Amin'izao fotoana izao, saika ny lasibatra varahina vita amin'ny metaly madio indrindra avo lenta takian'ny indostrian'ny IC dia ampihimamba amin'ny orinasam-pirenena vahiny maro. Ny lasibatra varahina ultrapure rehetra ilain'ny indostrian'ny IC ao an-toerana dia mila ampidirina, izay tsy lafo ihany, fa sarotra ihany koa amin'ny fomba fanafarana Noho izany, i Shina dia mila manatsara ny fampandrosoana sy ny fanamarinana ny lasibatra varahina avo indrindra (6N) varahina sputtering. . Andeha hojerentsika ny hevi-dehibe sy ny fahasahiranana amin'ny fampiroboroboana ny lasibatra fikorianan'ny varahina amin'ny fahadiovana avo indrindra (6N).
1、Fampandrosoana fitaovana amin'ny fahadiovana avo indrindra
Ny teknolojia fanadiovana ny metaly Cu, Al ary Ta any Shina dia lavitra ny any amin'ny firenena mandroso indostrialy. Amin'izao fotoana izao, ny ankamaroan'ny metaly madio indrindra azo omena dia tsy mahafeno ny fepetra takian'ny circuit integrated ho an'ny sputtering tanjona araka ny fomba famakafakana singa rehetra amin'ny indostria. Ny isan'ny fampidirana ao amin'ny lasibatra dia be loatra na tsy mitongilana. Matetika dia miforona eo amin'ny wafer ny poti-javatra mandritra ny fitsingerenan'ny andro, ka miteraka fikorontanana fohy na faritra misokatra amin'ny interconnect, izay misy fiantraikany lehibe amin'ny fampisehoana ny sarimihetsika.
2、Fampandrosoana ny varahina sputtering teknôlôjia fanomanana tanjona
Ny fampandrosoana ny teknolojia fanomanana kendrena varahina sputtering mifantoka indrindra amin'ny lafin-javatra telo: ny haben'ny voamadinika, orientation fanaraha-maso sy ny fanamiana. Ny indostrian'ny semiconductor dia manana ny fepetra takiana ambony indrindra amin'ny lasibatra sputtering sy ny etona akora manta. Izy io dia manana fepetra henjana ho an'ny fanaraha-maso ny haben'ny voamaina sy ny orientation kristaly ny tanjona. Tsy maintsy fehezina amin'ny 100 ny haben'ny voam-baryμ M eto ambany, noho izany, ny fanaraha-maso ny haben'ny voamaina sy ny fomba famakafakana ny fifandraisana ary ny fitadiavana dia tena zava-dehibe amin'ny fampandrosoana ny tanjona metaly.
3、Fampandrosoana ny fanadihadiana syfizahan-toetra TECHNOLOGY
Ny fahadiovana ambony amin'ny tanjona dia midika ny fampihenana ny loto. Taloha, ny plasma inductively coupled (ICP) sy ny spectrometry atômika absorption dia nampiasaina hamaritana ny loto, fa tato anatin'ny taona vitsivitsy, ny famakafakana ny kalitaon'ny hazavana (GDMS) miaraka amin'ny fahatsapana avo kokoa dia nampiasaina tsikelikely ho fenitra. FOMBA. Ny fomba fiasa RRR sisa tavela dia ampiasaina indrindra amin'ny famaritana ny fahadiovana elektrika. Ny fitsipiky ny fanapahan-kevitra dia ny fanombanana ny fahadiovan'ny metaly fototra amin'ny fandrefesana ny haavon'ny fiparitahan'ny loto elektronika. Satria ny fandrefesana ny fanoherana amin'ny mari-pana amin'ny efitrano sy ny mari-pana ambany dia mora ny maka ny isa. Tato anatin'ny taona vitsivitsy, mba hijerena ny maha-zava-dehibe ny metaly, dia tena mavitrika ny fikarohana momba ny fahadiovana ambony indrindra. Amin'ity tranga ity, ny sanda RRR no fomba tsara indrindra hanombanana ny fahadiovana.
Fotoana fandefasana: May-06-2022