Araka ny fantatsika rehetra, ny fivoaran'ny teknolojia fitaovana kendrena dia mifandray akaiky amin'ny fivoaran'ny teknolojia sarimihetsika amin'ny indostrian'ny fampiharana ambany. Miaraka amin'ny fanatsarana ny teknolojian'ny vokatra sarimihetsika na singa ao amin'ny indostrian'ny fampiharana, tokony hiova koa ny teknolojia kendrena. Ohatra, ny mpanamboatra Ic vao haingana dia nifantoka tamin'ny fampandrosoana ny tariby varahina resistivity ambany, izay antenaina hisolo tena ny sarimihetsika aluminium tany am-boalohany ao anatin'ny taona vitsivitsy, noho izany dia ho maika ny fampandrosoana ny kendrena varahina sy ny tanjona sakana.
Ho fanampin'izany, tato anatin'ny taona vitsivitsy, ny fampirantiana takelaka fisaka (FPD) dia nisolo ny ankamaroan'ny fantsom-pahitalavitra cathode-ray (CRT) -fampisehoana solosaina sy tsenan'ny fahitalavitra. Hampitombo be ihany koa ny fitakiana ara-teknika sy tsena ho an'ny tanjona ITO. Ary avy eo ny teknolojia fitahirizana. Tsy mitsaha-mitombo ny fangatahana kapila mafy avo lenta sy lehibe ary kapila azo esorina avo lenta. Izany rehetra izany dia nitarika fiovana amin'ny fitakiana fitaovana kendrena amin'ny indostrian'ny fampiharana. Amin'ity manaraka ity dia hampiditra ny sehatra fampiharana fototra amin'ny tanjona sy ny fironana fampandrosoana ny tanjona amin'ireo sehatra ireo.
1. Microelectronics
Amin'ny indostrian'ny fampiharana rehetra, ny indostrian'ny semiconductor dia manana fepetra henjana indrindra ho an'ny sarimihetsika sputtering kendrena. Ny wafers silikon amin'ny 12 inch (300 epistaxis) dia efa namboarina ankehitriny. Mihena ny sakan'ny fifandraisana. Ny fepetra takian'ny mpanamboatra wafer silisiôma ho an'ny fitaovana kendrena dia lehibe, fahadiovana avo, fanavahana ambany ary voamaina tsara, izay mitaky ny fitaovana kendrena hanana microstructure tsara kokoa. Ny savaivony potipotika kristaly sy ny fitovian'ny fitaovana kendrena dia noheverina ho anton-javatra lehibe misy fiantraikany amin'ny tahan'ny fametrahana sarimihetsika.
Raha oharina amin'ny aluminium, varahina manana electromobility fanoherana avo kokoa sy ambany resistivity, izay afaka mahafeno ny fepetra takiana amin'ny conductor teknolojia ao amin'ny submicron wiring ambany 0.25um, fa mitondra olana hafa: ambany adhesion hery eo amin'ny varahina sy organika fitaovana antonony. Ankoatra izany, dia mora ny mamaly, izay mitarika ho amin'ny harafesiny ny varahina interconnect sy ny faritra tapaka nandritra ny fampiasana ny chip. Mba hamahana ity olana ity, dia tokony hapetraka eo anelanelan'ny varahina sy ny dielectric sosona sakana.
Ny fitaovana kendrena ampiasaina amin'ny sakana sosona amin'ny interconnection varahina dia ahitana Ta, W, TaSi, WSi, sns Fa Ta sy W dia refractory metaly. Sarotra ny manamboatra azy io, ary ny alloys toy ny molybdène sy chromium dia ianarana ho fitaovana hafa.
2. Ho an'ny fampisehoana
Ny fampiratiana takelaka fisaka (FPD) dia nisy fiantraikany be tamin'ny fantsom-pahitalavitra cathode-ray (CRT) mifototra amin'ny solosaina sy ny tsenan'ny fahitalavitra nandritra ny taona maro, ary hitondra ny teknolojia sy ny tsenan'ny fitakiana fitaovana kendrena ITO. Misy karazany roa ny tanjona ITO ankehitriny. Ny iray dia ny fampiasana ny fanjakana nanometer ny indium oxide sy ny vovoka oxide tin aorian'ny sintering, ny iray hafa dia ny fampiasana kendrena indium tin firaka. Ny sarimihetsika ITO dia azo amboarina amin'ny alàlan'ny DC reactive sputtering amin'ny kendrena firaka indium-tin, fa ny tampon'ny kendrena dia hanimba sy hisy fiantraikany amin'ny tahan'ny sputtering, ary sarotra ny mahazo kendrena firaka lehibe.
