Во последниве години, со напредокот на технологијата на интегрирани кола (IC), поврзаните апликации на интегрираните кола брзо се развиваа. Целта за распрскување на алуминиумска легура со ултра висока чистота, како потпорен материјал во производството на метални меѓусебни врски со интегрирано коло, стана жешка тема во неодамнешните домашни истражувања. уредникот на RSM ќе ни ги покаже карактеристиките на целта за распрскување на алуминиумска легура со висока чистота.
Со цел дополнително да се подобри ефикасноста на прскање на целта за прскање со магнетрон и да се обезбеди квалитетот на депонираните филмови, голем број експерименти покажуваат дека постојат одредени барања за составот, микроструктурата и ориентацијата на зрната на целта за распрскување на алуминиумска легура со ултра висока чистота.
Големината на зрната и ориентацијата на зрната на целта имаат големо влијание врз подготовката и својствата на IC филмовите. Резултатите покажуваат дека стапката на таложење се намалува со зголемувањето на големината на зрната; За целта за прскање со ист состав, брзината на прскање на целта со мала големина на зрно е побрза од онаа на целта со голема големина на зрно; Колку е порамномерна големината на зрната на целта, толку е порамномерна распределбата на дебелината на депонираните филмови.
Под истиот инструмент за прскање и параметри на процесот, брзината на прскање на целта од легура Al Cu се зголемува со зголемувањето на атомската густина, но генерално е стабилна во опсег. Ефектот на големината на зрната врз брзината на прскање се должи на промената на атомската густина со промената на големината на зрното; Стапката на таложење е главно под влијание на ориентацијата на зрната на целната легура на Al Cu. Врз основа на обезбедување пропорција на (200) кристални рамнини, зголемувањето на пропорцијата на (111), (220) и (311) кристални рамнини ќе ја зголеми стапката на таложење.
Големината на зрното и ориентацијата на зрната на целите од алуминиумска легура со ултра висока чистота главно се приспособуваат и контролираат со хомогенизација на ингот, топла работа и жарење со рекристализација. Со развојот на големината на обланда до 20,32 см (8 инчи) и 30,48 см (12 инчи), целната големина исто така се зголемува, што поставува повисоки барања за цели за распрскување од алуминиумска легура со ултра висока чистота. Со цел да се обезбеди квалитетот на филмот и приносот, параметрите за обработка на целта мора да бидат строго контролирани за да се направи целната микроструктура униформа, а ориентацијата на зрната мора да има силни (200) и (220) рамни текстури.
Време на објавување: Јуни-30-2022 година