Didėjant rinkos paklausai, nuolat atnaujinama vis daugiau purškimo taikinių tipų. Kai kurie yra pažįstami, o kai kurie – nepažįstami klientams. Dabar norėtume pasidalinti su jumis, kokie yra magnetroninių purškimo taikinių tipai.
Purškimo taikiniai yra šių tipų: metalo purškimo dangos taikinys, lydinio purškimo dangos taikinys, keraminis purškimo taikinys, borido keramikos purškimo taikinys, karbido keramikos purškimo taikinys, fluoro keramikos purškimo taikinys, nitrido keramikos purškimo taikinys, keraminis purškimo taikinys , silicido keramikos purškimo taikinys, sulfido keramikos purškimo taikinys, telurido keramikos purškimo taikinys, kiti keraminiai taikiniai, chromu legiruotas silicio oksido keraminis taikinys (CR SiO), indžio fosfido taikinys (INP), švino arsenido taikinys (pbas), indžio arsenido taikinys (InAs) .
Magnetroninis purškimas paprastai skirstomas į du tipus: nuolatinės srovės ir RF dulkinimą. Nuolatinės srovės purškimo įrangos principas yra paprastas, o jo greitis taip pat yra greitas purškiant metalą. RF purškimas yra plačiai naudojamas. Be laidžių duomenų išpurškimo, jis taip pat gali išpurkšti nelaidžius duomenis. Tuo pačiu metu purškimo taikinys taip pat atlieka reaktyvųjį purškimą, kad paruoštų junginių duomenis, tokius kaip oksidai, nitridai ir karbidai. Jei RF dažnis padidės, jis taps mikrobangų plazmos purškimu. Šiuo metu dažniausiai naudojamas elektronų ciklotrono rezonanso (ECR) mikrobangų plazminis dulkinimas.
Paskelbimo laikas: 2022-05-18