Сега се повеќе корисници ги разбираат типовите на цели инеговите апликации, но неговата поделеност можеби не е многу јасна. Сега ајдеRSM инженер споделете со васнекаква индукција на цели за прскање со магнетрон.
Цел за распрскување: мета за премачкување со метал, мета за премачкување со прскање од легура, мета за премачкување со керамички распрскување, мета за распрскување борид керамичка цел, мета за распрскување со карбид керамичка, мета за распрскување со флуорид керамичка, мета за распрскување нитрид керамички, мета за распрскување нитрид керамички Цел за распрскување со керамика, цел за распрскување со сулфид керамички, мета за распрскување со керамика со телурид, други керамички цели, керамичка цел со силикон оксид со хром (CR SiO), мета на индиум фосфид (INP), цел на олово арсенид (pbas), цел на индиум арсенид (InAs).
Магнетронското прскање е генерално поделено на два вида: DC прскање и RF прскање. Принципот на DC опремата за прскање е едноставен, а неговата брзина е исто така брза при прскање на метал. Широко се користи RF прскање. Покрај прскање на спроводливи податоци, може да прска и непроводливи податоци. Целта за прскање може да се користи и за реактивно прскање за да се подготват податоци за соединенија како што се оксиди, нитриди и карбиди. Ако фреквенцијата на RF се зголеми, ќе стане микробранова плазма прскање. Во моментов, најчесто се користи микробранова плазма резонантна резонанца на електрон циклотрон (ECR).
Време на објавување: мај-26-2022 година