Izsmidzinātie molibdēna mērķi ir plaši izmantoti elektronikas rūpniecībā, saules baterijās, stikla pārklājumos un citās jomās to raksturīgo priekšrocību dēļ. Strauji attīstoties modernajām tehnoloģijām miniaturizācijas, integrācijas, digitalizācijas un izlūkošanas jomā, molibdēna mērķu izmantošana turpinās pieaugt, un arī kvalitātes prasības tiem kļūs arvien augstākas. Tāpēc mums ir jāatrod veidi, kā uzlabot molibdēna mērķu izmantošanas līmeni. Tagad RSM redaktors ieviesīs vairākas metodes, lai uzlabotu izsmidzināšanas molibdēna mērķu izmantošanas līmeni ikvienam
1. Pievienojiet elektromagnētisko spoli otrā pusē
Lai uzlabotu izsmidzinātā molibdēna mērķa izmantošanas līmeni, planārā Magnetrona izsmidzināšanas molibdēna mērķa aizmugurē var pievienot elektromagnētisko spoli, un magnētisko lauku uz molibdēna mērķa virsmas var palielināt, palielinot strāvas stiprumu. elektromagnētiskā spole, lai uzlabotu molibdēna mērķa izmantošanas līmeni.
2. Izvēlieties cauruļveida rotējošu mērķa materiālu
Salīdzinot ar plakaniem mērķiem, cauruļveida rotējošas mērķa struktūras izvēle izceļ tās būtiskās priekšrocības. Parasti plakano mērķu izmantošanas līmenis ir tikai 30% līdz 50%, savukārt cauruļveida rotējošo mērķu izmantošanas līmenis var sasniegt vairāk nekā 80%. Turklāt, izmantojot rotējošo dobo cauruli Magnetron izsmidzināšanas mērķi, jo mērķis var visu laiku griezties ap fiksēto stieņa magnētu komplektu, uz tā virsmas nenotiks atkārtota nogulsnēšanās, tāpēc rotējošā mērķa kalpošanas laiks parasti ir vairāk nekā 5 reizes ilgāks. nekā lidmašīnas mērķim.
3. Nomainiet pret jaunu izsmidzināšanas iekārtu
Galvenais, lai uzlabotu mērķa materiālu izmantošanas līmeni, ir pabeigt izsmidzināšanas iekārtu nomaiņu. Molibdēna izsmidzināšanas mērķa materiāla izsmidzināšanas procesā aptuveni viena sestā daļa izsmidzināšanas atomu pēc ūdeņraža jonu trieciena nogulsnējas uz vakuuma kameras sienas vai kronšteina, tādējādi palielinot vakuuma iekārtu tīrīšanas izmaksas un dīkstāves laiku. Tātad jaunu izsmidzināšanas iekārtu nomaiņa var arī palīdzēt uzlabot izsmidzināšanas molibdēna mērķu izmantošanas līmeni.
Izlikšanas laiks: 2023. gada 24. maijs