Tagad mums ir ļoti labi jāpārzina mērķis, tagad arī mērķa tirgus palielinās, tālāk ir norādīts, kāds ir galvenais izsmidzināšanas mērķa veiktspēja, ar kuru dalās redaktors no RSM
Tīrība
Mērķa materiāla tīrība ir viens no galvenajiem veiktspējas rādītājiem, jo mērķa materiāla tīrībai ir liela ietekme uz plānās kārtiņas veiktspēju. Tomēr praktiskā pielietojumā mērķa materiālu tīrības prasības nav vienādas. Piemēram, strauji attīstoties mikroelektronikas nozarei, silīcija mikroshēmas izmērs ir attīstījies no 6", 8 "līdz 12", un elektroinstalācijas platums ir samazināts no 0,5 um līdz 0,25 um, 0,18 um vai pat 0,13 um. Iepriekš 99,995% mērķa materiāla tīrība var atbilst procesa prasībām 0,35 umIC. Mērķa materiāla tīrība ir 99,999% vai pat 99,9999% 0,18um līniju sagatavošanai.
Piemaisījumu saturs
Mērķa cietās vielas piemaisījumi un porās esošais skābeklis un ūdens tvaiki ir galvenie plēves nogulsnēšanās piesārņojuma avoti. Mērķa materiāliem dažādiem mērķiem ir atšķirīgas prasības attiecībā uz dažādu piemaisījumu saturu. Piemēram, tīra alumīnija un alumīnija sakausējuma mērķiem, ko izmanto pusvadītāju rūpniecībā, ir īpašas prasības attiecībā uz sārmu metālu un radioaktīvo elementu saturu.
Blīvums
Lai samazinātu porainību mērķa cietajā vielā un uzlabotu izsmidzināšanas plēves veiktspēju, parasti ir nepieciešams augsts mērķa blīvums. Mērķa blīvums ietekmē ne tikai izsmidzināšanas ātrumu, bet arī plēves elektriskās un optiskās īpašības. Jo lielāks mērķa blīvums, jo labāka ir filmas veiktspēja. Turklāt mērķa blīvuma un izturības palielināšana ļauj mērķim labāk izturēt termisko spriegumu izsmidzināšanas procesā. Blīvums ir arī viens no galvenajiem mērķa veiktspējas rādītājiem.
Graudu lielums un graudu lieluma sadalījums
Mērķis parasti ir polikristālisks ar graudu izmēru no mikrometra līdz milimetram. Tam pašam mērķim mērķa ar maziem graudiem izsmidzināšanas ātrums ir ātrāks nekā mērķa ar lieliem graudiem. Ar izsmidzināšanas mērķi uzklāto plēvju biezuma sadalījums ar mazāku graudu izmēra atšķirību (vienmērīgs sadalījums) ir vienmērīgāks.
Izlikšanas laiks: Aug-04-2022