Didelio grynumo itrio taikinys – svarbus PVD dangos narys

Kas yra itrio purškimo taikinys?
Itrio taikinys daugiausia gaminamas naudojant metalinį elementą itrio purškimo taikinį, nes itrio elementas (Y) yra vienas iš retųjų žemių metalų elementų, todėl itrio taikinys taip pat žinomas kaip retųjų žemių taikinys.
Itrio taikiniai daugiausia naudojami purškiamo nusodinimo technologijoje. Purškimo technologija yra viena iš fizinio garų nusodinimo (PVD) technologijų ir yra viena iš pagrindinių elektroninių plonasluoksnių medžiagų paruošimo technologijų. Bombarduojant taikinio paviršių didelės energijos dalelėmis (pvz., jonais ar elektronų pluoštais), tiksliniai atomai ar molekulės išpurškiami ir nusodinami ant kito pagrindo, kad susidarytų norima plėvelė arba danga.
Itrio taikinys yra tiesiog norimos plėvelės arba dangos, paruoštos naudojant PVD technologiją, pradinė medžiaga.

Kas yraįnaudojamas itrio purškimo taikinys?

Itrio taikiniai turi platų pritaikymo spektrą keliose srityse, pagrindinės taikymo sritys yra šios:

1. Puslaidininkinės medžiagos: puslaidininkių pramonėje itrio taikiniai naudojami tam tikriems puslaidininkinių medžiagų arba elektroninių komponentų, tokių kaip tranzistoriai, integriniai grandynai ir kt., sluoksniams gaminti.
2. Optinė danga: Optikos srityje itrio taikiniai gali būti naudojami gaminant optines dangas, turinčias aukštą lūžio rodiklį ir mažą sklaidos greitį, kurios atlieka svarbų vaidmenį gaminant optinius įrenginius, tokius kaip lazeriai ir optiniai filtrai.
3. Plonosios plėvelės nusodinimas: Itrio taikinys užima svarbią vietą plonasluoksnio nusodinimo technologijoje, o dėl didelio grynumo, gero stabilumo ir specifinių fizinių bei cheminių savybių jis yra idealus pasirinkimas ruošiant įvairias plonasluoksnes medžiagas. Šios plonos plėvelės medžiagos yra plačiai naudojamos optiniuose, elektroniniuose, magnetiniuose ir kituose laukuose.
4. Medicinos sritis: itrio taikiniai yra svarbūs radiacinėje medicinoje, pavyzdžiui, rentgeno ir gama spindulių šaltinis, diagnostinis vaizdas (pvz., KT skenavimas) ir spindulinė terapija. Be to, specifiniai itrio izotopai (pvz., Y-90) taip pat gali būti naudojami radiofarmaciniuose preparatuose tikslingai gydyti specifines vėžio formas.
5. Branduolinės energijos pramonė: Branduoliniuose reaktoriuose itrio taikiniai naudojami kaip svertinės medžiagos, kontroliuojančios branduolinių reakcijų greitį ir stabilumą dėl puikios neutronų sugerties galimybės.

Pastaba: Kadangi itrio taikinių našumo reikalavimai skirtingose ​​taikymo srityse gali skirtis, reikia pasirinkti tinkamą taikinį pagal faktinę konkrečios programos situaciją. (Pavyzdžiui, specifinis grynumas, sudėties santykis, dydis, forma ir kt., pritaikyti pagal konkrečius reikalavimus.)

Itrio purškimo taikinių gamybos technologija?

1. Paruoškite itrio miltelius 2. ŠALIŲ, presavimo formavimas 3. Aukštos temperatūros sukepinimas 4. Vėlesnis apdorojimas (pjovimas, poliravimas ir kt.) 5. Valymas ir pakavimas

Pastaba: Be pirmiau minėtų pagrindinių žingsnių, atsižvelgiant į konkretų paruošimo metodą ir taikymo poreikius, itrio purškimo tikslai taip pat gali apimti kitus veiksmus ir technologijas, pvz., purškimo metodą, vakuuminio lydymo metodą ir kt. Šie metodai padeda toliau koreguoti ir optimizuoti tikslinės medžiagos veikimas ir struktūra.

Kaip pasirinkti aukštos kokybės purškimo taikinį?

Toliau pateikiami 7 svarbūs veiksniai, norint pasirinkti aukštos kokybės purškimo taikinius:

1.Sveikigh grynumas

Didelio grynumo taikiniai pasižymi geresnėmis medžiagų savybėmis ir stabilesnėmis fizinėmis bei cheminėmis savybėmis, o tai būtina norint užtikrinti purškiančių dangų kokybę ir veikimą. Konkretūs grynumo reikalavimai turėtų būti nustatyti pagal taikymo scenarijų, kai kuriems paprastiems taikymo scenarijams nereikia siekti itin didelio grynumo, kad nepadidėtų nereikalingų išlaidų. Tai, kas tau tinka, yra geriausia.

2.Stabilumas

Taikinio stabilumas yra ne mažiau svarbus, nes gali būti išvengta materialinių nuostolių ar veikimo svyravimų purškimo metu. Todėl renkantis reikia pasirinkti tą specialų apdorojimą arba turėti gerą gaminio stabilumą.

3. Dydis ir forma

Purškimo objekto dydis ir forma turėtų būti parenkami atsižvelgiant į konkrečius dengimo įrangos reikalavimus, kad būtų galima prisitaikyti prie skirtingų purškimo procesų ir gamybos poreikių. Užtikrinant, kad taikinys būtų suderintas su įranga, padidina purškimo efektyvumą ir sumažina atliekų kiekį.

4.Tankis

Tankis yra vienas iš svarbių rodiklių, leidžiančių įvertinti tikslinės medžiagos kokybę. Didelio tankio tikslinė medžiaga gali užtikrinti geresnį purškimo efektą. Renkantis reikia atkreipti dėmesį į taikinio tankio duomenis ir stengtis rinktis didesnio tankio gaminius.

5.Apdorojimo tikslumas

Taikinio apdorojimo tikslumas taip pat yra vienas iš veiksnių, į kuriuos reikia atsižvelgti. Paprastai taikinio apdorojimo tikslumas turi būti ± 0,1 mm, kad būtų užtikrintas purškimo proceso stabilumas ir dangos kokybės vienodumas.

6.Specialieji reikalavimai

Kai kurių specialių taikymo scenarijų, pvz., didelio šviesos pralaidumo poreikis, mažas taikinio sugertis (optinė danga) arba didelis laidumas, didelis taikinio stabilumas (elektroninis laukas) turėtų būti parenkami atsižvelgiant į konkrečius atitinkamo taikinio poreikius. tipo.

7. Pasirinkite profesionalų gamintoją arba tiekėją.