ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഡിസ്പ്ലേ, മറ്റ് ഫീൽഡുകൾ എന്നിവയിൽ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ പ്രയോഗം

നമുക്കെല്ലാവർക്കും അറിയാവുന്നതുപോലെ, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ടെക്നോളജിയുടെ വികസന പ്രവണത ഡൗൺസ്ട്രീം ആപ്ലിക്കേഷൻ വ്യവസായത്തിലെ ഫിലിം ടെക്നോളജിയുടെ വികസന പ്രവണതയുമായി അടുത്ത ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. ആപ്ലിക്കേഷൻ വ്യവസായത്തിലെ ഫിലിം ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെയോ ഘടകങ്ങളുടെയോ സാങ്കേതിക പുരോഗതിക്കൊപ്പം, ടാർഗെറ്റ് സാങ്കേതികവിദ്യയും മാറണം. ഉദാഹരണത്തിന്, Ic നിർമ്മാതാക്കൾ ഈയിടെ കുറഞ്ഞ പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള കോപ്പർ വയറിംഗിൻ്റെ വികസനത്തിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിച്ചു, ഇത് അടുത്ത കുറച്ച് വർഷങ്ങളിൽ യഥാർത്ഥ അലുമിനിയം ഫിലിമിനെ ഗണ്യമായി മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുമെന്ന് പ്രതീക്ഷിക്കുന്നു, അതിനാൽ കോപ്പർ ടാർഗെറ്റുകളുടെയും അവയുടെ ആവശ്യമായ തടസ്സ ലക്ഷ്യങ്ങളുടെയും വികസനം അടിയന്തിരമായിരിക്കും.

കൂടാതെ, സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ (FPD) കാഥോഡ്-റേ ട്യൂബ് (CRT) അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള കമ്പ്യൂട്ടർ ഡിസ്പ്ലേ, ടെലിവിഷൻ മാർക്കറ്റ് എന്നിവയെ മാറ്റിസ്ഥാപിച്ചു. ഐടിഒ ലക്ഷ്യങ്ങൾക്കായുള്ള സാങ്കേതിക, വിപണി ആവശ്യകതയും ഇത് വളരെയധികം വർദ്ധിപ്പിക്കും. പിന്നെ സ്റ്റോറേജ് ടെക്നോളജി ഉണ്ട്. ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, വലിയ ശേഷിയുള്ള ഹാർഡ് ഡ്രൈവുകൾ, ഉയർന്ന സാന്ദ്രത മായ്ക്കാവുന്ന ഡിസ്കുകൾ എന്നിവയുടെ ആവശ്യം വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്നു. ഇവയെല്ലാം ആപ്ലിക്കേഷൻ വ്യവസായത്തിലെ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഡിമാൻഡിൽ മാറ്റങ്ങളിലേക്ക് നയിച്ചു. ഇനിപ്പറയുന്നതിൽ, ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡുകളും ഈ ഫീൽഡുകളിലെ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ വികസന പ്രവണതയും ഞങ്ങൾ അവതരിപ്പിക്കും.

　　1. മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ്

എല്ലാ ആപ്ലിക്കേഷൻ വ്യവസായങ്ങളിലും, ടാർഗെറ്റ് സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിമുകൾക്ക് അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിന് ഏറ്റവും കർശനമായ ഗുണനിലവാര ആവശ്യകതകളുണ്ട്. 12 ഇഞ്ച് (300 എപ്പിസ്റ്റാക്സിസ്) ഉള്ള സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഇപ്പോൾ നിർമ്മിച്ചിട്ടുണ്ട്. പരസ്പര ബന്ധത്തിൻ്റെ വീതി കുറയുന്നു. ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾക്കായുള്ള സിലിക്കൺ വേഫർ നിർമ്മാതാക്കളുടെ ആവശ്യകതകൾ വലിയ തോതിലുള്ള, ഉയർന്ന ശുദ്ധത, കുറഞ്ഞ വേർതിരിവ്, മികച്ച ധാന്യം എന്നിവയാണ്, ഇതിന് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് മികച്ച സൂക്ഷ്മഘടന ആവശ്യമാണ്. ക്രിസ്റ്റലിൻ കണികാ വ്യാസവും ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഏകീകൃതതയും ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കിനെ ബാധിക്കുന്ന പ്രധാന ഘടകങ്ങളായി കണക്കാക്കപ്പെടുന്നു.

അലൂമിനിയവുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ചെമ്പിന് ഉയർന്ന ഇലക്‌ട്രോമോബിലിറ്റി പ്രതിരോധവും കുറഞ്ഞ പ്രതിരോധശേഷിയും ഉണ്ട്, ഇത് 0.25um-ന് താഴെയുള്ള സബ്‌മൈക്രോൺ വയറിംഗിലെ കണ്ടക്ടർ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു, പക്ഷേ ഇത് മറ്റ് പ്രശ്‌നങ്ങൾ കൊണ്ടുവരുന്നു: ചെമ്പ്, ഓർഗാനിക് മീഡിയം മെറ്റീരിയലുകൾക്കിടയിൽ കുറഞ്ഞ അഡീഷൻ ശക്തി. മാത്രമല്ല, പ്രതികരിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്, ഇത് കോപ്പർ ഇൻ്റർകണക്റ്റിൻ്റെ നാശത്തിലേക്കും ചിപ്പ് ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ സർക്യൂട്ട് പൊട്ടുന്നതിലേക്കും നയിക്കുന്നു. ഈ പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിന്, ചെമ്പിനും വൈദ്യുത പാളിക്കും ഇടയിൽ ഒരു തടസ്സ പാളി സ്ഥാപിക്കണം.

കോപ്പർ ഇൻ്റർകണക്ഷൻ്റെ ബാരിയർ ലെയറിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളിൽ Ta, W, TaSi, WSi മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു. എന്നാൽ Ta, W എന്നിവ റിഫ്രാക്റ്ററി ലോഹങ്ങളാണ്. ഇത് നിർമ്മിക്കുന്നത് താരതമ്യേന ബുദ്ധിമുട്ടാണ്, കൂടാതെ മോളിബ്ഡിനം, ക്രോമിയം തുടങ്ങിയ ലോഹസങ്കരങ്ങളാണ് ഇതര വസ്തുക്കളായി പഠിക്കുന്നത്.

　　2. ഡിസ്പ്ലേയ്ക്കായി

ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ (എഫ്പിഡി) കാഥോഡ്-റേ ട്യൂബ് (സിആർടി) അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള കമ്പ്യൂട്ടർ മോണിറ്ററിനെയും ടെലിവിഷൻ വിപണിയെയും വർഷങ്ങളായി വളരെയധികം സ്വാധീനിച്ചിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ ഐടിഒ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ സാങ്കേതികവിദ്യയും വിപണി ആവശ്യകതയും വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും. ഇന്ന് രണ്ട് തരത്തിലുള്ള ഐടിഒ ലക്ഷ്യങ്ങളുണ്ട്. ഒന്ന്, ഇൻഡിയം ഓക്സൈഡിൻ്റെയും ടിൻ ഓക്സൈഡിൻ്റെയും നാനോമീറ്റർ അവസ്ഥ സിൻ്ററിംഗിന് ശേഷം ഉപയോഗിക്കുക, മറ്റൊന്ന് ഇൻഡിയം ടിൻ അലോയ് ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗിക്കുക എന്നതാണ്. ഇൻഡിയം-ടിൻ അലോയ് ടാർഗെറ്റിലെ ഡിസി റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് വഴി ഐടിഒ ഫിലിം നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും, എന്നാൽ ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലം ഓക്‌സിഡൈസ് ചെയ്യുകയും സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും, മാത്രമല്ല വലിയ വലുപ്പത്തിലുള്ള അലോയ് ടാർഗെറ്റ് നേടുന്നത് ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.

ഇക്കാലത്ത്, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് റിയാക്ഷൻ വഴി സ്പട്ടറിംഗ് പൂശുന്ന ഐടിഒ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ നിർമ്മിക്കാൻ പൊതുവെ ആദ്യ രീതിയാണ് സ്വീകരിക്കുന്നത്. ഇതിന് അതിവേഗ നിക്ഷേപ നിരക്ക് ഉണ്ട്. ഫിലിം കനം കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും, ചാലകത ഉയർന്നതാണ്, ഫിലിമിൻ്റെ സ്ഥിരത നല്ലതാണ്, അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ അഡീഷൻ ശക്തമാണ്. എന്നാൽ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ നിർമ്മിക്കാൻ പ്രയാസമാണ്, കാരണം ഇൻഡിയം ഓക്സൈഡും ടിൻ ഓക്സൈഡും എളുപ്പത്തിൽ ഒന്നിച്ചുചേരില്ല. സാധാരണയായി, ZrO2, Bi2O3, CeO എന്നിവ സിൻ്ററിംഗ് അഡിറ്റീവുകളായി തിരഞ്ഞെടുക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ സൈദ്ധാന്തിക മൂല്യത്തിൻ്റെ 93%~98% സാന്ദ്രതയുള്ള ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ലഭിക്കും. ഈ രീതിയിൽ രൂപപ്പെട്ട ITO ഫിലിമിൻ്റെ പ്രകടനത്തിന് അഡിറ്റീവുകളുമായി വലിയ ബന്ധമുണ്ട്.

