E mohio ana tatou katoa, ko te ahuatanga o te whanaketanga o te hangarau rauemi whaainga e hono tata ana ki te ia whanaketanga o te hangarau kiriata i roto i te umanga tono whakararo. Na te whakapai ake i te hangarau o nga hua kiriata me nga waahanga i roto i te umanga tono, me huri ano te hangarau whaainga. Hei tauira, kua arotahi nga kaihanga Ic ki te whakawhanaketanga o nga waea parahi parenga iti, e tika ana kia tino whakakapi i te kiriata konumohe taketake i roto i nga tau e whai ake nei, na reira ka tere te whakawhanaketanga o nga whaainga parahi me o raatau whaainga aukati.
I tua atu, i roto i nga tau tata nei, kua whakakapihia te whakaaturanga papanga papatahi (FPD) i te ngongo cathode-ray (CRT) -i runga i te whakaaturanga rorohiko me te maakete pouaka whakaata. Ka nui ake ano te tono hangarau me te maakete mo nga whaainga ITO. Na ko te hangarau rokiroki. Kei te piki haere tonu te hiahia mo nga puku pakeke, nui-kaha, me nga kōpae ūkui teitei. Ko enei mea katoa i puta ai nga huringa i roto i te tono mo nga rauemi whaainga i roto i te umanga tono. Ka whai ake nei, ka whakaurua e matou nga waahanga tono matua o te whaainga me te ia whanaketanga o te whaainga i roto i enei mara.
1. Microelectronics
I roto i nga umanga tono katoa, kei te umanga semiconductor nga whakaritenga o te kounga tino kaha mo nga kiriata sputtering. Ko nga mea angiangi Silicon o te 12 inihi (300 epistaxis) kua hangaia inaianei. Kei te heke haere te whanui o te hononga hono. Ko nga whakaritenga a nga kaihanga angiangi silicon mo nga rauemi whaainga he nui te rahi, he maamaa teitei, he iti te wehewehenga me te witi pai, e hiahia ana kia pai ake te hangahanga moroiti o nga rauemi whaainga. Ko te diameter matūriki tioata me te riterite o nga mea kua tohua ko nga mea matua e pa ana ki te reiti waipara kiriata.
Ka whakatauritea ki te konumohe, he nui ake te kaha o te electromobility o te parahi me te iti ake o te parenga, ka taea te whakatutuki i nga whakaritenga o te hangarau kaiwhakahaere i roto i te waea submicron i raro i te 0.25um, engari ka kawea mai etahi atu raruraru: he iti te kaha o te piri i waenga i te parahi me nga rauemi reo pararopi. I tua atu, he ngawari ki te urupare, e arai ana ki te pirau o te hononga parahi me te pakaru o te ara iahiko i te wa e whakamahia ana te maramara. Hei whakaoti i tenei raruraru, me whakatakoto he paparanga arai i waenganui i te parahi me te paparanga dielectric.
Ko nga mea e whakamahia ana i roto i te paparanga arai o te hononga parahi ko Ta, W, TaSi, WSi, me etahi atu. Engari ko Ta me W he konganuku whakaahuru. He uaua te hanga, a ko nga koranu penei i te molybdenum me te chromium kei te akohia hei rauemi rereke.
2. Mo te whakaaturanga
Ko te whakaaturanga papanga papatahi (FPD) kua tino whakararu i te ngongo hihi- cathode-ray (CRT) -i runga i te aroturuki rorohiko me te maakete pouaka whakaata i roto i nga tau, ka peia hoki te hangarau me te hiahia o te maakete mo nga rawa e whaaia ana e te ITO. E rua nga momo whaainga ITO i tenei ra. Ko tetahi ko te whakamahi i te ahua nanometer o te indium oxide me te tine oxide paura i muri i te sintering, ko tetahi ko te whakamahi i te whaainga koranu indium tin. Ko te kiriata ITO ka taea te hanga e te DC reactive sputtering i runga i te taumata koranu indium-tine, engari ko te mata i whäia ka oxidize, ka pa ki te reiti sputtering, a he uaua ki te tiki i te taumata koranu rahi.
I enei wa, ka whakamahia te tikanga tuatahi ki te whakaputa i nga taonga ITO, ko te paninga pupuhi ma te tauhohenga pupuhi magnetron. He tere te reeti whakatakoto. Ko te matotoru o te kiriata ka taea te whakahaere tika, he teitei te kawe, he pai te rite o te kiriata, he kaha te piri o te taputapu. Engari he uaua te hanga i nga mea i whaaia, na te mea karekau te waikura indium me te waikura tine e ngawari ki te whakakotahi. Ko te tikanga, ko te ZrO2, Bi2O3 me te CeO ka tohua hei taapiri taapiri, a ka taea te whiwhi i te rauemi whaainga me te kiato o te 93% ~ 98% o te uara kaupapa. Ko te mahinga o te kiriata ITO i hanga penei he hononga nui ki nga taapiri.
Ko te parenga aukati o te kiriata ITO ka whiwhi ma te whakamahi i aua rauemi ka eke ki te 8.1×10n-cm, he tata ki te parenga o te kiriata ITO parakore. He tino nui te rahi o te FPD me te karaihe conductive, a ko te whanui o te karaihe conductive ka tae ki te 3133mm. Hei whakapai ake i te whakamahinga o nga rawa i whaaia, ka whakawhanakehia nga rauemi whaainga ITO me nga ahuatanga rereke, penei i te ahua porotakaroa. I te tau 2000, i whakaurua e te Komihana Whakamaherehere Whakawhanaketanga Motu me te Manatu o te Putaiao me te Hangarau nga whaainga nui a ITO ki roto i nga Aratohu mo nga Waahanga Matua o te Ahumahi Paarongo e Maamaa ana mo te Whanaketanga.
3. Te whakamahi rokiroki
Mo te hangarau rokiroki, ko te whakawhanaketanga o nga kopae pakeke me te kaha nui e hiahia ana ki te maha o nga rawa kiriata whakahiato. Ko te CoF~Cu multilayer composite kiriata he hanganga whakamahia nuitia o te kiriata reructance nui. Kei te whanake tonu te koranu TbFeCo e hiahiatia ana mo te kopae autō. Ko te kopae autō i hangaia me TbFeCo nga ahuatanga o te kaha rokiroki nui, te roa o te mahi me te whakakore i nga waea-kore.
Antimony germanium telluride based phase change memory (PCM) i whakaatu i te kaha arumoni nui, ka noho hei waahanga NOR flash memory me te maakete DRAM hei hangarau rokiroki rereke, heoi, i roto i te whakatinanatanga ka tere ake te whakaheke i tetahi o nga wero kei runga i te huarahi ka noho ko te kore ki te tautuhi ano. te hanga o naianei ka taea te whakaheke i nga waahanga kua oti te hiri. Ko te whakaiti i te naianei tautuhi ka whakaiti i te kai mana mahara, ka roa te ora o te pākahiko, me te whakapai ake i te bandwidth raraunga, nga ahuatanga nui katoa i roto i nga taputapu-a-raraunga, tino kawe i nga taputapu kaihoko.
Wā tuku: Akuhata-09-2022