Ny triatra amin'ny lasibatra sputtering dia matetika mitranga amin'ny lasibatra seramika sputtering toy ny oxides, carbide, nitride, ary fitaovana mora vaky toy ny chromium, antimony, bismuth. Avelao ny manam-pahaizana ara-teknika ao amin'ny RSM hanazava ny antony vaky ny kendrena sputtering sy ny fepetra fisorohana azo atao mba hisorohana izany toe-javatra izany.
Ny lasibatra vita amin'ny seramika na marefo dia misy adin-tsaina foana. Ireo adin-tsaina anatiny ireo dia ateraky ny dingan'ny famokarana kendrena. Ankoatr'izay, ireo adin-tsaina ireo dia tsy esorina tanteraka amin'ny alàlan'ny fizotran'ny annealing, satria toetra mampiavaka an'ireo fitaovana ireo. Ao amin'ny dingan'ny sputtering, ny daroka baomba amin'ny gazy ion dia mamindra ny heriny mankany amin'ireo atôma kendrena, manome azy ireo hery ampy hanasaraka azy ireo amin'ny makarakara. Ity fifindrana exothermic ity dia mampiakatra ny mari-pana kendrena, izay mety hahatratra 1000000 ℃ amin'ny ambaratonga atomika.
Mampitombo im-betsaka ny fihenjanana anatiny misy ao amin'ny kendrena ireo tohina mafana ireo. Amin'ity tranga ity, raha tsy miparitaka tsara ny hafanana, dia mety ho tapaka ilay tanjona. Mba tsy ho vaky ny kendrena dia tokony hamafisina ny fanaparitahana ny hafanana. Ilaina ny rafitra fampangatsiahana rano mba hanesorana ny angovo hafanana tsy ilaina amin'ny tanjona. Olana iray hafa tokony hodinihina ny fiakaran’ny fahefana. Ny hery be loatra ampiasaina ao anatin'ny fotoana fohy dia miteraka fahatafintohinana mafana amin'ny tanjona. Ankoatr'izay, manoro hevitra izahay ny hamatotra ireo tanjona ireo amin'ny backplane, izay tsy vitan'ny hoe manome fanohanana ho an'ny tanjona, fa mampiroborobo ny fifanakalozam-panafana tsara kokoa eo amin'ny kendrena sy ny rano. Raha misy triatra ny kendrena nefa mifatotra amin'ny takelaka aoriana, dia mbola azo ampiasaina.
Rich Special Materials Co., Ltd. dia afaka manome kendrena sputtering amin'ny backplane. Azo namboarina araka ny takian'ny mpanjifa ny fitaovana, ny hateviny ary ny karazana fatorana.
Fotoana fandefasana: Sep-21-2022