മോളിബ്ഡിനം സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ സ്വഭാവ ആവശ്യകതകൾ

അടുത്തിടെ, പല സുഹൃത്തുക്കളും മോളിബ്ഡിനം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ സവിശേഷതകളെക്കുറിച്ച് ചോദിച്ചു. ഇലക്‌ട്രോണിക് വ്യവസായത്തിൽ, സ്‌പട്ടറിംഗ് കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നതിനും, മോളിബ്ഡിനം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ സവിശേഷതകൾക്കുള്ള ആവശ്യകതകൾ എന്തൊക്കെയാണ്? ഇപ്പോൾ ആർഎസ്എമ്മിൽ നിന്നുള്ള സാങ്കേതിക വിദഗ്ധർ ഞങ്ങൾക്ക് ഇത് വിശദീകരിക്കും.

　　1. ശുദ്ധി

ഉയർന്ന ശുദ്ധി എന്നത് മോളിബ്ഡിനം സ്‌പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ അടിസ്ഥാന സ്വഭാവമാണ്. മോളിബ്ഡിനം ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ശുദ്ധത എത്രത്തോളം ഉയർന്നതാണോ അത്രത്തോളം മികച്ച പ്രകടനമാണ് സ്‌പട്ടേർഡ് ഫിലിമിന് ലഭിക്കുക. സാധാരണയായി, മോളിബ്ഡിനം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പരിശുദ്ധി കുറഞ്ഞത് 99.95% ആയിരിക്കണം (പിണ്ഡം, താഴെയുള്ളത്). എന്നിരുന്നാലും, എൽസിഡി വ്യവസായത്തിലെ ഗ്ലാസ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൻ്റെ വലുപ്പം തുടർച്ചയായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതോടെ, വയറിംഗിൻ്റെ നീളം നീട്ടേണ്ടതും ലൈൻവിഡ്ത്ത് കനംകുറഞ്ഞതും ആവശ്യമാണ്. ഫിലിമിൻ്റെ ഏകീകൃതതയും വയറിംഗിൻ്റെ ഗുണനിലവാരവും ഉറപ്പാക്കാൻ, മോളിബ്ഡിനം സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ ശുദ്ധതയും അതിനനുസരിച്ച് വർദ്ധിപ്പിക്കേണ്ടതുണ്ട്. അതിനാൽ, സ്‌പട്ടർ ചെയ്‌ത ഗ്ലാസ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൻ്റെ വലുപ്പവും ഉപയോഗ പരിതസ്ഥിതിയും അനുസരിച്ച്, മോളിബ്ഡിനം സ്‌പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ പരിശുദ്ധി 99.99% - 99.999% അല്ലെങ്കിൽ അതിലും ഉയർന്നതായിരിക്കണം.

സ്പട്ടറിംഗിൽ കാഥോഡ് ഉറവിടമായി മോളിബ്ഡിനം സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഖര, ഓക്സിജൻ, സുഷിരങ്ങളിലെ ജലബാഷ്പം എന്നിവയിലെ മാലിന്യങ്ങളാണ് നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ പ്രധാന മലിനീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ. കൂടാതെ, ഇലക്ട്രോണിക് വ്യവസായത്തിൽ, ആൽക്കലി മെറ്റൽ അയോണുകൾ (Na, K) ഇൻസുലേഷൻ ലെയറിൽ മൊബൈൽ അയോണുകളായി മാറുന്നത് എളുപ്പമാണ്, യഥാർത്ഥ ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനം കുറയുന്നു; യുറേനിയം (U), ടൈറ്റാനിയം (TI) തുടങ്ങിയ മൂലകങ്ങൾ α എക്സ്-റേ പുറത്തുവിടും, ഇത് ഉപകരണങ്ങളുടെ മൃദു തകർച്ചയ്ക്ക് കാരണമാകും; ഇരുമ്പ്, നിക്കൽ അയോണുകൾ ഇൻ്റർഫേസ് ചോർച്ചയ്ക്കും ഓക്സിജൻ മൂലകങ്ങളുടെ വർദ്ധനവിനും കാരണമാകും. അതിനാൽ, മൊളിബ്ഡിനം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ തയ്യാറെടുപ്പ് പ്രക്രിയയിൽ, ഈ അശുദ്ധ ഘടകങ്ങൾ ലക്ഷ്യത്തിലെ ഉള്ളടക്കം കുറയ്ക്കുന്നതിന് കർശനമായി നിയന്ത്രിക്കേണ്ടതുണ്ട്.

