Purškiami molibdeno taikiniai buvo plačiai naudojami elektronikos pramonėje, saulės elementuose, stiklo dangoje ir kitose srityse dėl jiems būdingų pranašumų. Sparčiai tobulėjant šiuolaikinėms miniatiūrizavimo, integravimo, skaitmeninimo ir žvalgybos technologijoms, molibdeno taikinių naudojimas ir toliau augs, o jiems keliami kokybės reikalavimai taip pat bus vis aukštesni. Taigi turime rasti būdų, kaip pagerinti molibdeno taikinių panaudojimo greitį. Dabar RSM redaktorius pristatys kelis metodus, kaip pagerinti purškiamo molibdeno taikinių panaudojimo rodiklį visiems.
1. Kitoje pusėje pridėkite elektromagnetinę ritę
Siekiant pagerinti purškiamo molibdeno taikinio panaudojimo greitį, plokštuminio Magnetrono purškiančio molibdeno taikinio galinėje pusėje galima pridėti elektromagnetinę ritę, o magnetinį lauką molibdeno taikinio paviršiuje galima padidinti padidinus srovę. elektromagnetinė ritė, siekiant pagerinti molibdeno taikinio panaudojimo greitį.
2. Pasirinkite vamzdinę besisukančio taikinio medžiagą
Palyginti su plokščiais taikiniais, vamzdinės besisukančios taikinio konstrukcijos pasirinkimas išryškina esminius jos pranašumus. Paprastai plokščių taikinių panaudojimo lygis yra tik 30–50%, o vamzdinių besisukančių taikinių panaudojimo lygis gali siekti daugiau nei 80%. Be to, naudojant besisukantį tuščiavidurį vamzdelį Magnetron purškiamąjį taikinį, kadangi taikinys gali visą laiką suktis aplink fiksuoto strypo magneto mazgą, ant jo paviršiaus nebus pakartotinio nusodinimo, todėl besisukančio taikinio tarnavimo laikas paprastai yra daugiau nei 5 kartus ilgesnis. nei lėktuvo taikinio.
3. Pakeiskite nauja purškimo įranga
Norint pagerinti tikslinių medžiagų panaudojimo rodiklį, svarbiausia yra visiškai pakeisti purškimo įrangą. Molibdeno purškimo tikslinės medžiagos purškimo metu maždaug šeštadalis purškiančių atomų nusėda ant vakuuminės kameros sienelės arba kronšteino, kai juos paveikia vandenilio jonai, todėl padidės vakuuminės įrangos valymo išlaidos ir prastovos. Taigi naujos purškimo įrangos pakeitimas taip pat gali padėti pagerinti purškiamo molibdeno taikinių panaudojimo greitį.
Paskelbimo laikas: 2023-05-24