അർദ്ധചാലക ചിപ്പ് സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ പ്രയോഗം

റിച്ച് സ്‌പെഷ്യൽ മെറ്റീരിയൽ കമ്പനി ലിമിറ്റഡിന് അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിനായി ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിനിയം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ, കോപ്പർ സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ, ടാൻ്റലം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ, ടൈറ്റാനിയം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ മുതലായവ നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും.

അർദ്ധചാലക ചിപ്പുകൾക്ക് ഉയർന്ന സാങ്കേതിക ആവശ്യകതകളും സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് ഉയർന്ന വിലയുമുണ്ട്. ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകൾ, സോളാർ സെല്ലുകൾ, മറ്റ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയേക്കാൾ ഉയർന്നതാണ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ ശുദ്ധതയും സാങ്കേതികവിദ്യയും. അർദ്ധചാലക ചിപ്പുകൾ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ ശുദ്ധതയിലും ആന്തരിക മൈക്രോസ്ട്രക്ചറിലും വളരെ കർശനമായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ സജ്ജമാക്കുന്നു. സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം വളരെ ഉയർന്നതാണെങ്കിൽ, രൂപംകൊണ്ട ഫിലിമിന് ആവശ്യമായ വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയില്ല. സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, വേഫറിൽ കണികകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നത് എളുപ്പമാണ്, ഇത് ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട് അല്ലെങ്കിൽ സർക്യൂട്ട് കേടുപാടുകൾക്ക് കാരണമാകുന്നു, ഇത് സിനിമയുടെ പ്രകടനത്തെ സാരമായി ബാധിക്കുന്നു. സാധാരണയായി പറഞ്ഞാൽ, ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിന് ഏറ്റവും ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് ആവശ്യമാണ്, ഇത് സാധാരണയായി 99.9995% (5N5) അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്നതാണ്.

ബാരിയർ ലെയറുകളുടെയും പാക്കേജിംഗ് മെറ്റൽ വയറിംഗ് ലെയറുകളുടെയും നിർമ്മാണത്തിനായി സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. വേഫർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, വേഫറിൻ്റെ ചാലക പാളി, ബാരിയർ പാളി, മെറ്റൽ ഗ്രിഡ് എന്നിവ നിർമ്മിക്കുന്നതിനാണ് ലക്ഷ്യം പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്. ചിപ്പ് പാക്കേജിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, ബമ്പുകൾക്ക് കീഴിൽ ലോഹ പാളികൾ, വയറിംഗ് പാളികൾ, മറ്റ് ലോഹ വസ്തുക്കൾ എന്നിവ സൃഷ്ടിക്കാൻ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലും ചിപ്പ് പാക്കേജിംഗിലും ഉപയോഗിക്കുന്ന ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ അളവ് ചെറുതാണെങ്കിലും, SEMI സ്ഥിതിവിവരക്കണക്കുകൾ പ്രകാരം, വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലും പാക്കേജിംഗ് പ്രക്രിയയിലും ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ വില ഏകദേശം 3% വരും. എന്നിരുന്നാലും, സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഗുണനിലവാരം ചാലക പാളിയുടെയും ബാരിയർ ലെയറിൻ്റെയും ഏകതയെയും പ്രകടനത്തെയും നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു, അതുവഴി ചിപ്പിൻ്റെ പ്രക്ഷേപണ വേഗതയെയും സ്ഥിരതയെയും ബാധിക്കുന്നു. അതിനാൽ, അർദ്ധചാലക ഉൽപാദനത്തിനുള്ള പ്രധാന അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളിൽ ഒന്നാണ് സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യം