Dabar vis daugiau vartotojų supranta taikinių tipus irjos taikymo sritis, tačiau jos skirstymas gali būti nelabai aiškus. Dabar tegulRSM inžinierius pasidalinti su jumistam tikra indukcija magnetrono purslų taikinių.
Purškimo taikinys: metalo purškimo dangos taikinys, lydinio purškimo dangos taikinys, keraminės purškimo dangos taikinys, borido keramikos purškimo taikinys, karbido keramikos purškimo taikinys, fluoro keramikos purškimo taikinys, nitrido keramikos purškimo taikinys, nitrido keramikos purškimo taikinys, selekcinio keraminio purškimo taikinio keraminis purškimo taikinys, sulfidinis keramikinis purškimo taikinys, telurido keramikos purškimo taikinys, kiti keraminiai taikiniai, chromu legiruotas silicio oksido keraminis taikinys (CR SiO), indžio fosfido taikinys (INP), švino arsenido taikinys (pbas), indžio arsenido taikinys (InAs).
Magnetroninis purškimas paprastai skirstomas į du tipus: nuolatinės srovės ir RF dulkinimą. Nuolatinės srovės purškimo įrangos principas yra paprastas, o jo greitis taip pat yra greitas purškiant metalą. RF purškimas yra plačiai naudojamas. Be laidžių duomenų išpurškimo, jis taip pat gali išpurkšti nelaidžius duomenis. Purškimo taikinys taip pat gali būti naudojamas reaktyviam purškimui, norint paruošti junginių duomenis, tokius kaip oksidai, nitridai ir karbidai. Jei RF dažnis padidės, jis taps mikrobangų plazmos purškimu. Šiuo metu dažniausiai naudojamas elektronų ciklotrono rezonanso (ECR) mikrobangų plazminis dulkinimas.
Paskelbimo laikas: 2022-05-26