ്റ് വികസന ഇടം വലുതാണ്. പല മേഖലകളിലും ഇത് വളരെ ഉപയോഗപ്രദമാണ്. മിക്കവാറും എല്ലാ പുതിയ സ്പട്ടറിംഗ് ഉപകരണങ്ങളും ടാർഗെറ്റിനു ചുറ്റുമുള്ള ആർഗോണിൻ്റെ അയോണൈസേഷൻ ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നതിന് സർപ്പിള ഇലക്ട്രോണുകളിലേക്ക് ശക്തമായ കാന്തങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതിൻ്റെ ഫലമായി ടാർഗെറ്റും ആർഗോൺ അയോണുകളും തമ്മിലുള്ള കൂട്ടിയിടിയുടെ സംഭാവ്യത വർദ്ധിക്കുന്നു. ഇനി നമുക്ക് വാക്വം കോട്ടിംഗിൽ ടാർഗെറ്റിനെ സ്പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുന്നതിൻ്റെ പങ്ക് നോക്കാം.

സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്തുക. സാധാരണയായി, ഡിസി സ്പട്ടറിംഗ് മെറ്റൽ കോട്ടിംഗിനായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതേസമയം ചാലകമല്ലാത്ത സെറാമിക് മാഗ്നറ്റിക് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് ആർഎഫ് എസി സ്പട്ടറിംഗ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ശൂന്യതയിൽ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആർഗോൺ (AR) അയോണുകൾ അടിക്കുന്നതിന് ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ഉപയോഗിക്കുക എന്നതാണ് അടിസ്ഥാന തത്വം, കൂടാതെ പ്ലാസ്മയിലെ കാറ്റേഷനുകൾ തെറിച്ച പദാർത്ഥമായി നെഗറ്റീവ് ഇലക്ട്രോഡ് പ്രതലത്തിലേക്ക് കുതിക്കാൻ ത്വരിതപ്പെടുത്തും. ഈ ആഘാതം ടാർഗെറ്റിൻ്റെ മെറ്റീരിയൽ പുറത്തേക്ക് പറന്ന് ഒരു ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കും.

പൊതുവായി പറഞ്ഞാൽ, സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിലൂടെ ഫിലിം കോട്ടിംഗിൻ്റെ നിരവധി സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്: (1) ലോഹം, അലോയ് അല്ലെങ്കിൽ ഇൻസുലേറ്റർ എന്നിവ ഫിലിം ഡാറ്റയാക്കാം.

(2) ഉചിതമായ ക്രമീകരണ വ്യവസ്ഥകളിൽ, ഒരേ കോമ്പോസിഷനുള്ള ഫിലിം ഒന്നിലധികം, ക്രമരഹിതമായ ലക്ഷ്യങ്ങളിൽ നിന്ന് നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും.

(3) ഡിസ്ചാർജ് അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഓക്സിജനോ മറ്റ് സജീവ വാതകങ്ങളോ ചേർത്ത് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെയും വാതക തന്മാത്രകളുടെയും മിശ്രിതം അല്ലെങ്കിൽ സംയുക്തം നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും.

(4) ടാർഗെറ്റ് ഇൻപുട്ട് കറൻ്റും സ്പട്ടറിംഗ് സമയവും നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫിലിം കനം ലഭിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്.

(5) മറ്റ് പ്രക്രിയകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, വലിയ ഏരിയ യൂണിഫോം ഫിലിമുകളുടെ നിർമ്മാണത്തിന് ഇത് സഹായകമാണ്.

(6) സ്പട്ടർ ചെയ്ത കണങ്ങളെ ഗുരുത്വാകർഷണത്താൽ മിക്കവാറും ബാധിക്കില്ല, കൂടാതെ ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെയും അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെയും സ്ഥാനങ്ങൾ സ്വതന്ത്രമായി ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും.