Tsy maintsy mahafantatra tsara ny lasibatra isika amin'izao fotoana izao, mihamitombo ihany koa ny tsena kendrena, izao manaraka izao ny zava-bitan'ny sputtering tanjona nozarain'ny tonian-dahatsoratra avy amin'ny RSM
Ny fahadiovana
Ny fahadiovan'ny fitaovana kendrena dia iray amin'ireo fanondroana fampisehoana lehibe indrindra, satria ny fahadiovan'ny fitaovana kendrena dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fampisehoana sarimihetsika manify. Na izany aza, amin'ny fampiharana azo ampiharina dia tsy mitovy ny fepetra takian'ny fahadiovana amin'ny fitaovana kendrena. Ohatra, miaraka amin'ny fivoarana haingana ny indostrian'ny microelectronics, ny haben'ny chip silisiôma dia novolavolaina avy amin'ny 6 ", 8" ka hatramin'ny 12", ary ny sakan'ny wiring dia nihena avy amin'ny 0.5um ka hatramin'ny 0.25um, 0.18um na 0.13um aza. Teo aloha, ny fahadiovan'ny 99.995% fitaovana kendrena dia afaka mahafeno ny fepetra takian'ny 0.35umIC. Ny fahadiovan'ny fitaovana kendrena dia 99.999% na 99.9999% aza ho an'ny fanomanana andalana 0.18um.
Votoatin'ny fahalotoana
Ny loto ao amin'ny lasibatra mafy sy ny oksizenina sy ny etona rano ao amin'ny mason-koditra no tena loharanon'ny fandotoana ny fametrahana sarimihetsika. Ny fitaovana kendrena ho an'ny tanjona samihafa dia manana fepetra samihafa amin'ny votoatin'ny loto samihafa. Ohatra, ny lasibatra aluminium sy aliminioma madio ampiasaina amin'ny indostrian'ny semiconductor dia manana fepetra manokana momba ny votoatin'ny metaly alkali sy ny singa radioaktifa.
Ny hakitroky
Mba hampihenana ny porosity ao amin'ny lasibatra mafy sy hanatsarana ny fampisehoana ny sputtering sarimihetsika, avo hakitroky ny tanjona dia matetika takiana. Ny hakitroky ny kendrena dia tsy misy fiantraikany amin'ny tahan'ny sputtering ihany fa ny toetra elektrika sy optika amin'ny sarimihetsika ihany koa. Arakaraka ny haavon'ny hakitroky ny tanjona no tsara kokoa ny fampisehoana sarimihetsika. Fanampin'izany, ny fampitomboana ny hakitroky sy ny tanjaky ny kendrena dia mahatonga ny kendrena hahatohitra ny adin-tsaina mafana amin'ny fizotran'ny sputtering. Density koa dia iray amin'ireo mari-pamantarana manan-danja amin'ny tanjona.
Ny haben'ny voa sy ny fizarana ny haben'ny voa
Ny tanjona dia matetika polycrystalline miaraka amin'ny haben'ny voa manomboka amin'ny micrometer ka hatramin'ny milimetatra. Ho an'ny tanjona mitovy, ny tahan'ny sputtering amin'ny lasibatra kely dia haingana kokoa noho ny lasibatra misy voa lehibe. Ny fizarana ny hatevin'ny sarimihetsika napetraka amin'ny sputtering kendrena miaraka amin'ny fahasamihafan'ny voa madinika kokoa (fizarana fanamiana) dia mitovy kokoa.
Fotoana fandefasana: Aug-04-2022