Araka ny fantatsika rehetra, ny evaporation banga sy ny ion sputtering dia matetika ampiasaina amin'ny vacuum coating. Inona no maha samy hafa ny evaporation coating sy sputtering coating? Manaraka izany, hizara amintsika ny manampahaizana teknika avy amin’ny RSM.
Vacuum evaporation coating dia ny hanafanana ny fitaovana ho etona amin'ny mari-pana sasany amin'ny alalan'ny fanoherana fanafanana na electron taratra sy tamin'ny laser baomba ao amin'ny tontolo misy banga ambaratonga tsy latsaky ny 10-2Pa, ka ny mafana vibration angovo ny molekiola na Ny atôma ao amin'ny akora dia mihoatra ny angovo mamatotra ny ambonin'ny, ka maro ny molekiola na ataoma etona na sublimate, ary mivantana mitete amin'ny substrate ho. mamorona sarimihetsika. Ion sputtering coating dia mampiasa ny hafainganam-pandeha avo ny ion tsara vokatry ny entona entona eo ambanin'ny hetsiky ny herinaratra saha baomba ny lasibatra ho cathode, ka atôma na molekiola ao amin'ny lasibatra mandositra sy mitete amin'ny ambonin'ny workpiece voapetaka mba hamorona. ny sarimihetsika ilaina.
Ny fomba mahazatra indrindra amin'ny fanamainana ny vacuum evaporation dia ny fanoherana ny fanafanana, izay manana tombony amin'ny rafitra tsotra, ny vidiny ambany ary ny fiasa mety; Ny fatiantoka dia ny tsy mety amin'ny metaly refractory sy ny fitaovana dielectric avo lenta. Ny fanafanana taratra electron sy ny fanafanana tamin'ny laser dia afaka mandresy ny tsy fahampian'ny fanoherana fanafanana. Amin'ny fanafanana taratra elektronika, ny taratra elektronika mifantoka dia ampiasaina mba hanafanana mivantana ny fitaovana baomba, ary ny angovo kinetika ny taratra elektronika lasa angovo hafanana, izay mahatonga ny fitaovana etona. Ny fanafanana tamin'ny laser dia mampiasa laser avo lenta ho loharanom-panafana, saingy noho ny vidin'ny laser avo lenta dia azo ampiasaina amin'ny laboratoara fikarohana vitsivitsy amin'izao fotoana izao.
Ny teknolojia sputtering dia tsy mitovy amin'ny teknôlôjian'ny vacuum evaporation. Ny hoe "mipoitra" dia manondro ny trangan-javatra izay nanapoaka baomba ny velaran-tany mafy (kendrena) ny poti-javatra misy voampanga ary mamoaka atôma na molekiola matanjaka avy eny ambonin'ny tany. Ny ankabeazan'ny singa avoaka dia ao anatin'ny toetry ny atomika, izay matetika antsoina hoe atôma sputtered. Ny singa mipoitra ampiasaina amin'ny baomba ny lasibatra dia mety ho elektrôna, ion na singa tsy miandany. Satria ny ion dia mora manafaingana eo ambanin'ny sehatry ny herinaratra mba hahazoana ny angovo kinetika ilaina, ny ankamaroan'izy ireo dia mampiasa ny ion ho poti-boarana baomba. Ny fizotran'ny sputtering dia mifototra amin'ny fivoahan'ny hazavana, izany hoe, ny ion sputtering dia avy amin'ny fivoahana entona. Ny teknolojia sputtering samy hafa dia mampiasa fomba famotsorana hazavana samihafa. DC diode sputtering mampiasa DC glow discharge; Triode sputtering dia fivoahana mamiratra tohanan'ny cathode mafana; Ny RF sputtering dia mampiasa RF glow discharge; Magnetron sputtering dia fivoahan'ny hazavana fehezin'ny sahan'andriamby annular.
Raha oharina amin'ny vacuum evaporation coating, sputtering coating dia manana tombony maro. Ohatra, ny akora rehetra dia afaka mitsambikina, indrindra fa ny singa sy ny fitambarana manana teboka levona avo sy tsindry etona ambany; Ny adhesion eo amin'ny sarimihetsika sputtered sy ny substrate dia tsara; High density sarimihetsika; Ny hatevin'ny sarimihetsika dia azo fehezina ary ny famerenana dia tsara. Ny tsy fahampiana dia ny fitaovana dia sarotra ary mitaky fitaovana avo lenta.
Ankoatra izany, ny fitambaran'ny fomba etona sy ny sputtering fomba dia ion plating. Ny tombony amin'ity fomba ity dia ny fisian'ny sarimihetsika azo amin'ny alàlan'ny substrate, ny tahan'ny deposition avo ary ny hakitroky ny sarimihetsika.
Fotoana fandefasana: Jul-20-2022