Plānā plēve uz pārklātā mērķa ir īpaša materiāla forma. Konkrētajā biezuma virzienā skala ir ļoti maza, kas ir mikroskopiski izmērāms daudzums. Turklāt plēves biezuma izskata un saskarnes dēļ materiāla nepārtrauktība tiek pārtraukta, tāpēc filmas datiem un mērķa datiem ir atšķirīgas kopīgas īpašības. Un mērķis galvenokārt ir magnetrona izsmidzināšanas pārklājuma izmantošana, Pekinas Richmat redaktors ļaus mums saprast. izsmidzināšanas pārklāšanas princips un prasmes.
一、Izsmidzināšanas pārklājuma princips
Izsmidzināšanas pārklāšanas prasme ir izmantot jonu apvalku mērķa izskatu, mērķa atomi tiek izvadīti no parādības, kas pazīstama kā izsmidzināšana. Uz substrāta virsmas nogulsnētos atomus sauc par izsmidzināšanas pārklājumu. Parasti gāzes jonizāciju rada gāzizlāde, un pozitīvie joni elektriskā lauka iedarbībā lielā ātrumā bombardē katoda mērķi, izsitot ārā atomus vai molekulas. katoda mērķi un lido uz substrāta virsmu, lai to uzklātu plēvē. Vienkārši runājot, izsmidzināšanas pārklājumā tiek izmantota zema spiediena inerta gāze kvēlojošā izlāde, lai radītu jonus.
Parasti izsmidzināšanas plēves pārklājuma iekārta ir aprīkota ar diviem elektrodiem vakuuma izlādes kamerā, un katoda mērķis sastāv no pārklājuma datiem. Vakuuma kamera ir piepildīta ar argona gāzi ar spiedienu 0,1–10 Pa. Kvēlizlāde notiek pie katoda zem negatīva augsta sprieguma 1–3 kV līdzstrāvas vai RF sprieguma 13,56 MHz iedarbībā. Argona joni bombardē mērķa virsmu un izraisa izsmidzināto mērķa atomu uzkrāšanos uz pamatnes.
二、Izsmidzināšanas pārklāšanas prasmju raksturojums
1, ātrs kraušanas ātrums
Atšķirība starp ātrgaitas magnetrona izsmidzināšanas elektrodu un tradicionālo divpakāpju izsmidzināšanas elektrodu ir tāda, ka magnēts ir novietots zem mērķa, tāpēc slēgts nevienmērīgs magnētiskais lauks rodas uz mērķa virsmas. Lorenca spēks uz elektroniem ir vērsts uz centru. no neviendabīgā magnētiskā lauka. Fokusēšanas efekta dēļ elektroni izplūst mazāk. Neviendabīgais magnētiskais lauks iet apkārt mērķa virsmai, un sekundārie elektroni, kas notverti neviendabīgajā magnētiskajā laukā, atkārtoti saduras ar gāzes molekulām, kas uzlabo gāzes molekulu augsto konversijas ātrumu. Līdz ar to ātrgaitas magnetronu izsmidzināšana patērē zemu jaudu, bet var iegūt lielu pārklājuma efektivitāti ar ideālām izlādes īpašībām.
2, substrāta temperatūra ir zema
Ātrgaitas magnetrona izsmidzināšana, kas pazīstama arī kā zemas temperatūras izsmidzināšana. Iemesls ir tāds, ka ierīce izmanto izlādes elektromagnētisko lauku telpā, kas ir tieši viens pret otru. Sekundārie elektroni, kas rodas mērķa ārpusē, viens otrā. Taisna elektromagnētiskā lauka iedarbībā tas ir piesaistīts mērķa virsmai un pārvietojas pa skrejceļu pa apļveida ripojošu līniju, atkārtoti atsitoties pret gāzes molekulām, lai jonizētu gāzes molekulas. Kopā paši elektroni pakāpeniski zaudē savu enerģiju, cauri atkārtoti izciļņi, līdz to enerģija ir gandrīz pilnībā zaudēta, pirms tie var izkļūt no mērķa virsmas substrāta tuvumā. Tā kā elektronu enerģija ir tik zema, mērķa temperatūra nepaaugstinās pārāk augstu. Tas ir pietiekami, lai neitralizētu substrāta temperatūras paaugstināšanos, ko izraisa lielas enerģijas elektronu bombardēšana ar parastu diodes šāvienu, kas pabeidz kriogenizāciju.
3 、 Plašs membrānas struktūru klāsts
Vakuuma iztvaicēšanas un injekcijas nogulsnēšanas rezultātā iegūto plānu kārtiņu struktūra diezgan atšķiras no tās, kas iegūta, atšķaidot beztaras cietās vielas. Atšķirībā no parasti esošajām cietajām vielām, kuras klasificē kā būtībā vienādas struktūras trīs dimensijās, gāzes fāzē nogulsnētās plēves tiek klasificētas kā neviendabīgas struktūras. Plānās kārtiņas ir kolonnveida, un tās var izmeklēt ar skenējošu elektronu mikroskopiju. Plēves kolonnveida augšanu izraisa pamatnes sākotnējā izliektā virsma un dažas ēnas pamatnes redzamajās daļās. Tomēr kolonnas forma un izmērs ir diezgan atšķirīgi substrāta temperatūras, sakrauto atomu virsmas izkliedes, piemaisījumu atomu apbedīšanas un krītošo atomu leņķa dēļ attiecībā pret substrāta virsmu. Pārmērīgā temperatūras diapazonā plānajai plēvei ir šķiedraina struktūra, augsts blīvums, kas sastāv no smalkiem kolonnu kristāliem, kas ir unikālā izsmidzināšanas plēves struktūra.
Izsmidzināšanas spiediens un plēves sakraušanas ātrums ietekmē arī plēves struktūru. Tā kā gāzes molekulām ir ietekme, kas nomāc atomu izkliedi uz substrāta virsmas, augsta izsmidzināšanas spiediena ietekme ir piemērota substrāta temperatūras kritumam modelī. Tāpēc ar augstu izsmidzināšanas spiedienu var iegūt porainas plēves, kas satur smalkus graudus. Šī mazo graudu izmēra plēve ir piemērota eļļošanai, nodilumizturībai, virsmas sacietēšanai un citiem mehāniskiem lietojumiem.
4. Sakārtojiet kompozīciju vienmērīgi
Savienojumi, maisījumi, sakausējumi utt., kurus ir pietiekami grūti pārklāt ar vakuuma iztvaicēšanu, jo komponentu tvaika spiediens ir atšķirīgs vai tie atšķiras karsējot. Izsmidzināšanas pārklāšanas metode ir izveidot atomu mērķa virsmas slāni slāni pa slānim uz substrāta, šajā ziņā ir vairāk ideāls filmu veidošanas prasmes. Rūpniecisko pārklājumu ražošanā var izmantot visu veidu materiālus, izsmidzinot.
Publicēšanas laiks: 29.04.2022