Тенкиот филм на обложената цел е посебен материјал. Во специфичната насока на дебелина, скалата е многу мала, што е микроскопска мерлива количина. Дополнително, поради изгледот и интерфејсот на дебелината на филмот, материјалниот континуитет завршува, што ги прави податоците од филмот и целните податоци да имаат различни заеднички својства. принципот и вештините на премачкување со прскање.
一, Принцип на премачкување со распрскување
Sputtering слој вештина е да се користи јонски гранатирање цел изглед, целните атоми се погодени надвор од феноменот познат како sputtering. Атомите депонирани на површината на подлогата се нарекуваат премачкување. Општо земено, јонизацијата на гасот се создава со испуштање гас, а позитивните јони ја бомбардираат целта на катодата со голема брзина под дејство на електричното поле, исфрлајќи ги атомите или молекулите на катодна цел и летање до површината на подлогата за да се депонира во филм. Едноставно кажано, премачкувањето користи ниски притисок инертен гас празнење сјај за да се генерираат јони.
Општо земено, опремата за обложување на филм за распрскување е опремена со две електроди во вакуумска комора за празнење, а целта на катодата е составена од податоци за обложување. Вакуумската комора се полни со гас аргон со притисок од 0,1~10Pa. Празнењето на сјајот се јавува на катодата под дејство на негативен висок напон од 1~3 kV dc или rf напон од 13,56 mhz. Јоните на аргон ја бомбардираат целната површина и предизвикуваат распрсканите целни атоми да се акумулираат на подлогата.
二、Карактеристики на вештини за обложување со прскање
1, Брза брзина на редење
Разликата помеѓу магнетронската електрода за прскање со голема брзина и традиционалната двостепена електрода за прскање е во тоа што магнетот е поставен под целта, така што затвореното нерамномерно магнетно поле се јавува на површината на целта. Лоренцовата сила на електроните е кон центарот. на хетерогеното магнетно поле. Поради ефектот на фокусирање, електроните помалку бегаат. Хетерогеното магнетно поле оди околу целната површина, а секундарните електрони заробени во хетерогеното магнетно поле постојано се судираат со молекулите на гасот, што ја подобрува високата стапка на конверзија на молекулите на гасот. Затоа, магнетронското прскање со голема брзина троши мала енергија, но може да добие голема ефикасност на облогата, со идеални карактеристики на празнење.
2, Температурата на подлогата е ниска
Магнетронско прскање со голема брзина, познато и како нискотемпературно прскање. Причината е што уредот користи празнења во простор од електромагнетни полиња кои се директно едно до друго. Секундарните електрони кои се појавуваат на надворешната страна на целта, едни во други. Под дејство на директно електромагнетно поле, тој е врзан во близина на површината на целта и се движи по пистата во кружна тркалачка линија, постојано удирајќи со молекулите на гасот за да ги јонизираат молекулите на гасот. Заедно, самите електрони постепено ја губат својата енергија, преку повторени испакнатини, додека нивната енергија речиси целосно не се изгуби пред да можат да избегаат од површината на целта во близина на подлогата. Бидејќи енергијата на електроните е толку мала, температурата на целта не се зголемува премногу високо. Тоа е доволно за да се спротивстави на порастот на температурата на подлогата предизвикан од високоенергетското електронско бомбардирање на обична диодна снимка, што ја комплетира криогенизацијата.
3, Широк спектар на мембрански структури
Структурата на тенките филмови добиени со вакуумско испарување и таложење со инјектирање е сосема поинаква од онаа добиена со разредување на масивни материи. За разлика од генерално постоечките цврсти материи, кои се класифицирани како суштински иста структура во три димензии, филмовите депонирани во гасната фаза се класифицирани како хетерогени структури. Тенките филмови се колонообразни и може да се истражат со скенирачка електронска микроскопија. Колонообразниот раст на филмот е предизвикан од оригиналната конвексна површина на подлогата и неколку сенки во истакнатите делови на подлогата. Сепак, обликот и големината на столбот се сосема различни поради температурата на подлогата, површинската дисперзија на наредените атоми, закопувањето на атомите на нечистотија и упадниот агол на инцидентните атоми во однос на површината на подлогата. Во преголемиот температурен опсег, тенкиот филм има влакнеста структура, висока густина, составена од фини колонообразни кристали, што е единствена структура на филмот за распрскување.
Притисокот на прскање и брзината на натрупување на филмот, исто така, влијаат на структурата на филмот. Бидејќи молекулите на гасот имаат ефект на потиснување на дисперзијата на атомите на површината на подлогата, ефектот на високиот притисок на прскање е погоден за падот на температурата на подлогата во моделот. Затоа, порозните филмови што содржат фини зрна може да се добијат при висок притисок на прскање. Овој филм со мала зрнеста големина е погоден за подмачкување, отпорност на абење, површинско стврднување и други механички примени.
4, Наредете го составот рамномерно
Соединенија, мешавини, легури итн., кои се соодветно тешки за премачкување со вакуумско испарување бидејќи парните притисоци на компонентите се различни или затоа што тие се разликуваат кога се загреваат. на подлогата, во оваа смисла е посовршена филмска вештина. Сите видови материјали може да се користат во производството на индустриски облоги со распрскување.
Време на објавување: 29 април 2022 година