Kei te mohio tatou katoa, ko te whakaetonga korehau me te pupuhi katote e whakamahia ana i roto i te paninga korehau. He aha te rereketanga i waenga i te paninga whakaetonga me te paninga sputtering? I muri mai, ka tohatoha nga tohunga hangarau mai i te RSM ki a maatau.
Ko te paninga whakaetonga korehau ko te whakamahana i nga mea ka whakaeto ki tetahi pāmahana na roto i te whakamahana whakawera, te kurupae irahiko ranei me te pupuhi taiaho i roto i te taiao me te tohu korehau e kore e iti iho i te 10-2Pa, kia kaha te wiri waiariki o te ngota ngota ranei Ko nga ngota i roto i te rawa ka nui ake i te kaha here o te mata, na te maha o nga ngota ngota, ngota ranei e whakaeto ana, e whakahekehia ana ranei, a ka heke tika ki runga i te tïpako. hanga he kiriata. Ka whakamahia e te paninga pupuhi katote te nekehanga tere o nga katote pai i puta mai i te rerenga hau i raro i te mahi a te papa hiko ki te pupuhi i te whaainga hei cathode, kia mawhiti ai nga ngota, ngota ngota ranei i roto i te whaainga ka heke ki te mata o te taputapu whakakikorua ki te hanga. te kiriata e hiahiatia ana.
Ko te tikanga tino whakamahia mo te whakaetonga whakaetonga ko te whakawera whakawera, he painga o te hanganga ngawari, te utu iti me te mahi watea; Ko te ngoikoretanga ko te kore e pai mo nga konganuku whakaahuru me nga rauemi dielectric atete teitei. Ka taea e te whakamahana hiko hiko me te whakamahana laser te hinga i nga ngoikoretanga o te whakamahana aukati. I roto i te whakawera irahiko kurupae, ka whakamahia te kurupae irahiko arotahi ki te whakamahana tika i nga mea kua pupuhihia, a ka huri te kaha o te hiko o te hiko hiko ki te wera, na te mea ka mimiti te rauemi. Ko te whakamahana laser e whakamahi ana i te laser mana teitei hei puna whakamahana, engari na te nui o te utu o te laser hiko teitei, ka taea anake te whakamahi i roto i etahi taiwhanga rangahau i tenei wa.
He rereke te hangarau mokowhiti i te hangarau whakaetonga korehau. Ko te "Sputtering" e pa ana ki te ahuatanga e pupuhi ana nga matūriki kua utaina ki te mata totoka (te whaainga) ka puta mai nga ngota totoka, ngota ngota ranei mai i te mata. Ko te nuinga o nga matūriki kua puta kei roto i te ahua ngota, e kiia nei he ngota pupuhi. Ko nga matūriki kapohia ki te pupuhi i te whaainga he irahiko, he katote, he matūriki kore ranei. Na te mea he ngawari te tere o nga katote i raro i te papa hiko ki te whiwhi i te kaha o te hiko e hiahiatia ana, ko te nuinga o ratou ka whakamahi i nga katote hei matūriki poma. Ko te mahi pupuhi ka ahu mai i te rere o te mura, ara, ka puta mai nga katote katote i te rere hau. Ko nga momo hangarau pupuhi rereke ka whakamahi i nga momo tukunga mura. Ka whakamahia e te diode sputtering DC te rere mura; Triode sputtering ko te rere mura e tautokona ana e te wera cathode; Ko te RF sputtering e whakamahi ana i te RF glow discharge; Ko te pupuhi aukumete he rerenga kanapa e whakahaeretia ana e te mara autō annular.
Ina whakaritea ki te paninga whakaetonga korehau, he maha nga painga o te paninga sputtering. Hei tauira, ka taea te pupuhi tetahi matū, ina koa nga huānga me nga pūhui he tiketike te ira whakarewa me te iti o te pehanga kohu; He pai te piri ki waenga i te kiriata me te tïpako; kiato kiriata teitei; Ka taea te whakahaere i te matotoru o te kiriata me te pai o te tukurua. Ko te kino ko te mea he uaua nga taputapu me te hiahia ngaohiko teitei.
I tua atu, ko te huinga o te tikanga whakaetonga me te tikanga sputtering ko te whakakikorua katote. Ko nga painga o tenei tikanga ko te kiriata kua whiwhia he kaha te piri ki te tïpako, te reiti waipara teitei me te kiato kiriata teitei.
Wā tuku: Hūrae-20-2022