Техничкиот консултант на РСМ ќе ги сподели со вас предностите на цилиндричните и рамни магнетронски цели за прскање? Во споредба со другите цели за прскање со магнетрон, цилиндричните и рамните цели за прскање со магнетрон ги задржуваат предностите на добрата униформност на обложување на правоаголните рамни цели и можат да го максимизираат искористувањето на целите на следниве два начина:
(1) Кога двете групи (четири) прстенести јами на површината на целта достигнуваат одредена длабочина, целното јадро (дел од магнет) може да се ротира за 45 ° во однос на целната цевка, така што другите области на целната цевка кои не биле кородирани може да се користат;
(2) Кога целното јадро на цилиндричната и рамна цел за прскање со магнетрон е дизајнирано како ротирачко целно јадро (целното јадро се ротира за време на прскањето), површината на целта може рамномерно да се распрснува слој по слој без јами. Во тоа време, целта ќе се користи најефективно, а стапката на искористеност на целта може да достигне 50% ~ 60% Кога целниот материјал е благороден метал, ова е очигледно од големо значење.
Со користење на принципот на магнет со чевел на столб во коаксијална цилиндрична мета за прскање со магнетрон за да се реши проблемот со крајното магнетно поле, целта со правоаголна рамнина може да се трансформира во цилиндрична и рамна цел на магнетронско распрскување, целта може да ја максимизира стапката на искористување на целта притоа задржувајќи ја добрата униформност на облогата на целта со правоаголна рамнина За да се подобрат економските придобивки.
Време на објавување: јули-04-2022 година