CrAlSi അലോയ് സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള നേർത്ത ഫിലിം Pvd കോട്ടിംഗ് ഇഷ്ടാനുസൃതമായി നിർമ്മിച്ചത്

ക്രോണിയം അലുമിനിയം സിലിക്കൺ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ നിർമ്മാണം ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു:
1. സ്റ്റെപ്പ് അലോയ്കൾ ലഭിക്കുന്നതിന് സിലിക്കൺ, അലുമിനിയം, ക്രോണിയം എന്നിവയുടെ വാക്വം ഉരുകൽ.
2.പൊടി പൊടിക്കുക, മിക്സ് ചെയ്യുക.
3. ക്രോമിയം അലുമിനിയം സിലിക്കൺ അലോയ് സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് ലഭിക്കുന്നതിന് ഹോട്ട് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തൽ ചികിത്സ.
ക്രോണിയം അലുമിനിയം സിലിക്കൺ സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ കട്ടിംഗ് ടൂളുകളിലും മോൾഡുകളിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതിൻ്റെ വസ്ത്ര പ്രതിരോധവും ഉയർന്ന താപനില ഓക്‌സിഡേഷൻ പ്രതിരോധവും കാരണം ഫിലിം പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
CrAlSi ടാർഗെറ്റുകളുടെ PVD പ്രക്രിയയിൽ ഒരു രൂപരഹിതമായ Si3N4 ഘട്ടം രൂപപ്പെടും. രൂപരഹിതമായ Si3N4 ഘട്ടത്തിൻ്റെ സംയോജനം കാരണം, ധാന്യത്തിൻ്റെ വലുപ്പത്തിൻ്റെ വളർച്ച നിയന്ത്രിക്കാനും ഉയർന്ന താപനില ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധശേഷി മെച്ചപ്പെടുത്താനും കഴിയും.