Како да се подобри стапката на искористеност на целните материјали од молибден

Целите од распрсканиот молибден се широко користени во електронската индустрија, соларни ќелии, стаклена обвивка и други полиња поради нивните вродени предности. Со брзиот развој на модерната технологија во минијатуризација, интеграција, дигитализација и интелигенција, употребата на молибденски цели ќе продолжи да се зголемува, а барањата за квалитет за нив исто така ќе станат сè повисоки. Затоа, треба да најдеме начини да ја подобриме стапката на искористеност на целите на молибден. Сега, уредникот на РСМ ќе воведе неколку методи за подобрување на стапката на искористување на целите на молибден за секого

1. Додадете електромагнетна намотка на задната страна

Со цел да се подобри стапката на искористеност на целта со распрскан молибден, може да се додаде електромагнетна намотка на задната страна на рамнината магнетронска цел која распрскува молибден, а магнетното поле на површината на целта од молибден може да се зголеми со зголемување на струјата на електромагнетниот калем, за да се подобри стапката на искористување на целта на молибден.

2. Изберете цевчест ротирачки целен материјал

Во споредба со рамни цели, изборот на тубуларна ротирачка целна структура ги истакнува нејзините суштински предности. Општо земено, стапката на искористеност на рамни цели е само 30% до 50%, додека стапката на искористеност на цевчести ротирачки цели може да достигне над 80%. Покрај тоа, кога се користи ротирачката шуплива цевка Магнетронска цел за распрскување, бидејќи целта може постојано да ротира околу склопот на фиксната прачка магнет, нема да има повторно таложење на неговата површина, така што животниот век на ротирачката цел е генерално повеќе од 5 пати подолг од онаа на целта на авионот.

3. Заменете со нова опрема за прскање

Клучот за подобрување на стапката на искористеност на целните материјали е да се заврши замената на опремата за распрскување. За време на процесот на распрскување на целниот материјал за распрскување на молибден, околу една шестина од атомите на распрскување ќе се таложат на ѕидот или држачот на вакуумската комора откако ќе бидат погодени од водородни јони, зголемувајќи ги трошоците за чистење на опремата за вакуум и застојот. Така, заменувањето на новата опрема за распрскување, исто така, може да помогне да се подобри стапката на искористеност на целите за распрскување на молибден.