Парчиња силицид од волфрам

Волфрам силицид WSi2 се користи како материјал од електричен шок во микроелектрониката, шантирање на полисиликонски жици, антиоксидациски премаз и отпорна жица. Волфрам силицидот се користи како контактен материјал во микроелектрониката, со отпорност од 60-80μΩcm. Се формира на 1000°C. Обично се користи како шант за полисиликонски линии за да се зголеми неговата спроводливост и да се зголеми брзината на сигналот. Волфрам-силицидниот слој може да се подготви со хемиско таложење на пареа, како што е таложење на пареа. Користете моносилан или дихлоросилан и волфрам хексафлуорид како суровина гас. Депонираниот филм не е стехиометриски и бара жарење за да се трансформира во попроводлива стехиометриска форма.

Волфрам силицид може да го замени претходниот волфрамски филм. Волфрам силицидот исто така се користи како преграден слој помеѓу силициумот и другите метали.

Волфрамово силицидот е исто така многу вреден во микроелектромеханичките системи, меѓу кои силицидот на волфрам главно се користи како тенок филм за производство на микроциркути. За таа цел, волфрамово силицидниот филм може да се гравира со плазма користејќи, на пример, силицид.

Rich Special Materials е специјализиран за производство на цел за распрскување и може да произведе силицид од волфрампарчињаспоред спецификациите на клиентите. За повеќе информации, ве молиме контактирајте не.