Сите знаеме дека прскањето е една од главните технологии за подготовка на филмски материјали. Ги користи јоните произведени од изворот на јони за да ја забрза агрегацијата во вакуум за да формира јонски зрак со голема брзина, да ја бомбардира цврстата површина, а јоните разменуваат кинетичка енергија со атомите на цврстата површина, така што атомите на цврстата површина површината оставете го цврстото и таложете се на површината на подлогата. Бомбардираното цврсто тело е суровина за таложење на филмот со распрскување, што се нарекува мета за распрскување.
Различни видови на распрскани филмски материјали се широко користени во полупроводнички интегрални кола, медиуми за снимање, рамнински дисплеј, обложување на површината на алатот и матрицата и така натаму.
Целите за распрскување главно се користат во електронската и информациската индустрија, како што се интегрирани кола, складирање информации, дисплеи со течни кристали, ласерски мемории, опрема за електронска контрола итн.; Може да се користи и во областа на обложување на стакло; Може да се користи и во материјали отпорни на абење, отпорност на корозија на висока температура, декоративни производи од висока класа и други индустрии.
Постојат многу видови на цели за распрскување, а постојат и различни методи за класификација на цели:
Според составот, може да се подели на метална цел, цел од легура и цел на керамичко соединение.
Според формата, може да се подели на долга цел, квадратна цел и тркалезна цел.
Може да се подели на микроелектронска цел, цел за магнетно снимање, мета на оптички диск, мета на скапоцен метал, цел на отпорност на филм, мета на спроводлив филм, мета за модификација на површината, цел на маска, цел на украсен слој, цел на електрода и други цели според полето за апликација.
Според различни апликации, може да се подели на керамички цели поврзани со полупроводници, снимање средно керамички цели, прикажување керамички цели, суперспроводливи керамички цели и џиновски керамички цели со магнетоотпорност.
Време на објавување: 29 јули 2022 година