ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ചെമ്പ് ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ വികസന സാധ്യത

നിലവിൽ, ഐസി വ്യവസായത്തിന് ആവശ്യമായ മിക്കവാറും എല്ലാ ഹൈ-എൻഡ് അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി മെറ്റൽ കോപ്പർ ടാർഗെറ്റുകളും നിരവധി വലിയ വിദേശ മൾട്ടിനാഷണൽ കമ്പനികളുടെ കുത്തകയാണ്. ആഭ്യന്തര ഐസി വ്യവസായത്തിന് ആവശ്യമായ എല്ലാ അൾട്രാപ്യുർ കോപ്പർ ടാർഗെറ്റുകളും ഇറക്കുമതി ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്, ഇത് ചെലവേറിയത് മാത്രമല്ല, ഇറക്കുമതി നടപടിക്രമങ്ങളിൽ സങ്കീർണ്ണവുമാണ്, അതിനാൽ, അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി (6N) കോപ്പർ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ വികസനവും പരിശോധനയും ചൈന അടിയന്തിരമായി മെച്ചപ്പെടുത്തേണ്ടതുണ്ട്. . അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി (6N) കോപ്പർ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ വികസിപ്പിക്കുന്നതിലെ പ്രധാന പോയിൻ്റുകളും ബുദ്ധിമുട്ടുകളും നമുക്ക് നോക്കാം.

1,അൾട്രാ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി മെറ്റീരിയലുകളുടെ വികസനം

ചൈനയിലെ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള Cu, Al, Ta ലോഹങ്ങളുടെ ശുദ്ധീകരണ സാങ്കേതികവിദ്യ വ്യാവസായിക വികസിത രാജ്യങ്ങളിൽ നിന്ന് വളരെ അകലെയാണ്. നിലവിൽ, നൽകാൻ കഴിയുന്ന ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ലോഹങ്ങളിൽ ഭൂരിഭാഗവും വ്യവസായത്തിലെ പരമ്പരാഗത എല്ലാ മൂലക വിശകലന രീതികൾക്കനുസൃതമായി ടാർഗെറ്റുകൾ സ്‌പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ ഗുണനിലവാര ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നില്ല. ടാർഗെറ്റിലെ ഉൾപ്പെടുത്തലുകളുടെ എണ്ണം വളരെ കൂടുതലാണ് അല്ലെങ്കിൽ അസമമായി വിതരണം ചെയ്യപ്പെടുന്നു. സ്പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് കണികകൾ പലപ്പോഴും വേഫറിൽ രൂപം കൊള്ളുന്നു, ഇത് ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട് അല്ലെങ്കിൽ ഇൻ്റർകണക്റ്റിൻ്റെ ഓപ്പൺ സർക്യൂട്ട് എന്നിവയ്ക്ക് കാരണമാകുന്നു, ഇത് സിനിമയുടെ പ്രകടനത്തെ സാരമായി ബാധിക്കുന്നു.

2,കോപ്പർ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് തയ്യാറാക്കൽ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനം

കോപ്പർ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് തയ്യാറാക്കൽ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനം പ്രധാനമായും മൂന്ന് വശങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു: ധാന്യത്തിൻ്റെ വലുപ്പം, ഓറിയൻ്റേഷൻ നിയന്ത്രണം, ഏകീകൃതത. അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിന് ലക്ഷ്യങ്ങൾ പൊടിക്കുന്നതിനും അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ ബാഷ്പീകരിക്കുന്നതിനും ഏറ്റവും ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളുണ്ട്. ഉപരിതല ധാന്യത്തിൻ്റെ അളവും ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റേഷനും നിയന്ത്രിക്കുന്നതിന് ഇതിന് വളരെ കർശനമായ ആവശ്യകതകളുണ്ട്. ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ ധാന്യ വലുപ്പം 100-ൽ നിയന്ത്രിക്കണംμ M താഴെ, അതിനാൽ, ധാന്യത്തിൻ്റെ അളവിൻ്റെ നിയന്ത്രണവും പരസ്പര ബന്ധ വിശകലനവും കണ്ടെത്തുന്നതിനുള്ള മാർഗ്ഗങ്ങളും ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് വളരെ പ്രധാനമാണ്.

3,വിശകലനത്തിൻ്റെ വികസനവുംടെസ്റ്റിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ

ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ ഉയർന്ന ശുദ്ധി അർത്ഥമാക്കുന്നത് മാലിന്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കലാണ്. മുൻകാലങ്ങളിൽ, ഇൻഡക്റ്റീവ് കപ്പിൾഡ് പ്ലാസ്മയും (ഐസിപി) അറ്റോമിക് അബ്സോർപ്ഷൻ സ്പെക്ട്രോമെട്രിയും മാലിന്യങ്ങൾ നിർണ്ണയിക്കാൻ ഉപയോഗിച്ചിരുന്നു, എന്നാൽ സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, ഉയർന്ന സംവേദനക്ഷമതയുള്ള ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ഗുണനിലവാര വിശകലനം (ജിഡിഎംഎസ്) ക്രമേണ മാനദണ്ഡമായി ഉപയോഗിച്ചു. രീതി. ശേഷിക്കുന്ന പ്രതിരോധ അനുപാതം RRR രീതി പ്രധാനമായും വൈദ്യുത പരിശുദ്ധി നിർണ്ണയിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. മാലിന്യങ്ങളുടെ ഇലക്ട്രോണിക് വിതരണത്തിൻ്റെ അളവ് അളക്കുന്നതിലൂടെ അടിസ്ഥാന ലോഹത്തിൻ്റെ പരിശുദ്ധി വിലയിരുത്തുക എന്നതാണ് ഇതിൻ്റെ നിർണ്ണയ തത്വം. ഊഷ്മാവിലും വളരെ താഴ്ന്ന ഊഷ്മാവിലും പ്രതിരോധം അളക്കാൻ വേണ്ടിയുള്ളതിനാൽ, നമ്പർ എടുക്കുന്നത് ലളിതമാണ്. സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, ലോഹങ്ങളുടെ സാരാംശം പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നതിനായി, അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റിയെക്കുറിച്ചുള്ള ഗവേഷണം വളരെ സജീവമാണ്. ഈ സാഹചര്യത്തിൽ, ആർആർആർ മൂല്യമാണ് പരിശുദ്ധി വിലയിരുത്തുന്നതിനുള്ള ഏറ്റവും നല്ല മാർഗം.