അത്തരം ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിച്ച് ലഭിച്ച ITO ഫിലിമിൻ്റെ തടയൽ പ്രതിരോധം 8.1×10n-cm വരെ എത്തുന്നു, ഇത് ശുദ്ധമായ ITO ഫിലിമിൻ്റെ പ്രതിരോധശേഷിക്ക് അടുത്താണ്. എഫ്പിഡിയുടെയും ചാലക ഗ്ലാസിൻ്റെയും വലുപ്പം വളരെ വലുതാണ്, കൂടാതെ ചാലക ഗ്ലാസിൻ്റെ വീതി 3133 മിമി വരെ എത്താം. ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഉപയോഗം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന്, സിലിണ്ടർ ആകൃതി പോലുള്ള വ്യത്യസ്ത ആകൃതികളുള്ള ITO ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ വികസിപ്പിച്ചെടുക്കുന്നു. 2000-ൽ, ദേശീയ വികസന ആസൂത്രണ കമ്മീഷനും ശാസ്ത്ര സാങ്കേതിക മന്ത്രാലയവും നിലവിൽ വികസനത്തിന് മുൻഗണന നൽകുന്ന വിവര വ്യവസായത്തിൻ്റെ പ്രധാന മേഖലകൾക്കുള്ള മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശങ്ങളിൽ ITO വലിയ ലക്ഷ്യങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുത്തി.

　　3. സംഭരണ ​​ഉപയോഗം

സംഭരണ ​​സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ കാര്യത്തിൽ, ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും വലിയ ശേഷിയുമുള്ള ഹാർഡ് ഡിസ്കുകളുടെ വികസനത്തിന് ഭീമാകാരമായ വിമുഖത ഫിലിം മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഒരു വലിയ സംഖ്യ ആവശ്യമാണ്. CoF~Cu മൾട്ടിലെയർ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിം ഭീമൻ റിലക്‌റ്റൻസ് ഫിലിമിൻ്റെ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്ന ഘടനയാണ്. മാഗ്നറ്റിക് ഡിസ്കിന് ആവശ്യമായ TbFeCo അലോയ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ഇപ്പോഴും കൂടുതൽ വികസനത്തിലാണ്. TbFeCo ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച മാഗ്നറ്റിക് ഡിസ്കിന് വലിയ സംഭരണ ​​ശേഷി, ദീർഘമായ സേവന ജീവിതം, ആവർത്തിച്ചുള്ള നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് മായ്‌ക്കൽ എന്നിവ സവിശേഷതകളുണ്ട്.

ആൻ്റിമണി ജെർമേനിയം ടെല്ലുറൈഡ് അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ഫേസ് ചേഞ്ച് മെമ്മറി (പിസിഎം) കാര്യമായ വാണിജ്യ സാധ്യതകൾ കാണിച്ചു, NOR ഫ്ലാഷ് മെമ്മറിയുടെ ഭാഗമായി മാറുകയും DRAM ഒരു ബദൽ സ്റ്റോറേജ് സാങ്കേതികവിദ്യയായി മാറുകയും ചെയ്യുന്നു, എന്നിരുന്നാലും, നടപ്പിലാക്കുമ്പോൾ, നിലവിലുളള റോഡിലെ വെല്ലുവിളികളിലൊന്ന് പുനഃസജ്ജമാക്കാൻ കഴിയാത്തതാണ്. നിലവിലെ ഉൽപ്പാദനം പൂർണ്ണമായും അടച്ച യൂണിറ്റ് കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും. റീസെറ്റ് കറൻ്റ് കുറയ്ക്കുന്നത് മെമ്മറി പവർ ഉപഭോഗം കുറയ്ക്കുകയും ബാറ്ററി ലൈഫ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ഡാറ്റ ബാൻഡ്‌വിഡ്ത്ത് മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇന്നത്തെ ഡാറ്റാ കേന്ദ്രീകൃതവും ഉയർന്ന പോർട്ടബിൾ ഉപഭോക്തൃ ഉപകരണങ്ങളിലെ എല്ലാ പ്രധാന സവിശേഷതകളും.