1. Tikanga pupuhi Magnetron:
Ka taea te wehewehea te pupuhi a Magnetron ki roto i te DC sputtering, te auau reo me te RF sputtering
A. He iti te tuku hiko hiko a DC, he kino te kiato o te kiriata kua penapena. Ko te tikanga, he iti te kaha o te whakamahi i nga pākahiko photothermal me te kiriata angiangi, a, ko te whaainga ko te pupuhi he kori whakarewa.
B. Ko te kaha o te pupuhi RF he tiketike, a, ko te waahi o te pupuhi ka taea te kore-whakahaere, te whaainga whakahaere ranei.
C. Waenga auau sputtering ūnga e taea te ūnga uku ranei ūnga whakarewa.
2. Te whakarōpūtanga me te whakamahi i nga whaainga pupuhi
He maha nga momo whaainga mokowhiti, he rereke ano nga tikanga whakarōpūtanga. E ai ki te ahua, ka wehewehea ki te whainga roa, te whaainga tapawha me te whaainga porohita; E ai ki te hanganga, ka taea te wehea ki te whaainga whakarewa, te whaainga koranu me te whaainga pūhui uku; E ai ki nga mara tono rereke, ka taea te wehea ki roto i nga whaainga karaehe e pa ana ki te semiconductor, te tuhi i nga whaainga karaehe reo, te whakaatu i nga whaainga uku, me era atu. Ko nga whaainga Sputtering te nuinga e whakamahia ana i roto i nga umanga hiko me nga korero, penei i te umanga rokiroki korero. I roto i tenei ahumahi, ka whakamahia nga whaainga pupuhi ki te whakarite i nga hua kiriata angiangi e tika ana (kopae pakeke, upoko autō, kōpae whatu, me etahi atu). I tenei wa. Na te whanaketanga tonu o te umanga korero, kei te piki haere te tono mo te rekoata i nga whaainga uku i te maakete. Ko te rangahau me te whakaputanga o nga taumata reo rekoata kua tino aro nuitia.
Te wa tuku: Mei-11-2022