Во моментов, речиси сите цели за метал бакар со ултра висока чистота што ги бара индустријата за ИЦ се монополизирани од неколку големи странски мултинационални компании. Сите цели на ултрачист бакар што и се потребни на домашната индустрија за ИЦ треба да се увезат, што не само што е скапо, туку е и комплицирано во процедурите за увоз Затоа, Кина итно треба да го подобри развојот и верификацијата на цели за прскање бакар со ултра висока чистота (6N). . Ајде да ги погледнеме клучните точки и тешкотии во развојот на бакарни цели со ултра висока чистота (6N).
1,Развој на материјали со ултра висока чистота
Технологијата за прочистување на металите со висока чистота Cu, Al и Ta во Кина е далеку од онаа во индустриските развиени земји. Во моментов, повеќето од металите со висока чистота што може да се обезбедат не можат да ги задоволат барањата за квалитет на интегрираните кола за прскање цели според конвенционалните методи за анализа на сите елементи во индустријата. Бројот на инклузии во целта е превисок или нерамномерно распределен. Често се формираат честички на нафората за време на распрснувањето, што резултира со краток спој или отворен спој на меѓусебно поврзување, што сериозно влијае на перформансите на филмот.
2,Развој на технологија за подготовка на целта за бакарно прскање
Развојот на технологијата за подготовка на целта за прскање на бакар главно се фокусира на три аспекти: големина на зрно, контрола на ориентација и униформност. Индустријата за полупроводници има највисоки барања за прскање цели и испарување на суровините. Има многу строги барања за контрола на големината на зрната на површината и кристалната ориентација на целта. Големината на зрната на целта мора да се контролира на 100μ Според тоа, контролата на големината на зрната и средствата за корелација за анализа и детекција се многу важни за развојот на металните цели.
3,Развој на анализа итестирање технологија
Високата чистота на целта значи намалување на нечистотиите. Во минатото, индуктивно поврзаната плазма (ICP) и спектрометрија на атомска апсорпција се користеа за одредување на нечистотиите, но во последниве години, анализата на квалитетот на празнење на сјајот (GDMS) со поголема чувствителност постепено се користи како стандард. метод. Методот RRR на односот на преостанат отпор главно се користи за определување на електричната чистота. Нејзиниот принцип на определување е да се оцени чистотата на основниот метал со мерење на степенот на електронска дисперзија на нечистотиите. Бидејќи е да се измери отпорот на собна температура и на многу ниска температура, лесно е да се земе бројот. Во последниве години, со цел да се истражи суштината на металите, истражувањето за ултра висока чистота е многу активно. Во овој случај, вредноста на RRR е најдобриот начин да се оцени чистотата.
Време на објавување: мај-06-2022 година