Taikinys turi daug funkcijų ir platų pritaikymą daugelyje sričių. Naujoje purškimo įrangoje beveik naudojami galingi magnetai elektronams sukti spirale, kad paspartintų argono jonizaciją aplink taikinį, o tai padidina taikinio ir argono jonų susidūrimo tikimybę.
Padidinkite purškimo greitį. Paprastai nuolatinės srovės purškimas naudojamas metalui padengti, o RF ryšio purškimas naudojamas nelaidžioms keraminėms magnetinėms medžiagoms. Pagrindinis principas yra naudoti švytėjimo išlydį, kad vakuume pataikytumėte į argono (AR) jonus ant taikinio paviršiaus, o plazmoje esantys katijonai paspartės, kad nutekėtų į neigiamą elektrodo paviršių kaip aptaškyta medžiaga. Dėl šio smūgio taikinio medžiaga išskris ir nusėda ant pagrindo, kad susidarytų plėvelė.
Apskritai, yra keletas plėvelės dengimo ypatybių, naudojant purškimo procesą:
(1) Iš metalo, lydinio ar izoliatoriaus galima pagaminti plonos plėvelės duomenis.
(2) Esant tinkamoms nustatymo sąlygoms, tokios pat sudėties plėvelė gali būti pagaminta iš kelių netvarkingų taikinių.
(3) Tikslinės medžiagos ir dujų molekulių mišinys arba junginys gali būti sudarytas į išleidimo atmosferą pridedant deguonies ar kitų aktyvių dujų.
(4) Galima valdyti tikslinę įvesties srovę ir purškimo laiką, todėl lengva gauti didelio tikslumo plėvelės storį.
(5) Tai naudinga kuriant kitus filmus.
(6) Purškiamos dalelės sunkiai veikiamos gravitacijos, o taikinys ir substratas gali būti laisvai išdėstyti.
Paskelbimo laikas: 2022-05-24