Ny mpanolo-tsaina ara-teknika an'ny RSM dia hizara aminao ny tombony amin'ny lasibatra cylindrical sy planar magnetron sputtering? Raha oharina amin'ny hafa magnetron sputtering lasibatra, cylindrical sy planar magnetron sputtering lasibatra mitana ny tombony tsara coating uniformity ny mahitsizoro planar kendrena, ary afaka hampitombo ny fampiasana ny tanjona amin'ny alalan'ny fomba roa manaraka ireto:
(1) Rehefa ny vondrona roa (efatra) annular lavaka eo ambonin'ny lasibatra mahatratra ny halalin'ny sasany, ny kendrena fototra (andriamby ampahany) azo ahodina 45 ° mifandray amin'ny kendrena fantsona, ka faritra hafa amin'ny kendrena fantsona. izay tsy misy harafesina dia azo ampiasaina;
(2) Raha ny kendrena fototra amin'ny cylindrical sy planar magnetron sputtering kendrena dia natao ho toy ny mihodinkodina lasibatra fototra (ny tanjona kendrena dia mihodina mandritra ny sputtering), ny ambonin'ny lasibatra azo mitovy sputtered eny sosona amin'ny sosona tsy misy lavaka. Amin'izao fotoana izao, ny tanjona dia hampiasaina amin'ny fomba mahomby indrindra, ary ny tahan'ny fampiasana ny tanjona dia mety hahatratra 50% ~ 60% Rehefa metaly sarobidy ny fitaovana kendrena, dia mazava ho azy fa misy dikany lehibe izany.
Amin'ny fampiasana ny fitsipiky ny andriamby amin'ny tsato-kazo kiraro amin'ny coaxial cylindrical magnetron sputtering kendrena mba hamahana ny olana amin'ny farany andriamby saha, ny mahitsizoro fiaramanidina kendrena azo ovaina ho cylindrical sy planar magnetron sputtering kendrena, Ny kendrena dia afaka mampitombo ny fampiasana ny tahan'ny ny tanjona. raha mitazona ny fitovian'ny coating tsara amin'ny kendrena fiaramanidina mahitsizoro Mba hanatsarana ny tombontsoa ara-toekarena.
Fotoana fandefasana: Jul-04-2022