Pēdējos gados, attīstoties integrālo shēmu (IC) tehnoloģijai, ar to saistītās integrālo shēmu lietojumprogrammas ir strauji attīstītas. Īpaši augstas tīrības pakāpes alumīnija sakausējuma izsmidzināšanas mērķis kā palīgmateriāls integrālo shēmu metāla starpsavienojumu ražošanā ir kļuvis par aktuālu tēmu jaunākajos pašmāju pētījumos. RSM redaktors parādīs augstas tīrības alumīnija sakausējuma izsmidzināšanas mērķa īpašības.
Lai vēl vairāk uzlabotu magnetronu izsmidzināšanas mērķa izsmidzināšanas efektivitāti un nodrošinātu nogulsnēto plēvju kvalitāti, liels skaits eksperimentu liecina, ka ir noteiktas prasības attiecībā uz īpaši augstas tīrības pakāpes alumīnija sakausējuma izsmidzināšanas mērķa sastāvu, mikrostruktūru un graudu orientāciju.
Mērķa graudu lielumam un graudu orientācijai ir liela ietekme uz IC plēvju sagatavošanu un īpašībām. Rezultāti liecina, ka nogulsnēšanās ātrums samazinās, palielinoties graudu izmēram; Izsmidzināšanas mērķim ar tādu pašu sastāvu izsmidzināšanas ātrums mērķim ar mazu graudu izmēru ir ātrāks nekā mērķim ar lielu graudu izmēru; Jo vienmērīgāks ir mērķa graudu izmērs, jo vienmērīgāks ir nogulsnēto plēvju biezuma sadalījums.
Saskaņā ar tiem pašiem izsmidzināšanas instrumentiem un procesa parametriem Al Cu sakausējuma mērķa izsmidzināšanas ātrums palielinās, palielinoties atomu blīvumam, taču tas parasti ir stabils diapazonā. Graudu izmēra ietekme uz izsmidzināšanas ātrumu ir saistīta ar atomu blīvuma izmaiņām, mainoties graudu izmēram; Nogulsnēšanās ātrumu galvenokārt ietekmē Al Cu sakausējuma mērķa graudu orientācija. Pamatojoties uz (200) kristāla plakņu īpatsvara nodrošināšanu, (111), (220) un (311) kristāla plakņu īpatsvara palielināšana palielinās nogulsnēšanās ātrumu.
Īpaši augstas tīrības pakāpes alumīnija sakausējuma mērķu graudu izmērs un graudu orientācija galvenokārt tiek regulēta un kontrolēta ar lietņu homogenizāciju, karsto apstrādi un pārkristalizācijas atkausēšanu. Palielinoties vafeļu izmēram līdz 20,32 cm (8 collas) un 30,48 cm (12 collas), palielinās arī mērķa izmērs, kas izvirza augstākas prasības īpaši augstas tīrības alumīnija sakausējuma izsmidzināšanas mērķiem. Lai nodrošinātu plēves kvalitāti un ražu, ir stingri jākontrolē mērķa apstrādes parametri, lai mērķa mikrostruktūra būtu viendabīga un graudu orientācijai jābūt ar spēcīgām (200) un (220) plakanām tekstūrām.
Publicēšanas laiks: 30. jūnijs 2022