Puslaidininkių pramonė dažnai mato tikslinių medžiagų terminą, kurį galima suskirstyti į plokštelines medžiagas ir pakavimo medžiagas. Pakavimo medžiagos turi palyginti mažas technines kliūtis, palyginti su plokštelių gamybos medžiagomis. Plokščių gamybos procesas daugiausia apima 7 rūšių puslaidininkines medžiagas ir chemines medžiagas, įskaitant vieno tipo purškiamą tikslinę medžiagą. Taigi, kas yra tikslinė medžiaga? Kodėl tikslinė medžiaga tokia svarbi? Šiandien mes kalbėsime apie tai, kas yra tikslinė medžiaga!
Kokia yra tikslinė medžiaga?
Paprasčiau tariant, tikslinė medžiaga yra tikslinė medžiaga, bombarduojama dideliu greičiu įkrautų dalelių. Pakeitus skirtingas tikslines medžiagas (pvz., aliuminio, vario, nerūdijančio plieno, titano, nikelio taikinius ir kt.), galima gauti skirtingas plėvelių sistemas (pavyzdžiui, ypač kietas, atsparias dilimui, antikorozinio lydinio plėveles ir kt.).
Šiuo metu (grynumo) purškimo tikslinės medžiagos gali būti suskirstytos į:
1) Metaliniai taikiniai (grynas metalinis aliuminis, titanas, varis, tantalas ir kt.)
2) Lydinio taikiniai (nikelio chromo lydinys, nikelio kobalto lydinys ir kt.)
3) Keraminių junginių taikiniai (oksidai, silicidai, karbidai, sulfidai ir kt.).
Pagal skirtingus jungiklius jį galima suskirstyti į: ilgą taikinį, kvadratinį taikinį ir apskritą taikinį.
Pagal skirtingas taikymo sritis jis gali būti suskirstytas į: puslaidininkių lustų taikinius, plokščiojo ekrano taikinius, saulės elementų taikinius, informacijos saugojimo taikinius, modifikuotus taikinius, elektroninių įrenginių taikinius ir kitus taikinius.
Žvelgdami į tai, turėtumėte suprasti didelio grynumo purškiamuosius taikinius, taip pat aliuminį, titaną, varį ir tantalą, naudojamą metaliniuose taikiniuose. Puslaidininkinių plokštelių gamyboje aliuminio procesas paprastai yra pagrindinis 200 mm (8 colių) ir mažesnių plokštelių gamybos būdas, o pagrindinės medžiagos yra aliuminio ir titano elementai. 300 mm (12 colių) plokštelių gamyba, dažniausiai naudojant pažangią vario sujungimo technologiją, daugiausia naudojant varinius ir tantalo taikinius.
Kiekvienas turėtų suprasti, kokia yra tikslinė medžiaga. Apskritai, didėjant lustų pritaikymo spektrui ir didėjant lustų rinkos paklausai, neabejotinai padidės keturių pagrindinių plonasluoksnių metalo medžiagų, ty aliuminio, titano, tantalo ir vario, paklausa pramonėje. Ir šiuo metu nėra kito sprendimo, kuris galėtų pakeisti šias keturias plonasluoksnes metalines medžiagas.
Paskelbimo laikas: 2023-06-06