　　2. ധാന്യത്തിൻ്റെ വലിപ്പവും വലിപ്പവും വിതരണം

സാധാരണയായി, മോളിബ്ഡിനം സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യം പോളിക്രിസ്റ്റലിൻ ഘടനയാണ്, ധാന്യത്തിൻ്റെ വലുപ്പം മൈക്രോൺ മുതൽ മില്ലിമീറ്റർ വരെയാകാം. ഫൈൻ ഗ്രെയിൻ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് നാടൻ ധാന്യ ലക്ഷ്യത്തേക്കാൾ വേഗതയുള്ളതാണെന്ന് പരീക്ഷണ ഫലങ്ങൾ കാണിക്കുന്നു; ചെറിയ ധാന്യ വലുപ്പ വ്യത്യാസമുള്ള ലക്ഷ്യത്തിന്, നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിൻ്റെ കനം വിതരണവും കൂടുതൽ ഏകീകൃതമാണ്.

　　3. ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റേഷൻ

ടാർഗെറ്റ് ആറ്റങ്ങൾ സ്‌പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് ഷഡ്ഭുജാകൃതിയിലുള്ള ആറ്റങ്ങളുടെ ഏറ്റവും അടുത്ത ക്രമീകരണത്തിൻ്റെ ദിശയിൽ മുൻഗണന നൽകുന്നത് എളുപ്പമുള്ളതിനാൽ, ഉയർന്ന സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് കൈവരിക്കുന്നതിന്, ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന മാറ്റുന്നതിലൂടെ സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് പലപ്പോഴും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ക്രിസ്റ്റൽ ദിശയും സ്പട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിമിൻ്റെ കനം ഏകതാനതയിൽ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. അതിനാൽ, ഫിലിമിൻ്റെ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയ്ക്കായി ഒരു നിശ്ചിത ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയൻ്റഡ് ടാർഗെറ്റ് ഘടന നേടേണ്ടത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.

　　4. സാന്ദ്രത

സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രതയുള്ള സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് ബോംബെറിയുമ്പോൾ, ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ ആന്തരിക സുഷിരങ്ങളിൽ നിലവിലുള്ള വാതകം പെട്ടെന്ന് പുറത്തുവരുന്നു, അതിൻ്റെ ഫലമായി വലിയ വലുപ്പത്തിലുള്ള ടാർഗെറ്റ് കണങ്ങളോ കണങ്ങളോ തെറിക്കുന്നു, അല്ലെങ്കിൽ ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ ബോംബെറിയുന്നു. ഫിലിം രൂപീകരണത്തിന് ശേഷം ദ്വിതീയ ഇലക്ട്രോണുകൾ വഴി, കണികാ തെറിപ്പിക്കലിന് കാരണമാകുന്നു. ഈ കണങ്ങളുടെ രൂപം സിനിമയുടെ ഗുണനിലവാരം കുറയ്ക്കും. ടാർഗെറ്റ് സോളിഡിലെ സുഷിരങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും ഫിലിം പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന് സാധാരണയായി ഉയർന്ന സാന്ദ്രത ആവശ്യമാണ്. മോളിബ്ഡിനം സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിന്, അതിൻ്റെ ആപേക്ഷിക സാന്ദ്രത 98% ൽ കൂടുതലായിരിക്കണം.

　　5. ടാർഗെറ്റിൻ്റെയും ചേസിസിൻ്റെയും ബൈൻഡിംഗ്

സാധാരണയായി, മോളിബ്ഡിനം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് സ്‌പട്ടറിംഗിന് മുമ്പ് ഓക്‌സിജൻ ഫ്രീ കോപ്പർ (അല്ലെങ്കിൽ അലൂമിനിയവും മറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളും) ചേസിസുമായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കണം, അങ്ങനെ സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ടാർഗെറ്റിൻ്റെയും ചേസിസിൻ്റെയും താപ ചാലകത മികച്ചതാണ്. ബൈൻഡിംഗിന് ശേഷം, രണ്ടിൻ്റെയും നോൺ-ബോണ്ടിംഗ് ഏരിയ 2% ൽ കുറവാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ അൾട്രാസോണിക് പരിശോധന നടത്തണം, അതിനാൽ ഉയർന്ന പവർ സ്‌പട്ടറിംഗിൻ്റെ ആവശ്യകതകൾ വീഴാതെ നിറവേറ്റാൻ.