Целта има широк пазар, област на примена и голем развој во иднина. Со цел да ви помогне подобро да ги разберете целните функции, овде подолу инженерот RSM накратко ќе ги претстави главните функционални барања на целта.
Чистота: чистотата е еден од главните функционални показатели на целта, бидејќи чистотата на целта има големо влијание врз функцијата на филмот. Меѓутоа, во практична примена, барањата за чистота на целта се исто така различни. На пример, со брзиот развој на индустријата за микроелектроника, големината на силиконската обланда е проширена од 6 „до 8“ на 12“, а ширината на жици се намалува од 0,5um на 0,25um, 0,18um или дури 0,13um. Претходно, 99,995% од целната чистота може да ги исполни барањата на процесот од 0,35umic, додека подготовката на линиите 0,18um бара 99,999% или дури 99,9999% од целната чистота.
Содржина на нечистотии: нечистотиите во целните цврсти материи и кислородот и водената пареа во порите се главните извори на загадување на депонираните филмови. Целите за различни намени имаат различни барања за различна содржина на нечистотии. На пример, целите од чист алуминиум и легура на алуминиум што се користат во полупроводничката индустрија имаат посебни барања за содржината на алкални метали и содржината на радиоактивни елементи.
Густина: за да се намалат порите во целната цврстина и да се подобри функцијата на распрскувачкиот филм, вообичаено се бара целта да има висока густина. Густината на целта не само што влијае на брзината на прскање, туку влијае и на електричните и оптичките функции на филмот. Колку е поголема целната густина, толку е подобра функцијата на филмот. Дополнително, густината и јачината на целта се подобрени за целта подобро да го прифати топлинскиот стрес во процесот на распрскување. Густината е исто така еден од клучните функционални показатели на целта.
Време на објавување: мај-20-2022 година