Amin'izao fotoana izao, ny fomba voalohany amin'ny ankapobeny dia raisina amin'ny famokarana ITO kendrena fitaovana, izay sputtering coating amin'ny magnetron sputtering fanehoan-kevitra. Manana tahan'ny fametrahana haingana izy io. Ny hatevin'ny sarimihetsika dia azo fehezina tsara, ny conductivity dia avo, ny tsy fitoviana amin'ny sarimihetsika dia tsara, ary ny adhesion ny substrate dia matanjaka. Fa ny fitaovana kendrena dia sarotra ny manao, satria indium oxide sy tin oxide tsy mora sintered miaraka. Amin'ny ankapobeny, ZrO2, Bi2O3 ary CeO no voafantina ho sintering additives, ary ny fitaovana kendrena amin'ny hakitroky ny 93% ~ 98% ny sanda ara-teorika azo azo. Ny fampisehoana ny sarimihetsika ITO miforona amin'izany fomba izany dia manana fifandraisana lehibe amin'ny additives.
Ny fanoherana ny fanakanana ny sarimihetsika ITO azo amin'ny fampiasana fitaovana kendrena toy izany dia mahatratra 8.1 × 10n-cm, izay manakaiky ny fanoherana ny sarimihetsika ITO madio. Ny haben'ny FPD sy ny fitaratra conductive dia tena lehibe, ary ny sakan'ny fitaratra conductive mety hahatratra 3133mm. Mba hanatsarana ny fampiasana ny fitaovana kendrena, dia novolavolaina ireo fitaovana kendrena ITO manana endrika samihafa, toy ny endrika cylindrical. Tamin'ny taona 2000, ny Vaomieram-pirenena momba ny drafitry ny Fampandrosoana sy ny Minisiteran'ny Siansa sy ny Teknolojia dia nampidirin'ny ITO tanjona lehibe ao amin'ny Torolàlana ho an'ny sehatra manan-danja amin'ny indostrian'ny fampahalalam-baovao izay laharam-pahamehana ho an'ny fampandrosoana ankehitriny.
3. Fampiasana fitahirizana
Amin'ny lafiny teknolojia fitahirizana, ny fampivoarana ny kapila mafy avo lenta sy lehibe dia mitaky fitaovana sarimihetsika goavam-be. Ny sarimihetsika CoF~Cu multilayer composite dia firafitry ny sarimihetsika goavam-be tsy mety. Ny fitaovana kendrena TbFeCo firaka ilaina amin'ny kapila magnetika dia mbola eo amin'ny fivoarana bebe kokoa. Ny kapila magnetika amboarina amin'ny TbFeCo dia manana ny toetran'ny fahafaha-mitahiry lehibe, ny fiainana maharitra ary ny famafana tsy misy fifandraisana miverimberina.
Antimony germanium telluride based phase change memory (PCM) dia nampiseho taim-bidy ara-barotra lehibe, lasa ampahany NOR flash memory ary ny tsena DRAM ho teknolojia fitahirizana hafa, na izany aza, amin'ny fampiharana dia mihena haingana ny iray amin'ireo fanamby amin'ny lalana misy ny tsy fahampian'ny famerenana. ny famokarana amin'izao fotoana izao dia azo ampidinina bebe kokoa ny vondrona voaisy tombo-kase tanteraka. Ny fampihenana ny reset dia mampihena ny fanjifana herinaratra fitadidiana, manitatra ny androm-piainan'ny bateria, ary manatsara ny fatran'ny data, ireo endri-javatra manan-danja rehetra amin'ny fitaovana mpanjifa miompana amin'ny angona ankehitriny.
Fotoana fandefasana: Aug-09-2022