Duomenų saugojimo pramonėje naudojama tikslinė medžiaga reikalauja didelio grynumo, o priemaišų ir porų kiekis turi būti sumažintas, kad būtų išvengta priemaišų dalelių susidarymo purškiant. Aukštos kokybės gaminiams naudojama tikslinė medžiaga reikalauja, kad jos kristalų dalelių dydis būtų mažas ir vienodas, be kristalų orientacijos. Žemiau pažvelkime į optinės saugojimo pramonės reikalavimus tikslinei medžiagai?
1. Grynumas
Praktikoje tikslinių medžiagų grynumas skiriasi priklausomai nuo pramonės šakų ir reikalavimų. Tačiau apskritai kuo aukštesnis tikslinės medžiagos grynumas, tuo geresnis purškiamos plėvelės veikimas. Pavyzdžiui, optinių laikmenų pramonėje reikalaujama, kad tikslinės medžiagos grynumas būtų didesnis nei 3N5 arba 4N.
2. Priemaišų kiekis
Tikslinė medžiaga yra katodo šaltinis purškiant, o kietosios medžiagos priemaišos ir deguonis bei vandens garai porose yra pagrindiniai taršos šaltiniai nusodinant plonas plėveles. Be to, skirtingiems tikslams taikomi specialūs reikalavimai. Kaip pavyzdį imant optinių duomenų saugojimo pramonę, priemaišų kiekis purškiamuosiuose objektuose turi būti kontroliuojamas labai mažai, kad būtų užtikrinta dangos kokybė.
3. Grūdelių dydis ir dydžio pasiskirstymas
Paprastai tikslinė medžiaga turi polikristalinę struktūrą, o grūdelių dydis svyruoja nuo mikrometrų iki milimetrų. Tos pačios sudėties taikiniams smulkiagrūdžių taikinių purškimo greitis yra didesnis nei stambiagrūdžių taikinių. Taikiniams, kurių grūdelių dydžio skirtumai mažesni, nusodintos plėvelės storis taip pat bus vienodesnis.
4. Kompaktiškumas
Norint sumažinti kietos tikslinės medžiagos poringumą ir pagerinti plėvelės veikimą, paprastai reikalaujama, kad purškiamos tikslinės medžiagos tankis būtų didelis. Tikslinės medžiagos tankis daugiausia priklauso nuo paruošimo proceso. Tikslinė medžiaga, pagaminta lydymo ir liejimo būdu, gali užtikrinti, kad tikslinės medžiagos viduje nėra porų, o tankis yra labai didelis.
Paskelbimo laikas: 2023-07-18