Неодамна, многу пријатели прашаа за карактеристиките на целите за распрскување на молибден. Во електронската индустрија, со цел да се подобри ефикасноста на прскање и да се обезбеди квалитетот на депонираните филмови, кои се барањата за карактеристиките на целите за прскање со молибден? Сега ќе ни објаснат техничките експерти од РСМ.
1. Чистота
Високата чистота е основна карактеристика на целта за распрскување на молибден. Колку е поголема чистотата на целта на молибден, толку е подобра изведбата на распрсканиот филм. Општо земено, чистотата на целта за распрскување на молибден треба да биде најмалку 99,95% (масен дел, истото подолу). Меѓутоа, со континуираното подобрување на големината на стаклената подлога во индустријата за ЛЦД, потребно е да се прошири должината на жиците, а ширината на линијата да биде потенка. За да се обезбеди униформност на филмот и квалитетот на жиците, потребно е соодветно да се зголеми и чистотата на целта за распрскување на молибден. Затоа, според големината на подлогата од распрскано стакло и околината за употреба, чистотата на целта за распрскување на молибден се бара да биде 99,99% - 99,999% или дури и повисока.
Целта за распрскување на молибден се користи како катоден извор во распрскувањето. Нечистотиите во цврстите и кислородот и водената пареа во порите се главните извори на загадување на депонираните филмови. Покрај тоа, во електронската индустрија, бидејќи јоните на алкалните метали (Na, K) лесно стануваат мобилни јони во изолациониот слој, перформансите на оригиналниот уред се намалуваат; Елементите како што се ураниум (U) и титаниум (TI) ќе бидат ослободени α рендгенски зраци, што ќе резултира со меко распаѓање на уредите; Јоните на железо и никел ќе предизвикаат истекување на интерфејсот и зголемување на кислородните елементи. Затоа, во процесот на подготовка на целта за распрскување на молибден, овие елементи на нечистотија треба строго да се контролираат за да се минимизира нивната содржина во целта.
2. Големина на зрно и дистрибуција на големината
Општо земено, целта за распрскување на молибден е поликристална структура, а големината на зрната може да се движи од микрон до милиметар. Експерименталните резултати покажуваат дека брзината на прскање на целта со фино зрно е побрза од онаа на целта со крупно зрно; За целта со мала разлика во големината на зрната, дистрибуцијата на дебелината на депонираниот филм е исто така порамномерна.
3. Кристална ориентација
Бидејќи целните атоми е лесно да се преференцијално распрскани по правецот на најблискиот распоред на атомите во шестоаголна насока за време на прскањето, со цел да се постигне највисока брзина на прскање, брзината на прскање често се зголемува со менување на кристалната структура на целта. Кристалната насока на целта исто така има големо влијание врз униформноста на дебелината на распрсканата фолија. Затоа, многу е важно да се добие одредена кристално ориентирана целна структура за процесот на распрскување на филмот.
4. Згуснување
Во процесот на премачкување со распрскување, кога се бомбардира целта за прскање со мала густина, гасот што постои во внатрешните пори на целта ненадејно се ослободува, што резултира со прскање на целни честички или честички со големи димензии, или филмскиот материјал е бомбардиран. од секундарни електрони по формирањето на филмот, што резултира со прскање на честички. Појавата на овие честички ќе го намали квалитетот на филмот. Со цел да се намалат порите во целната цврстина и да се подобрат перформансите на филмот, генерално се бара целта за распрскување да има висока густина. За целта за распрскување на молибден, неговата релативна густина треба да биде повеќе од 98%.
5. Врзување на целта и шасијата
Општо земено, целта за прскање на молибден мора да биде поврзана со шасијата без кислород од бакар (или алуминиум и други материјали) пред прскање, така што топлинската спроводливост на целта и шасијата е добра за време на процесот на прскање. По врзувањето, мора да се изврши ултразвучна инспекција за да се осигура дека површината што не се врзува на двете е помала од 2%, за да се задоволат барањата за прскање со голема моќност без да падне.
Време на објавување: 19 јули 2022 година