Главните својства на целниот материјал за распрскување

Мора да сме многу запознаени со целта сега, сега целниот пазар исто така се зголемува, следново е главната изведба на sputtering target споделена од уредникот од RSM

　　Чистотата

Чистотата на целниот материјал е еден од главните индекси на перформанси, бидејќи чистотата на целниот материјал има големо влијание врз перформансите на тенкиот филм. Меѓутоа, во практична примена, барањата за чистота на целните материјали не се исти. На пример, со брзиот развој на индустријата за микроелектроника, големината на силиконскиот чип е развиена од 6 “, 8 “на 12″, а ширината на жиците е намалена од 0,5um на 0,25um,0,18um или дури 0,13um. Претходно, чистотата на целниот материјал од 99,995% може да ги исполни барањата на процесот од 0,35umIC. Чистотата на целниот материјал е 99,999% или дури 99,9999% за подготовка на линии од 0,18um.

　　Содржина на нечистотија

Нечистотиите во целната цврстина и кислородот и водената пареа во порите се главните извори на загадување на таложење на филмот. Целните материјали за различни намени имаат различни барања за различна содржина на нечистотии. На пример, целите од чист алуминиум и легура на алуминиум што се користат во полупроводничката индустрија имаат посебни барања за содржината на алкалните метали и радиоактивни елементи.

　　Густината

Со цел да се намали порозноста во целната цврстина и да се подобрат перформансите на филмот за распрскување, обично е потребна висока густина на целта. Густината на целта влијае не само на брзината на прскање, туку и на електричните и оптичките својства на филмот. Колку е поголема целната густина, толку е подобра изведбата на филмот. Покрај тоа, зголемувањето на густината и јачината на целта ја прави целта подобро да го издржи термичкиот стрес во процесот на распрскување. Густината е исто така еден од клучните индекси на перформанси на целта.

　　Големина на зрно и дистрибуција на големината на зрното

Целта е обично поликристална со големина на зрно која се движи од микрометар до милиметар. За истата цел, брзината на прскање на целта со мали зрна е побрза од онаа на целта со големи зрна. Распределбата на дебелината на филмовите депонирани со мета за распрскување со помала разлика во големината на зрната (униформа распределба) е порамномерна.