Многу корисници сигурно слушнале за производот на целта за распрскување, но принципот на прскање цел треба да биде релативно непознат. Сега, уредникот наБогат специјален материјал (RSM) ги дели принципите на магнетронско прскање на целта за распрскување.
Ортогонално магнетно поле и електрично поле се додаваат помеѓу испрсканата целна електрода (катода) и анодата, потребниот инертен гас (обично Ar гас) се полни во комората со висок вакуум, постојаниот магнет формира магнетно поле од 250 ~ 350 Гаус. површината на целните податоци, а ортогоналното електромагнетно поле се формира со високонапонското електрично поле.
Под дејство на електричното поле, Ar гасот се јонизира во позитивни јони и електрони. На целта се додава одреден негативен висок напон. Ефектот на магнетното поле на електроните испуштени од целниот пол и веројатноста за јонизација на работен гас се зголемуваат, формирајќи плазма со висока густина во близина на катодата. Под дејство на Лоренцовата сила, јоните на Ar забрзуваат до целната површина и ја бомбардираат целната површина со многу голема брзина. да депонира филмови.
Магнетронското прскање е генерално поделено на два вида: приточно прскање и RF прскање. Принципот на опремата за прскање со притоки е едноставен, а неговата брзина е исто така брза при распрскување на метал. Широко се користи RF прскање. Покрај прскање на спроводливи материјали, може да прска и непроводни материјали. Во исто време, тој исто така спроведува реактивно прскање за да подготви материјали од оксиди, нитриди, карбиди и други соединенија. Ако фреквенцијата на RF се зголеми, таа ќе стане микробранова плазма прскање. Сега, вообичаено се користи микробранова плазма резонантна резонанца на електрон циклотрон (ECR).
Време на објавување: мај-31-2022 година